1、.凈室工程師培訓(xùn)教材張利群的潔凈室工程師培訓(xùn)教材，寫的不錯，大家參考:潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材張利群二 OO六年十月目錄一 . 空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎(chǔ)知識（一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念1. 空氣調(diào)節(jié)及其分類2. 濕空氣的焓濕圖及其應(yīng)用 濕空氣的焓濕圖 焓濕圖中的名詞定義 焓濕圖的應(yīng)用 焓濕圖應(yīng)用的舉例3. 空調(diào)送回風(fēng)的氣流組織（二）空氣凈化的基礎(chǔ)知識1. 潔凈室及其四大要素2. 潔凈室的應(yīng)用及其分類3. 潔凈室與一般空調(diào)的差別4. 工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別5. 潔凈室潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)二潔凈室的建造特點（一）建造的潔凈室必須保證生產(chǎn)工藝所要求的各項參數(shù)（二）建造的潔凈室要具有一定的靈活性（三）建造潔

2、凈室需要較大的投資（四）潔凈室運行耗電量大運行費用高三潔凈室的竣工驗收調(diào)試，性能測試和潔凈室的綜合評價（一）調(diào)試前的準(zhǔn)備工作.（二）單機試車（三）聯(lián)動調(diào)試（四）潔凈室的性能測試和綜合評價四潔凈室的性能測試（一）潔凈室性能測試的目的（二）潔凈室性能測試的內(nèi)容（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（四）潔凈室性能測試的方法五潔凈室維護管理的一問題（一）過濾器的基本知識及其維護管理（二）潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清埽（三）潔凈室的空氣品質(zhì)（四）潔凈工作服及其清洗（五）潔凈區(qū)廁所的設(shè)置（六）值班風(fēng)機的設(shè)置（七）吹淋室的設(shè)置及吹淋效果（八）潔凈室的正壓維持（九）潔凈室的消毒和滅菌（十）潔凈室的顏色處理（十一

3、）潔凈室的靜電和靜電的消除（十二）潔凈室的防火和防爆（十三）潔凈室的能耗和節(jié)能（十四）潔凈室的竣工驗收調(diào)試和在線測試（十五）凈化空調(diào)系統(tǒng)的家濕問題（十六）凈化空調(diào)系統(tǒng)的管道保溫和防結(jié)露問題（十七）凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱問題潔凈室工程師培訓(xùn)教材一 . 空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎(chǔ)知識（一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念1、空氣調(diào)節(jié)及其分類空氣調(diào)節(jié)就是使房間或封閉空間的溫度，相對濕度， 潔凈度， 和氣流.速度等參數(shù)均達到給定要求的技術(shù)。也就是說， 在人們的生活和工作以及生產(chǎn)和科研的某一個特定的空間內(nèi)其環(huán)境空氣的溫度，濕度，潔凈度，和氣流速度等構(gòu)成了該空間的空氣環(huán)境。采取必要的技術(shù)手段來創(chuàng)造和保持該空間內(nèi)要求的空氣環(huán)境

4、就是空氣調(diào)節(jié)的任務(wù)。在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中， 空氣處理設(shè)備即空調(diào)器是實現(xiàn)空氣熱，濕交換和空氣過濾凈化的核心部分。一個房間或一個空間， 在一般情況下除了有來自該房間內(nèi)部的圍護結(jié)構(gòu)，人員，照明燈具及設(shè)備產(chǎn)生的熱，濕，粒子，微生物或其他有害物的干擾外，同時還有來自房間外部的大氣，太陽輻射等的干擾。 為了消除上述來自室內(nèi)外的干擾，就必須采取必要的技術(shù)手段，用在空氣處理設(shè)備中經(jīng)熱， 濕和過濾處理過的空氣來轉(zhuǎn)移，置換，稀釋和沖淡來自方方面面對房間空氣的干擾，來保證房間內(nèi)一定要求的空氣環(huán)境?？諝庹{(diào)節(jié)的原例圖見圖一和圖二。圖一空氣調(diào)節(jié)原理圖圖二凈化空調(diào)原理圖空氣調(diào)節(jié)按使用對象的不同又可劃分為舒適性空氣調(diào)節(jié)和工藝性空

