JJF1894—20211半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀的校準(zhǔn)。2概述半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀(以下簡(jiǎn)稱圖示儀校準(zhǔn)儀)是通過(guò)提供標(biāo)準(zhǔn)電壓源、標(biāo)準(zhǔn)電流源等標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)對(duì)半導(dǎo)體管特性圖示儀進(jìn)行校準(zhǔn)的專用校準(zhǔn)儀器。目前主要有兩種類型:階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀和階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀。階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀內(nèi)部采用階梯歸一化比較法對(duì)圖示儀進(jìn)行校準(zhǔn),階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀內(nèi)部采用階梯采樣測(cè)量法對(duì)圖示儀進(jìn)行校準(zhǔn)。3計(jì)量特性3.1輸出部分3.1.1直流電壓a)輸出范圍:0.01V~5000V;b)最大允許誤差:±(0.3%~3%)。3.1.2直流電流a)輸出范圍:10nA~10A;b)最大允許誤差:±(0.3%~3%)。3.2取樣電阻a)范圍:0.005Ω~10MΩ;b)最大允許誤差:±(0.3%~1%)。3.3測(cè)量部分3.3.1階梯電壓歸一化變換a)V0電壓變換范圍:0.1V~20V;b)最大允許誤差:±0.3%。3.3.2階梯電流歸一化變換a)Is電流變換范圍:10μA~20A;b)最大允許誤差:±0.3%。3.3.3偏差表a)量程范圍:±(3%~10%);b)最大允許誤差:±0.5%。3.3.4階梯電壓指示a)V0電壓變換范圍:0.01V/階~10V/階;b)最大允許誤差:±(0.3%~1%)。JJF1894—202123.3.5階梯電流指示a)Is電流變換范圍:0.1μA/階~10A/階;b)最大允許誤差:±(0.5%~1.5%)。3.3.6脈沖電流指示a)電流測(cè)量范圍:10A~1000A;b)最大允許誤差:±(0.5%~1.5%)。注:以上技術(shù)指標(biāo)不作合格性判別,僅提供參考。4校準(zhǔn)條件4.1環(huán)境條件4.1.1環(huán)境溫度:(23±5)℃。4.1.2相對(duì)濕度:≤75%。4.1.3電源要求:(220±11)V;(50±1)Hz。4.1.4周圍無(wú)影響儀器正常工作的干擾和機(jī)械振動(dòng)。4.2校準(zhǔn)用設(shè)備4.2.1數(shù)字多用表直流電壓測(cè)量范圍:±(0.01V~1000V),最大允許誤差:±0.05%;直流電流測(cè)量范圍:±(1mA~10A),最大允許誤差:±0.1%;電阻測(cè)量范圍:10Ω~10MΩ,最大允許誤差:±0.1%。4.2.2微歐計(jì)電阻測(cè)量范圍:0.005Ω~10Ω,最大允許誤差:±0.1%。4.2.3靜電計(jì)直流電流測(cè)量范圍:±(10nA~1mA),最大允許誤差:±0.3%。4.2.4數(shù)字化儀直流電壓測(cè)量范圍:±(0.1V~10V),最大允許誤差:±0.3%;帶寬:≥100kHz;采樣速率:≥1×105Sa/s。4.2.5高壓分壓器電壓范圍:1000V~5000V,分壓比:100∶1~1000∶1,直流最大允許誤差:±0.1%。4.2.6直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源直流電壓輸出范圍:±(0.1V~100V),最大允許誤差:±0.05%。4.2.7直流標(biāo)準(zhǔn)電流源直流電流輸出范圍:1μA~2A,最大允許誤差:±0.05%。4.2.8脈沖電流源脈沖電流輸出范圍:5A~1000A,最大允許誤差:±(0.2%~1%);脈沖寬度:300μs;平坦度:0.3%。4.2.9脈沖分流器阻值:0.005Ω、0.01Ω、0.1Ω,最大允許誤差:±(0.3%~0.1%);3帶寬：≥10kHz。5校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法5.1校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)項(xiàng)目見(jiàn)表1。校準(zhǔn)項(xiàng)目234階梯電壓歸一化變換5階梯電流歸一化變換67階梯電壓表8階梯電流表95.2校準(zhǔn)方法5.2.1外觀及工作正常性檢查圖示儀校準(zhǔn)儀應(yīng)外觀完好、配套附件齊全，各開(kāi)關(guān)、按鍵等應(yīng)安裝牢固、調(diào)節(jié)正常，無(wú)影響電氣性能的機(jī)械損傷。將檢查結(jié)果記錄于表A.1中。通電前，調(diào)整圖示儀校準(zhǔn)儀各開(kāi)關(guān)旋鈕應(yīng)置于初始位置或安全位置，偏差表置于關(guān)斷位置，校準(zhǔn)前，圖示儀校準(zhǔn)儀及校準(zhǔn)用設(shè)備應(yīng)按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行預(yù)熱。5.2.2直流電壓源5.2.2.1當(dāng)圖示儀校準(zhǔn)儀輸出電壓范圍≤1000V時(shí)，儀器連接如圖1所示。