ICS07.060

CCSJ77

ZGM

中國(guó)膜工業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/ZGMXXXX—XXXX

半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交

換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求

Technicalspecificationsofionexchangeresininmixedbedformakeupprocessof

ultrapurewaterinsemiconductorsindustry

（征求意見稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施

中國(guó)膜工業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布

T/ZGMXXXX—XXXX

半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的制程混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法。

本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的制程混床用離子交換樹脂。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T1.3標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)定

GB/T1631離子交換樹脂產(chǎn)品分類命名及型號(hào)

DL/T1856核級(jí)陰離子交換樹脂中氯型、碳酸型、硫酸型基團(tuán)含量的測(cè)定方法

GB/T5475離子交換樹脂取樣方法

GB/T5476離子交換樹脂預(yù)處理方法

GB/T5757離子交換樹脂含水量測(cè)定方法

GB/T5758離子交換樹脂粒度分布測(cè)定方法離子交換樹脂粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測(cè)定

GB/T5759氫氧型陰離子交換樹脂含水量測(cè)定方法

GB/T5760氫氧型陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法

GB/T8144陽(yáng)離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法

GB/T8330離子交換樹脂濕真密度測(cè)定方法

GB/T8331離子交換樹脂濕視密度測(cè)定方法

GB/T11992氯型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法

GB/T12598離子交換樹脂強(qiáng)度測(cè)定方法滲磨法離子交換樹脂滲磨圓球率、磨后圓球率的測(cè)定

GB/T36769陽(yáng)離子交換樹脂再生轉(zhuǎn)型率測(cè)定方法

GB/T11446.1電子級(jí)水

GB/T11446.4電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法

GB/T11446.8電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法

3術(shù)語(yǔ)和定義

GB/T11446.1—2013界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

半導(dǎo)體行業(yè)超純水ultrapurewaterforsemiconductorindustry

制造半導(dǎo)體產(chǎn)品工藝過程中所用的超純水。

3.2

電阻率resistivity

在規(guī)定溫度下，1cm3（正立方體）水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值。通常用符號(hào)ρ表示，單位為

歐姆厘米（Ω·cm），純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm（25℃）。

[來源：GB/T11446.1—2013,3.2]

3.3

總有機(jī)碳totalorganiccarbon;TOC

水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化

的有機(jī)物。

[來源：GB/T11446.1—2013,3.6]

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T/ZGMXXXX—XXXX

4要求

4.1強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂

4.1.1外觀

氫型：棕黃色至棕褐色，鈉型：灰色至青褐色球狀顆粒。

4.1.2出廠型式

鈉型或者氫型。

4.1.3理化性能

理化性能應(yīng)符合表1中規(guī)定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。

表1強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂理化性能指標(biāo)

指標(biāo)名稱單位氫型鈉型

體積交換容量eq/L≥2.0≥2.0

含水量%46~5246~52

濕視密度g/mL0.73~0.830.77~0.87

濕真密度g/mL1.17~1.221.25~1.29

中心粒徑%(0.3~0.85mm)≥94.5(0.3~0.85mm)≥94.5

下限粒度%(＜0.3mm)＜0.5(＜0.3mm)＜0.5

上限粒度%(＜0.85mm)≤5(＜0.85mm)≤5

均一系數(shù)≤1.1≤1.1

4.2強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂

4.2.1外觀

白色至黃色球狀顆粒透明球狀顆粒。

4.2.2出廠型式

氯型或者氫氧型。

4.2.3理化性能

理化性能應(yīng)符合表2中規(guī)定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。

表2強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂理化性能指標(biāo)

指標(biāo)名稱單位氫氧型氯型

體積交換容量eq/L≥1.10≥1.35

含水量%55~6542~49

濕視密度g/mL0.66~0.710.67~0.73

濕真密度g/mL1.06~1.191.07~1.10

中心粒度%(0.3~0.85mm)≥98.5%(0.3~0.85mm)≥98.5%

下限粒度%(＜0.3mm)＜0.5%(＜0.3mm)＜0.5%

上限粒度%(＜0.85mm)≤1%(＜0.85mm)≤1%

均一系數(shù)≤1.4≤1.4

4.3運(yùn)行參數(shù)

應(yīng)符合表3中規(guī)定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。

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表3制程混床產(chǎn)水指標(biāo)

