ICS?71.100.01H83YSYS/TXXXX-XXXX集成電路用四甲基硅烷TetramethylsilaneforIntegratedCircuit(討論稿)XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布發(fā)布YS/TXXXX-XXXXI前??言本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC243）、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會（SAC/TC203/SC2）提出并歸口。本文件起草單位：洛陽中硅高科技有限公司、……。本文件主要起草人：集成電路用四甲基硅烷范圍本文件規(guī)定了四甲基硅烷的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全信息的要求。本文件適用于集成電路等電子信息行業(yè)制造中使用的的四甲基硅烷。規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則GB/T4844純氦、高純氦和超純氦GB/T6324.8有機(jī)化工產(chǎn)品試驗(yàn)方法第8部分：液體產(chǎn)品水分測定卡爾.費(fèi)休庫侖電量法GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T9729化學(xué)試劑氯化物測定通用方法GB/T11446.1電子級水GBl5258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級GB30000.19化學(xué)品分類和標(biāo)簽規(guī)范第19部分：皮膚腐蝕/刺激GB/T34972電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜JJF1159四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀校準(zhǔn)規(guī)范JT/T617.4危險(xiǎn)貨物道路運(yùn)輸規(guī)則第4部分:運(yùn)輸包裝使用要求術(shù)語本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。技術(shù)要求化學(xué)成分產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1四甲基硅烷的化學(xué)成分項(xiàng)目指標(biāo)四甲基硅烷((CH3)4Si)純度（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/l0-2≥99.9≥99.99金屬元素及其他元素含量/（ng/g）Li≤2≤0.2B≤2≤0.2Na≤5≤0.5Mg≤2≤0.2Al≤2≤0.2K≤5≤0.5Ca≤5≤0.5Ti≤2≤0.2Cr≤2≤0.2Mn≤2≤0.2Fe≤5≤0.5Co≤2≤0.2Ni≤2≤0.2Cu≤2≤0.2Zn≤2≤0.2V≤2≤0.2微量水（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/l0-6/≤20氯離子（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/l0-6≤10≤2外觀質(zhì)量產(chǎn)品應(yīng)為無色透明液體。其他需方如對集成電路用四甲基硅烷有其他要求時(shí)，可由供需雙方商定。試驗(yàn)方法組分的測定儀器與設(shè)備氣相色譜儀：配置TCD檢測器、色譜工作站等。色譜柱：固定相為100%聚二甲基硅氧烷的毛細(xì)管柱或其它等效色譜柱。試劑與材料載氣：純度≥99.9999%（體積分?jǐn)?shù)）。吹掃氣：純度≥99.9999%（體積分?jǐn)?shù)）。微量進(jìn)樣器：量程不低于1μL。分析步驟參考色譜條件表2參考色譜條件參數(shù)名稱參數(shù)值參數(shù)名稱參數(shù)值柱長20m柱箱溫度200℃檢測器溫度220℃載氣流量（氫氣）5mL/min吹掃氣流量8mL/min分流比20:1樣品測試氣相色譜儀各參數(shù)穩(wěn)定后，用微量進(jìn)樣針取1μL樣品，快速注入氣相色譜儀進(jìn)樣口，同時(shí)氣相色譜儀開始采集數(shù)據(jù)，待樣品檢測數(shù)據(jù)采集完畢，采用面積歸一化法進(jìn)行定量計(jì)算樣品中各組分含量。分析結(jié)果的計(jì)算與表述四甲基硅烷中各組分含量以其質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，按式（1）進(jìn)行計(jì)算：（1）式中：Ci——組分i的百分含量（%）；A1、A2……Ai——各組分的峰面積（μV·min）。檢測結(jié)果取兩次測定的平均值，兩次測定結(jié)果的絕對偏差應(yīng)不超過0.002%。金屬元素及其他元素含量的測定儀器設(shè)備電感耦合等離子體質(zhì)譜儀：符合JJF1159的技術(shù)指標(biāo)要求。電子天平：感量為0.1mg。器皿：所有器皿應(yīng)由全氟烷氧基樹脂（PFA）等耐氫氟酸腐蝕并可清洗的材料制成。試劑與材料潔凈環(huán)境：預(yù)處理和測試區(qū)域應(yīng)不低于GB/T25915.1中定義的5級潔凈室要求。