數(shù)字多用表圖示儀校準(zhǔn)儀數(shù)字多用表5.2.2.2將數(shù)字多用表置于“DCV”測(cè)量功能，分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位直流電壓輸出值，讀取數(shù)字多用表的電壓測(cè)量值，并記錄于表A.2中。5.2.2.3當(dāng)圖示儀校準(zhǔn)儀輸出電壓范圍>1000V時(shí)，按圖2進(jìn)行連接。45.2.2.4讀取數(shù)字多用表的電壓測(cè)量值V?,直流高壓源的校準(zhǔn)值按公式(1)計(jì)算，5.2.3直流電流源5.2.3.1當(dāng)圖示儀校準(zhǔn)儀輸出電流范圍為10nA～1mA時(shí)，儀器連接如圖3所示。5.2.3.2將靜電計(jì)置于“DCA”測(cè)量功能，分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位直流電流輸出值，讀取靜電計(jì)的電流測(cè)量值，并記錄于表A.5.2.3.3當(dāng)圖示儀校準(zhǔn)儀輸出電流范圍為1mA～10A時(shí)，儀器連接如圖1所示。將數(shù)字多用表置于“DCA”測(cè)量功能。分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位直流電流輸出值，讀5.2.4取樣電阻(適用于階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀)5.2.4.1當(dāng)取樣電阻范圍為0.005Ω~10Ω時(shí)，儀器連接如圖4所示。5.2.4.2分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位取樣電阻值，讀取微歐計(jì)的電阻測(cè)量值，并記5.2.4.3當(dāng)取樣電阻范圍為10Ω~1kΩ時(shí)，儀器連接如圖1所示。采用四線測(cè)量法分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位取樣電阻值，讀取數(shù)字多用表的電阻測(cè)量值，并記錄于表5.2.4.4當(dāng)取樣電阻范圍為1kΩ~10MΩ時(shí)，儀器連接如圖1所示。采用兩線測(cè)量法分別測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀各擋位取樣電阻值，讀取數(shù)字多用5.2.5階梯電壓歸一化變換(適用于階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀)55.2.5.1儀器連接如圖5所示。圖5階梯電壓歸一化變換校準(zhǔn)5.2.5.2將圖示儀校準(zhǔn)儀“階梯負(fù)載”開(kāi)關(guān)置于歸一化擋，按擋位十階的關(guān)系分別設(shè)置直流電壓源輸出(變換器輸入)電壓值，讀取數(shù)字多用表的電壓測(cè)量值，并記錄于5.2.6階梯電流歸一化變換(適用于階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀)5.2.6.1儀器連接如圖6所示。圖6階梯電流歸一化變換校準(zhǔn)5.2.6.2將圖示儀校準(zhǔn)儀“階梯負(fù)載”開(kāi)關(guān)置于歸一化擋，按擋位十階的關(guān)系分別設(shè)置直流電流源輸出(變換器輸入)電流值，讀取數(shù)字多用表的電壓測(cè)量值，并記錄于表5.2.7偏差表(適用于階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀)5.2.7.1儀器連接如圖1所示。將數(shù)字多用表置于“DCV”測(cè)量功能。5.2.7.2調(diào)準(zhǔn)偏差表的機(jī)械零點(diǎn)，將圖示儀校準(zhǔn)儀的比較開(kāi)關(guān)置于10V擋位，功能開(kāi)關(guān)置于階梯位置，階梯負(fù)載開(kāi)關(guān)置于歸一化位置。調(diào)確指示到各校準(zhǔn)點(diǎn)，分別讀取數(shù)字多用表的電壓測(cè)量值，并記錄于表A.7中。5.2.8階梯電壓表(適用于階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀)5.2.8.1儀器連接如圖7所示。圖7階梯電壓表校準(zhǔn)5.2.8.2設(shè)置圖示儀校準(zhǔn)儀工作于階梯電壓測(cè)量模式。按擋位從低到高的順序，設(shè)置5.2.9階梯電流表(適用于階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀)5.2.9.1儀器連接如圖8所示。圖8階梯電流表或脈沖電流表校準(zhǔn)JJF1894—20216采樣功能,觸發(fā)電平的設(shè)置按照被測(cè)電壓信號(hào)(被測(cè)電流信號(hào)乘以脈沖分流器電阻值確定)90%進(jìn)行選擇,設(shè)置圖示儀校準(zhǔn)儀與數(shù)字化儀工作于等待觸發(fā)狀態(tài),設(shè)置脈沖電流源輸出指定脈沖電流信號(hào)。5.2.9.3分別讀取數(shù)字化儀的電壓測(cè)量值和圖示儀校準(zhǔn)儀的電流測(cè)量值,按公式(2)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)電流值,并記錄于表A.9中。I=(2)式中:I—標(biāo)準(zhǔn)電流值,A;V—數(shù)字化儀的電壓測(cè)量值,V;R—脈沖分流器的值,Ω。