指標(biāo)名稱單位指標(biāo)

ΔTOCμg/L≤1

產(chǎn)水電阻率MΩ·cm≥17.5

5試驗(yàn)方法

5.1外觀

目測(cè)。

5.2游離水分測(cè)定

5.2.1定性檢查

測(cè)試除去外層包裝(編織袋或桶)后，將用透明塑料袋包裝的樹脂豎起直立，約10min后，若樹脂上

下層顏色不同，下層顏色較上層深時(shí)，即有游離水。

5.2.2定量測(cè)定

將塑料袋口扎住，使水能流出但樹脂不能流出。將樹脂袋倒懸直立后30min內(nèi)，收集袋中流出的水

于容器中計(jì)量。應(yīng)從到貨樹脂中至少測(cè)定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值計(jì)算整批到貨樹脂游離水

量。

5.3試樣預(yù)處理

試樣預(yù)處理按GB/T5476-2013中規(guī)定的方法進(jìn)行。

5.4含水量的測(cè)定

含水量按GB/T5757-2008中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)定。

5.5體積交換容量的測(cè)定

氫型樹脂交換容量用經(jīng)過預(yù)處理的試樣25mL，按GB/T8144-2008標(biāo)準(zhǔn)中的5.3條規(guī)定的方法制備基

準(zhǔn)型試樣(但HCl溶液用量改為600mL)，再按5.5條規(guī)定的進(jìn)行測(cè)定和第6.1條(1)式、第6.2條(2)式和第

7條進(jìn)行計(jì)算。

鈉型樹脂交換容量按照GB/T8144-2008陽(yáng)離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)定。

氫氧型陰樹脂采用GB/T5760-2000氫氧型陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)

定。

氯型陰樹脂采用GB/T11992-2008氯型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)

行測(cè)定。

體積交換容量按下式進(jìn)行計(jì)算

??=???(1??)#(1)

式中：

Qv——體積全交換容量,eq/mL；

Qw——質(zhì)量全交換容量,eq/g；

ρ——濕視密度，g/mL；

X——含水量，%。

5.6濕視密度的測(cè)定

濕視密度按GB/T8331-2008中規(guī)定的方法測(cè)定。

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5.7濕真密度的測(cè)定

濕真密度測(cè)定按GB/T8330-2008中規(guī)定的方法測(cè)定。

5.8粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測(cè)定

粒度、有效粒徑和均一系數(shù)按GB/T5758-2001中規(guī)定方法測(cè)定。

5.9磨后圓球率的測(cè)定

磨后圓球率測(cè)定用不經(jīng)篩分的原樣按GB/T12598-2001中的7.2-9.3條規(guī)定方法測(cè)定。

5.10氫型率的測(cè)定

氫型率的測(cè)定采用GB/T36769—2018中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)定。

5.11氫氧型率的測(cè)定

氫氧型率的測(cè)定采用DL/T1856—2018中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)定。

5.12運(yùn)行參數(shù)的測(cè)定

5.12.1試驗(yàn)條件

離子交換樹脂的運(yùn)行參數(shù)測(cè)試試驗(yàn)進(jìn)水水質(zhì)見表4。

表4制程混床用離子交換樹脂測(cè)試試驗(yàn)進(jìn)水水質(zhì)指標(biāo)

項(xiàng)目單位指標(biāo)

電阻率(25℃)MΩ·cm≤2

總有機(jī)碳μg/L≤15

5.12.2試驗(yàn)儀器

試驗(yàn)儀器如下：

——流量計(jì)：準(zhǔn)確度1.5級(jí)；

——壓力表：精確度2.5級(jí)；

——電導(dǎo)率計(jì)：精確度1%；

——二氧化硅測(cè)定儀：量程0.03μg/L~0.2mg/L，精確度＜1%；

——總有機(jī)碳測(cè)定儀：量程0.03μg/L~50mg/L，精確度＜1%。

5.12.3試驗(yàn)裝置

試驗(yàn)裝置如下圖所示，樹脂交換柱的高徑比在1.4~1.6范圍內(nèi)。

標(biāo)引序號(hào)說明：

1——測(cè)試水箱；

2——進(jìn)水水泵；

3——進(jìn)水閥門；

4——進(jìn)水流量計(jì)；