1、TRAINING FOR GAS,2011.5.18,Section 1,氣體的類型,Section 2,氣體供應(yīng)方式,Section 3,氣體設(shè)備,Section 4,尾氣處理,Section 5,控制系統(tǒng),Content,Section 6,大眾氣體輸送系統(tǒng),Section 7,壓縮空氣(CDA),氣體類型,1,按照氣體的使用量分類: (1),大宗氣體: (2),特殊氣體: 2,按照氣體的性質(zhì)分類: (1),惰性性氣體 (2),助燃性氣體 (3),易燃性氣體 (4),腐蝕性氣體 (5),氧化性氣體,氣體類型,3,按照氣體的純度分類: (1),一般氣體: (2),高純氣體: 4,按照氣體常溫

2、條件下的狀態(tài)分類: (1),氣態(tài)氣體 (2),液態(tài)氣體 (3),高壓氣體 (4),低壓氣體,1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 現(xiàn)場制造氣體 2: Bundle supply: H2,He 集裝格供應(yīng)氣體 3: Lorry tank supply: Ar,O2 液體槽車供應(yīng)氣體 4: Gas cylinder supply: Special Gas 鋼瓶供應(yīng)氣體,氣體供應(yīng)方式,流量計,Tank Lorry,N2 Plant,液態(tài)氣體儲罐,Purity Gas,General Gas,Outside Of Building,Inside Of

3、Building,過濾器 0.02m, 0.01m,無塵室,氣體純化器,過濾器 (0.05m),過濾器 (0.1m),調(diào)壓器,氣化器r,氣體供應(yīng)方式,氣體輸送系統(tǒng),特殊氣體系統(tǒng),氣體輸送系統(tǒng),特殊氣體系統(tǒng)-流程圖,特殊氣體集中輸送系統(tǒng)(BSGS),氣體輸送系統(tǒng),氣瓶柜,安全設(shè)計 (外殼) 不銹鋼 316L VIM/VAR 選用材料符合特殊氣體需要 100% 內(nèi)表面電子拋光 無顆粒 泄漏率: 1 x 10 10 Atm-cc/sec (He) PLC 控制 & 觸摸瓶 操作 和 維護(hù)方便 全自動循環(huán)工藝 自動工藝鋼瓶切換 安全選項 & 聯(lián)動裝置 顯示器 : EL Mono or TFT Colo

4、r,氣瓶柜 流程圖,Gas Cabinet Flow Diagram,A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST,氣體分流箱(VMB),在不用停止供氣的條件下增加使用點 降通過減少氣瓶柜的數(shù)量來降低費用 系統(tǒng)和安全選項類似于氣瓶柜 設(shè)計簡潔 1 X 8 輸送,VMB P&ID, : Process In : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out :

5、 Process Out : Purge N2 In : Gas In,氣體輸送系統(tǒng), BSGS (特殊氣體集中輸送系統(tǒng)) 防止更換鋼瓶時,鋼瓶接頭咬死 持久保持高潔凈度: 減小鋼瓶內(nèi)雜質(zhì)結(jié)合的幾率. 降低頻繁更換鋼瓶所涉及的人員成本及項目管理成本. 連續(xù)不間斷供氣 降低污染, 減少維護(hù)費用 減少氣瓶柜數(shù)量以降低成本. 簡化二次配管工作 供應(yīng)量: 0300 slpm 二次降壓: 0150 psig 5psig 系統(tǒng)和安全選項類似于氣瓶柜,氣體輸送系統(tǒng),尾氣處理,Safety Design & System Designed with Anti-corrosion Material Easy O

6、peration and Maintenance Low Running Cost High Efficiency PLC Controller & Touch Panel Full Auto Cycle Process Safety Option & Interlocks Applicable Monitoring System Dry Scrubber Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU Scrubber,Controller of Gas and Chemical Supply System,Free Volt Main Power PLC Proc

7、ess Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : RS-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315,Monitoring System,GMS Concept Flow,Monitoring System,GMS,大眾氣體,定義:在空氣中可以提取的氣體,如氮氣,氧氣,氬氣,氦氣等. 儲藏方式:低溫儲罐,高壓鋼瓶,低溫氣體,低溫液體 在常壓下一般沸點低于-180 例如 液氧 (-182.9) 液氬 (-185.7) 液氮 (-195.8) 液氦 (-26

8、8.9),低溫儲罐,儲罐和槽車,大眾氣體輸送系統(tǒng),鋼瓶內(nèi)氣體,（1）壓縮氣體 臨界溫度低于-10的氣體，經(jīng)加高壓壓縮，仍處于氣態(tài)者稱壓縮氣體，如氧、氮、氫、空氣、氬、氮等。這類氣體鋼瓶若設(shè)計壓力大于或等于12MPa（125kg/cm2）稱高壓氣瓶。 （2）液化氣體 臨界溫度10的氣體，經(jīng)加高壓壓縮，轉(zhuǎn)為液態(tài)并與其蒸氣處于平衡狀態(tài)者稱為液化氣體。 （3）溶解氣體 單純加高壓壓縮，可產(chǎn)生分解、爆炸等危險性的氣體，必須在加高壓的同時，將其溶解于適當(dāng)溶劑，并由多孔性固體物充盛。在15以下壓力達(dá)0.2MPa以上，稱為溶解氣體（或稱氣體溶液），,高壓鋼瓶,大眾氣體輸送系統(tǒng)-氣瓶架,大眾氣體輸送系統(tǒng)-氣體匯流排,壓縮空氣(Compress Dryer Air),壓縮空氣(CDA)是指經(jīng)空氣壓縮機壓縮后,經(jīng)干燥,壓力高于