5.2.10脈沖電流表(適用于階梯采樣測(cè)量圖示儀校準(zhǔn)儀)儀器連接如圖8所示,設(shè)置圖示儀校準(zhǔn)儀工作于階梯電流測(cè)量模式,重復(fù)步驟5.2.9.2~5.2.9.3,將數(shù)據(jù)記錄于表A.10中。6校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)圖示儀校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)后,出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書至少應(yīng)包含以下信息:a)標(biāo)題:“校準(zhǔn)證書”;b)實(shí)驗(yàn)室名稱和地址;c)進(jìn)行校準(zhǔn)的地點(diǎn)(如果與實(shí)驗(yàn)室的地址不同);d)證書的唯一性標(biāo)識(shí)(如編號(hào)),每頁(yè)及總頁(yè)數(shù)的標(biāo)識(shí);e)客戶的名稱和地址;f)被校對(duì)象的描述和明確標(biāo)識(shí);g)進(jìn)行校準(zhǔn)的日期,如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時(shí),應(yīng)說(shuō)明被校對(duì)象的接收日期;h)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性或應(yīng)用有關(guān)時(shí),應(yīng)對(duì)被校樣品的抽樣程序進(jìn)行說(shuō)明;i)校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識(shí),包括名稱及代號(hào);j)本次校準(zhǔn)所用測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說(shuō)明;k)校準(zhǔn)環(huán)境的描述;l)校準(zhǔn)結(jié)果及其測(cè)量不確定度的說(shuō)明;m)對(duì)校準(zhǔn)規(guī)范的偏離的說(shuō)明;n)校準(zhǔn)證書簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等效標(biāo)識(shí);o)校準(zhǔn)結(jié)果僅對(duì)被校對(duì)象有效的聲明;p)未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn),不得部分復(fù)制證書的聲明。7復(fù)校時(shí)間間隔復(fù)校時(shí)間間隔由用戶根據(jù)使用情況自行確定,推薦為1年。JJF1894—20217附錄A原始記錄格式一、外觀及工作正常性檢查表A.1外觀及工作正常性檢查項(xiàng)目檢查結(jié)果外觀檢查工作正常性檢查二、直流電壓源表A.2直流電壓源量程標(biāo)稱值電壓測(cè)量值分壓比電壓校準(zhǔn)值測(cè)量不確定度U(k=2)三、直流電流源表A.3直流電流源量程標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)四、取樣電阻表A.4取樣電阻量程標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)8五、階梯電壓歸一化變換表A.5階梯電壓歸一化變換擋位變換器輸入變換器輸出測(cè)量不確定度U(k=2)標(biāo)稱值測(cè)量值六、階梯電流歸一化變換表A.6階梯電流歸一化變換擋位變換器輸入變換器輸出測(cè)量不確定度U(k=2)標(biāo)稱值測(cè)量值七、偏差表表A.7偏差表量程設(shè)置值標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)10%-10%-5%0+5%+10%3%-3%-2%-1%0+1%+2%+3%9八、階梯電壓表表A.8階梯電壓表量程標(biāo)準(zhǔn)值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)九、階梯電流表表A.9階梯電流表量程脈沖分流器電壓測(cè)量值標(biāo)準(zhǔn)電流值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)十、脈沖電流表表A.10脈沖電流表量程脈沖分流器電壓測(cè)量值標(biāo)準(zhǔn)電流值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)10附錄B校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式一、外觀及工作正常性檢查表B.1外觀及工作正常性檢查項(xiàng)目檢查結(jié)果外觀檢查工作正常性檢查二、直流電壓源表B.2直流電壓源量程標(biāo)稱值電壓測(cè)量值分壓比電壓校準(zhǔn)值測(cè)量不確定度U(k=2)三、直流電流源表B.3直流電流源量程標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)四、取樣電阻表B.4取樣電阻量程標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)11五、階梯電壓歸一化變換表B.5階梯電壓歸一化變換擋位變換器輸入變換器輸出測(cè)量不確定度U(k=2)標(biāo)稱值測(cè)量值六、階梯電流歸一化變換表B.6階梯電流歸一化變換擋位變