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文檔簡介

日立S-3400N掃描電鏡應訓掃描電鏡原理及操作內容提要日立S-3400N掃描電鏡的工作原理二、日立S-3400N掃描電鏡的操作基礎(包括操作界面功能講解,電鏡基本操作)三、日立S-3400N掃描電鏡的參數(shù)條件設定1日立S-340N電鏡的工作原理電子槍物鏡可動光闌顯示器樣品倉軌跡球旋鈕板日立S-3400N電鏡的工作原理〔光源)電子源玻璃凸透鏡□聚光鏡區(qū)樣品樣品區(qū)丿岡物鏡0礦偏向線圈物鏡掃描二次電子探頭樣品投影凸透鏡投影鏡CRT像像光學顯微鏡透射電鏡掃描電鏡光學顯微鏡和電子顯微鏡的區(qū)別1日立S-3400N電鏡的工作原理種類|光學顯微鏡透射電鏡掃描電鏡加速電壓40~300kv0.3~30kV光源光電子觀察大氣中真空真空中Lens玻璃純鐵純鐵分辨率5~0.1um0.2~0.1mm4~0.4淺(2~3um)深(500um)X-Ray分析不可可能色彩有倍率1500k2000k[觀察視野小大樣品制作容易復雜容易樣品大小大大導電處理不需要需要(不需要)觀察像透過像、表面像透過像表面像各種顯微鏡的比較1日立S-3400N電鏡的工作原理鎢燈絲Filamentps第一聚光鏡、、宮區(qū)第二聚光鏡Weinert物鏡可動光包物鏡VoltagePs1日立S-3400N電鏡的工作原理Aple=62HAS-3400N2.00kv51mmx30,OkSE4偏壓固定比例雙偏壓03kV5kV15kV日立S-3400N電鏡的工作原理燈絲(陰極)交叉斑(do)柵極(韋氏帽)陽極電子束lst聚光鏡PMi=bi/ar聚光鏡光闌d22nd聚光鏡>M=b/a2物鏡活動光闌物鏡M3=ba/aa束斑尺寸(d)bd=d·M;·M2·M3樣品電子光學光路圖1日立S-3400N電鏡的工作原理CondenserCondenserLApertureObjective∈大probecurrent小probecurrent聚光镋磁場越強,縮小倍數(shù)越大,使d越小,最終束斑尺寸也變小,分辨率越高;這時probecurrent變小,圖像信噪比變差日立S-3400N電鏡的工作原理入射電子束X射線(元素信息背散射電子(凹凸/組成信息)元次電子(樣品的表面信息)熒光(化和結合狀態(tài)信息)少俄歇電子(表層元素信息)

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