超純水：電阻率大于18.2MΩ·cm，每種金屬雜質(zhì)含量低于20ng/L。硝酸：質(zhì)量分?jǐn)?shù)65.0%～68.0%，每種金屬雜質(zhì)含量均低于10ng/L。氫氟酸：質(zhì)量分?jǐn)?shù)45.0%～50.0%，每種金屬雜質(zhì)含量均低于10ng/L。標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液：鋁、鐵、鈦、鋰、鈉、鎂、鉀、鈣、鉻、錳、鈷、鎳、銅、鋅、砷、鉬、鉛等濃度均為1mg/mL，采用國內(nèi)外可以量值溯源的有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。2%硝酸溶液：硝酸:超純水=2:98(V:V)。分析步驟在潔凈的器皿（4.3.1.4）中，加入1~2滴4.3.2.2超純水。量取2mL~10mL四甲基硅烷澄清液至4.3.3.1的器皿中，取樣量根據(jù)雜質(zhì)含量水平確定。在電加熱設(shè)備上，微正壓惰性氣保護(hù)下將四甲基硅烷水解揮干。在密閉容器中使用氫氟酸消解，至四甲基硅烷中硅徹底消解。向消解后的容器中加入4.3.2.6硝酸溶解雜質(zhì)，冷卻后定容。隨同試樣做空白試驗(yàn)。測試：測試過程參照SJ/T11637的規(guī)定進(jìn)行。微量水的測定按GB/T6324.8的規(guī)定執(zhí)行。氯離子的測定按GB/T9729的規(guī)定執(zhí)行。外觀用目視的方法檢查。檢驗(yàn)規(guī)則檢查和驗(yàn)收產(chǎn)品應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)督部門進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本標(biāo)準(zhǔn)及合同（或訂貨單）的規(guī)定，并填寫質(zhì)量證明書。需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)及合同（或訂貨單）的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)，以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決，如需仲裁，仲裁取樣和檢測由供需雙方共同委托仲裁機(jī)構(gòu)進(jìn)行。組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交檢驗(yàn)，每批由以同批原料生產(chǎn)的供應(yīng)同一需方同一出貨周期的產(chǎn)品為一批。取樣產(chǎn)品采樣安全應(yīng)符合GB/T3723的規(guī)定，對每個(gè)包裝單位進(jìn)行取樣，取樣量不少于200mL。檢驗(yàn)結(jié)果的判定化學(xué)成分的檢驗(yàn)結(jié)果若有一項(xiàng)不合格，允許在同批產(chǎn)品中加倍取樣進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)。重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果如仍有一項(xiàng)不合格，則判該批產(chǎn)品不合格。外觀的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，則判該批產(chǎn)品不合格。標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量證明書標(biāo)志產(chǎn)品包裝容器外應(yīng)張貼標(biāo)簽，并注明：供方名稱；商標(biāo)；產(chǎn)品名稱；訂單號批號；凈重；執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)；生產(chǎn)日期；儲存期；容器編號符合GB/T191規(guī)定的包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志。產(chǎn)品的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB30000.19規(guī)定的要求。包裝、運(yùn)輸、貯存產(chǎn)品包裝容器應(yīng)符合GB12463、GB18564的規(guī)定。產(chǎn)品的最大充裝量不高于容器體積的95%為宜。產(chǎn)品的運(yùn)輸和貯存應(yīng)符合國務(wù)院令第344號、《國際海運(yùn)危險(xiǎn)貨物規(guī)則》。產(chǎn)品在運(yùn)輸過程中應(yīng)小心輕放，避免劇烈振動和日光曝曬，嚴(yán)禁倒置，防止沾污。產(chǎn)品應(yīng)貯存在通風(fēng)、陰涼、干燥的庫房內(nèi)，在符合上述儲運(yùn)條件下。產(chǎn)品儲存期應(yīng)符合GB/T26571，一般是自生產(chǎn)之日起一年。隨性文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：產(chǎn)品質(zhì)量證明書：合同號；產(chǎn)品名稱；批號；容器編號和凈重；產(chǎn)品凈重生產(chǎn)日期；檢驗(yàn)日期；檢驗(yàn)項(xiàng)目及其結(jié)果；儲存期；