換器輸入變換器輸出測(cè)量不確定度U(k=2)標(biāo)稱值測(cè)量值七、偏差表表B.7偏差表量程設(shè)置值標(biāo)稱值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)10%-10%-5%0+5%+10%3%-3%-2%-1%0+1%+2%+3%12八、階梯電壓表表B.8階梯電壓表量程標(biāo)準(zhǔn)值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)九、階梯電流表表B.9階梯電流表量程脈沖分流器電壓測(cè)量值標(biāo)準(zhǔn)電流值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)十、脈沖電流表表B.10脈沖電流表量程脈沖分流器電壓測(cè)量值標(biāo)準(zhǔn)電流值測(cè)量值測(cè)量不確定度U(k=2)13b)由數(shù)字多用表的電壓測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量ub)由數(shù)字多用表的電壓測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2主要項(xiàng)目校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例C.1直流電壓校準(zhǔn)不確定度評(píng)定C.1.1測(cè)量方法以直流電壓10V為例,采用標(biāo)準(zhǔn)表法直接測(cè)量,由圖示儀校準(zhǔn)儀輸出直流電壓10V,記錄數(shù)字多用表示值。C.1.2不確定度來(lái)源不確定度來(lái)源主要包括:a)數(shù)字多用表直流電壓測(cè)量不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1;b)數(shù)字多用表的電壓測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2;c)測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3。C.1.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度評(píng)定a)由數(shù)字多用表直流電壓測(cè)量不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1以10V測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行分析。數(shù)字多用表在20V量程10V測(cè)試點(diǎn),其允許誤差極限為±(2.7×10-6×讀數(shù)+0.2×10-6×量程),所以10V的允許誤差極限為量u1=a/k=0.000039V,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r為0.00039%。±0.000067V,即a=0.000067V,估計(jì)為均勻分布量u1=a/k=0.000039V,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r為0.00039%。根據(jù)實(shí)際測(cè)試要求,數(shù)字多用表在20V量程的分辨力為0.1mV,區(qū)間半寬為a/k)0..00029%。0.05mV,即a=0.05mV,估計(jì)為均勻分布,則k=a/k)0..00029%。選一臺(tái)較穩(wěn)定圖示儀校準(zhǔn)儀作為被測(cè)對(duì)象,在相同的溫濕度條件下,用數(shù)字多用表重復(fù)測(cè)量10次,測(cè)量結(jié)果見(jiàn)表C.1。表C.1直流電壓參數(shù)10V重復(fù)測(cè)量結(jié)果測(cè)量序號(hào)測(cè)量結(jié)果/V110.0021210.0019310.0017410.0022510.0021610.0018710.002114表C.1(續(xù))測(cè)量序號(hào)測(cè)量結(jié)果/V810.0017910.00181010.0022平均值10.00196單次測(cè)量實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差:s=0.00020V則相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.002%,即u3r=0.002%。C.1.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量匯總見(jiàn)表C.2。表C.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表不確定度分量不確定度來(lái)源分布k值相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r數(shù)字多用表直流電壓測(cè)量不準(zhǔn)均勻0.00039%u2r數(shù)字多用表的電壓測(cè)量分辨力均勻0.00029%u3r測(cè)量重復(fù)性0.002%以上各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量互不相關(guān),則相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為:C.1.5擴(kuò)展不確定度ucr(V)==0.002%取包含因子k=2,則相對(duì)擴(kuò)展不確定度為:Ur(V)=k×Ur(V)=k×ucr(V)=0.004%C.2.1測(cè)量方法以直流電流10mA為例,采用標(biāo)準(zhǔn)表法直接測(cè)量,由圖示儀校準(zhǔn)儀輸出直流電流10mA,記錄數(shù)字多用表示值。