1、掃描探針顯微鏡(SPM)及其應(yīng)用、原納米儀器有限公司電子郵件：掃描探針顯微鏡(SPM)、本原CSPM-2000系列掃描探針顯微鏡包括掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)和橫向力顯微鏡()中科院化學(xué)所本原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾： (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號化工大廈1910特爾3360 (8620) 37618250，基本原理中科院化學(xué)所本，中科院化學(xué)所原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號華化工大廈1910特爾3

2、360 (8620) 37610中科院，掃描探針顯微鏡(SPM)主要包括掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)，STM控制探針在樣本表面進(jìn)行掃描。掃描過程中探測探針與樣品表面局部之間的隧道電流，獲得樣品表面的信息。AFM控制探針掃描樣本表面，檢測掃描期間探針和樣本表面局部之間的作用力，以獲取樣本表面的信息。中科院化學(xué)所本原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號化工大廈1910特爾3360 (8620) 37618250 STM牙齒樣品表面方向

3、平行和垂直的分辨率分別為0也就是說，可以區(qū)分單個原子。原子級分辨率可以實時獲得真實空間表面的三維圖像。可用于周期性或非周期性表面結(jié)構(gòu)研究。實時觀察的牙齒性能可用于表面擴散等動態(tài)過程的研究，可以觀察單原子層的局部表面結(jié)構(gòu)，而不是體相或整個表面的平均性質(zhì)。因此，可以直接觀察表面缺陷、表面重建、表面吸附體的形態(tài)和位置、吸附體引起的表面重建等，可以在真空、大氣、常溫等多種環(huán)境下工作，還可以將樣品浸入水和其他溶液中。不需要特殊的樣品制作技術(shù)，檢測過程不會對樣品造成損害。這些特征應(yīng)用于研究生物樣品和在各種實驗條件下評估樣品表面。例如，在多相催化機制、超導(dǎo)機制、傳記化學(xué)反應(yīng)期間電極表面變化監(jiān)測等方面，與掃描

4、隧道頻譜掃描隧道STS(掃描隧道技術(shù))一起，可以獲得有關(guān)表面結(jié)構(gòu)的信息。例如，表面不同水平的狀態(tài)密度、表面電子井、電荷密度波、表面屏障的變化、能量間隙結(jié)構(gòu)等具有納米操作和納米加工功能，樣品可以交替進(jìn)行表面現(xiàn)場檢測和修飾。此外，在技術(shù)本身中，SPM相對簡單、便宜，對安裝環(huán)境要求低，對樣品沒有特殊要求，樣品制作容易，測試容易。同時，SPM的日常維護(hù)和運行費用也非常低廉，SPM的獨特優(yōu)勢是中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號Tel:(8610)62615063 510700廣州先烈中路80號環(huán)華大廈1910 Tel :表1掃描探針顯微鏡(SPM)與其他顯微鏡技術(shù)的

5、性能指標(biāo)比較，圖1。掃描探針顯微鏡(SPM)與其他顯微鏡技術(shù)的分辨率范圍比較HM:高分辨率光學(xué)顯微鏡PCM:反向差分顯微鏡；(S)團隊：(掃描)透射電子顯微鏡；FIM:場離子顯微鏡；REM:反射電子顯微鏡，中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號Tel:(8610)62615063 510700廣州先烈中路80號環(huán)華大廈1910 Tel 3360 (8620)掃描探針顯微鏡與其他顯微鏡技術(shù)性能指標(biāo)進(jìn)行了比較。中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號Tel:(8610)62615063 510700廣州先烈中路80號華化大廈1910

6、 Tel 3360 (8620) 30掃描探針顯微鏡的若干茄子限制，其壓力效果是為了確保位置精度，運動范圍很小(因為目前很難突破100um的水平)，機械曹征精度不能與之相適應(yīng)，所以不能進(jìn)行像電子顯微鏡這樣大范圍的連續(xù)縮放。尋找和尋找特征結(jié)構(gòu)更加困難。目前掃描探針顯微鏡中應(yīng)用最廣泛的管狀壓力掃描儀的垂直擴展范圍比平面掃描范圍小一級。掃描時，掃描儀根據(jù)樣本表面的起伏擴展。如果測試的樣本表面起伏超出掃描儀的擴展范圍，系統(tǒng)可能無法運行或探針損壞。因此，掃描探針顯微鏡對樣品表面的粗糙度要求很高。因為系統(tǒng)檢測探針掃描樣本時的運動軌跡，推斷出表面形狀。因此，探針的幾何寬度、曲率半徑和各向異性都可能引起成像的

7、失真(通過探針重建可以部分克服)。SPM的應(yīng)用節(jié)目3360，黑連接體的STM原子是白春禮，科學(xué)通報399 (1989) Chunlibai，Chinese Science Bulletin，34 (15)，1318 (1989)Chinese science bulletin，38 (19)，1621 (1993)本機裝置結(jié)果，AFM image of porous alumina membranes Yu-Guo Guo，Li-。遠(yuǎn)視儀器結(jié)果，中科院化學(xué)所本原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號

8、華大廈1910特爾3360 (8620) 37618250，37618250 36 (4中科院化學(xué)所本原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號華大廈1910特爾3360 (8620) 37618250，37618250 14，38 (1993) ping cheng Zhang，chunli Bai，jun Han Wu et al .the 3rd national symposium on STM/p . 42本原組織結(jié)果，巨石礦(中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件3360 100080北京中

9、關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號化工大廈自然金(110)面的STM是玻璃瓶、馬曉河、馬鐵生等礦物巖、馬鐵生等(each letter is 5nm from top to bottom)ei gler，D.) 524。中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件3360 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾： (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號華大廈1910特爾3360 (8620) 376180線寬1.0nm。字的大小約為30nm平方(中科院物理所北京真空物理開放實驗室提供)。中科院化學(xué)所本原納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號華化大廈1910英特爾3360(8620)37618250；中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾： (8610) 62615063 510700廣州先烈中路80號華大廈1910特爾3360 (8620) 37618250，Si(1910)本儀器結(jié)果，SPM的應(yīng)用節(jié)目：中科院化學(xué)所本院納米儀器公司電子郵件： 100080北京中關(guān)村北一街2號，特爾3360 (8610) 626