C.2.2不確定度來(lái)源不確定度來(lái)源包括:a)數(shù)字多用表直流電流測(cè)量不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1;b)數(shù)字多用表的電流測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2;c)測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3。C.2.3不確定度評(píng)定a)由數(shù)字多用表直流電流測(cè)量不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1以10mA測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行分析。數(shù)字多用表在20mA量程10mA測(cè)試點(diǎn),其允許誤差極限為±(8×10-6×讀數(shù)+2×10-6×量程),所以10mA的允許誤差極限為±0.00012mA,即a=0.00012mA,估計(jì)為均勻分布,則k=,故其不確定度分量JJF1894—202115b)由數(shù)字多用表的電流測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2u1=a/k=0.00007mA,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ub)由數(shù)字多用表的電流測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2根據(jù)實(shí)際測(cè)試要求,數(shù)字多用表在20mA量程的分辨力為0.1μA,區(qū)間半寬為0.05μA,即a=0.05μA,估計(jì)為均勻分布,則k=,故其不確定度分量u2=a/k=0.029μA,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2r為0.00029%。c)由測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u3選一臺(tái)較穩(wěn)定圖示儀校準(zhǔn)儀作為被測(cè)對(duì)象,在相同的溫濕度條件下,用數(shù)字多用表重復(fù)測(cè)量10次,測(cè)量結(jié)果見(jiàn)表C.3。表C.3直流電流參數(shù)10mA重復(fù)測(cè)量結(jié)果測(cè)量序號(hào)測(cè)量結(jié)果/mA19.99629.99839.99749.99859.99969.99679.99789.99799.998109.997平均值9.9973單次測(cè)量實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差:s=0.0009mA則相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.009%,即u3r=0.009%。C.2.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度不確定度分量見(jiàn)表C.4。表C.4標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表不確定度分量不確定度來(lái)源分布k值相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r數(shù)字多用表直流電流測(cè)量不準(zhǔn)均勻0.0007%u2r數(shù)字多用表的電流測(cè)量分辨力均勻0.00029%u3r測(cè)量重復(fù)性0.009%以上各不確定度分量互不相關(guān),則相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為ucr(I)==0.009%JJF1894—202116C.2.5擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則相對(duì)擴(kuò)展不確定度為:C.3直流電阻參數(shù)(取樣電I0.02%C.3.1測(cè)量方法以直流電阻10kΩ為例,采用標(biāo)準(zhǔn)表法直接測(cè)量,將取樣電阻指定輸出端連接到數(shù)字多用表直流電阻測(cè)量端子,記錄數(shù)字多用表示值。C.3.2不確定度來(lái)源不確定度來(lái)源包括:a)數(shù)字多用表測(cè)量直流電阻不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1;b)數(shù)字多用表的電阻測(cè)量分辨力所引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2;c)測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3。C.3.3不確定度評(píng)定a)由數(shù)字多用表測(cè)量直流電阻不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1數(shù)字多用表在20kΩ量程10kΩ測(cè)試點(diǎn),其允許誤差極限為±(8.5×10-6×讀數(shù)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r為0.0005%。+0.6×10-6×量程),所以10kΩ的允許誤差極限為±0.000091kΩ,即a=0.000091,估計(jì)為均勻分布,則k=3,故其不確定度分量u1=a/k=0.0對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r為0.0005%。b)數(shù)字多用表的電阻測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2數(shù)字多用表在20kΩ量程的分辨力為0.1mΩ,根據(jù)實(shí)際測(cè)試要求,將其分辨力擴(kuò)定度9u2r為0.000029%。大為10mΩ,區(qū)間半寬為5mΩ,即a定度9u2r為0.000029%。選一臺(tái)較穩(wěn)定大功率圖示儀校準(zhǔn)儀,在相同的溫濕度條件下,用數(shù)字多用表重復(fù)測(cè)量10次,測(cè)量結(jié)果見(jiàn)表C.5。表C.5直流電阻參數(shù)10kΩ重復(fù)測(cè)量結(jié)果測(cè)量序號(hào)測(cè)量結(jié)果/kΩ19.9998229.9998639.9998149.9998759.9998469.9998379.9998889.99985JJF1894—202117表C.5(續(xù))測(cè)量序號(hào)測(cè)量結(jié)果/kΩ99.99984109.99987平均值9.999847單次測(cè)量實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差:s=2.3×10-5kΩ則相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.00023%,即u3r=0.00023%。C.3.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量見(jiàn)表C.6。表C.6標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表不確定度分量不確定度來(lái)源分布k值相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1r數(shù)字多用表測(cè)量直流電阻不準(zhǔn)均勻0.0005%u2r數(shù)字多用表的電阻測(cè)量分辨力均勻0.000029%u3r測(cè)量重復(fù)性0.00023%以上各不確定度分量互不相關(guān),則相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為:C.3.5擴(kuò)展不確定度ucr(R)==0.0006%C.3.5擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則相對(duì)擴(kuò)展不確定度為:C.4脈沖電流參數(shù)(階梯電流表)校準(zhǔn)不確定度評(píng)定C.4.1測(cè)量方法UrC.4脈沖電流參數(shù)(階梯電流表)校準(zhǔn)不確定度評(píng)定C.4.1測(cè)量方法以脈沖電流100A為例,采用標(biāo)準(zhǔn)表比對(duì)測(cè)量方法,由脈沖電流源輸出100A脈沖電流值,分別記錄脈沖分流器的電阻值、數(shù)字化儀的示值和圖示儀校準(zhǔn)儀的示值。C.4.2測(cè)量模型I(C.1)式中:I—脈沖電流源的實(shí)際輸出電流值,A;V—數(shù)字化儀的示值,V;R—脈沖分流器的值,Ω。C.4.3不確定度來(lái)源不確定度來(lái)源包括:a)數(shù)字化儀脈沖電壓測(cè)量不準(zhǔn)引入的不確定度分量u1;b)數(shù)字化儀的脈沖電壓測(cè)量分辨力所引入的不確定度分量u2;JJF1894—202118c)數(shù)字化儀輸入電阻引入的不確定度分量u3;d)脈沖分流器阻值不準(zhǔn)引入的不確定度分量u4;e)測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u5。C.4.4標(biāo)準(zhǔn)不確定度評(píng)定a)由數(shù)字化儀脈沖電壓測(cè)量不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1以100A測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行分析,選用脈沖分流器為0.01Ω,測(cè)試電壓應(yīng)為1V左右,b)由數(shù)字化儀脈沖電壓測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2數(shù)字化儀1V量程中的1V測(cè)試點(diǎn)的允許誤差極限為±0.5%,即a=0.5%,估計(jì)為均勻分布,則k=3,故其相對(duì)不確定度分量u1r=a/k=0b)由數(shù)字化儀脈沖電壓測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2確定度u2r為0.003%。數(shù)字化儀1V量程的分辨力為100μV,區(qū)間半寬為0.05mV,即a=0.05mV,估計(jì)為均勻分布,則k=3,故標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2=a