5、氣調(diào)節(jié)。舒適性空氣調(diào)節(jié)就是為了滿足人們的舒適要求而設(shè)置的空氣調(diào)節(jié)。工藝性空氣調(diào)節(jié)就是為了滿足生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣參數(shù)的要求而設(shè)置的空氣調(diào)節(jié)。 環(huán)境空氣的溫濕度等參數(shù)均由生產(chǎn)工藝來決定。不同的生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣參數(shù)的要求也不相同。2、濕空氣焓濕圖及其應(yīng)用 濕空氣的焓濕濕空氣就是我們生活和工作的環(huán)境空氣，就是生產(chǎn)和科學(xué)研究的環(huán)境空氣。其主要成份是干空氣和水蒸汽。所謂干空氣就是不含水蒸汽的空氣，其中有78%的氮氣， 21%的氧氣和不足1%的氬氣， 氖氣等惰性氣體和少量的二氧化碳。在濕空氣中雖然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用卻非常大。 從某種意義上說調(diào)節(jié)濕空氣中水蒸汽的含量就是空氣調(diào)節(jié)的重要任務(wù)之一。

6、濕空氣的焓濕圖是用來表示濕空氣的溫度、相對濕度、 含濕量和焓值等空氣狀態(tài)參數(shù)及其相互關(guān)系的線算圖。是在一定的大氣壓力的條件下，以焓值為縱坐標(biāo)含濕量為橫坐標(biāo)，其夾角為 1350 的線算圖。圖中有等溫度線、等相對濕度線、等含濕量線和等焓值線。利用焓濕圖可以表示空氣調(diào)節(jié)處理過程中所發(fā)生的混合、加熱、冷卻、加濕、去濕等所有空氣處理過程，并且利用焓濕圖可以計算出空氣處理過程中所需要的冷量、加熱量、 加濕量等各種用量。焓濕圖見圖三。圖三濕空氣的焓濕圖. 焓濕圖中的名詞定義：a. 干球溫度：就是用干球溫度計測出的空氣溫度。b. 濕球溫度：就是用濕球溫度計測出的空氣溫度。也就是說將溫度計的水銀球用浸水的紗布包

7、裹起來，所測得的穩(wěn)定的空氣溫度。從理論來說，濕球溫度就是室內(nèi)放置一盆水，水吸收空氣中的熱量后部分水蒸發(fā)成水蒸汽釋放到空氣中，增加空氣的潛熱， 而空氣失去了熱量，溫度降低失去了空氣的顯熱。當(dāng)這一熱濕交換達到平衡以后，空氣所得的潛熱（水蒸汽）和所失的顯熱（溫度降低）達到平衡后，其空氣的總熱量（焓值）不變時，此時的水面空氣的溫度就是空氣的濕球溫度。濕球溫度也就是相對濕度100%時的飽和溫度。c. 相對濕度：空氣中實際的水蒸汽的分壓力與同溫度下飽和狀態(tài)空氣的水蒸汽的分壓力之比。飽和水蒸汽的分壓力為 100%。d. 飽和水蒸汽的分壓力：空氣中的水蒸汽不斷增加達到飽和時，空氣中的水蒸汽就會凝結(jié)成水由空氣中

8、分離出來，此時的溫度為飽和溫度，其相對濕度達到100%。e. 露點溫度：是在一定大氣壓力的條件下，某含濕量下的未飽和空氣因溫度不斷地降低，相對濕度不斷增加， 達到飽和狀態(tài)空氣中的水蒸汽凝結(jié)成水珠，從空氣中分離出來時的溫度叫露點溫度。 也就是空氣中的水蒸汽分壓力隨空氣溫度降低不斷升高，達到飽和狀態(tài) （100%）時的溫度叫露點溫度。f. 含濕量：即環(huán)境空氣中1 公斤干空氣所含有水蒸汽的質(zhì)量（g）。g.熱濕比線：空調(diào)房間內(nèi)的全熱負荷與全濕負荷之比。在電子工業(yè)產(chǎn)熱量大、產(chǎn)濕量小的潔凈廠房一般的熱濕比800010000 大卡 /kg 趨近正無窮大。對于醫(yī)院的潔凈手術(shù)部的潔凈手術(shù)室的熱濕比大約在18002

9、400 大卡 /kg 。因為人多，人的產(chǎn)濕量大，但熱負荷較小。 焓濕圖的應(yīng)用在焓濕圖上可以劃出空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中各種空氣處理的過程線，并且可以在線算圖上查出各種空氣處理過程的空氣參數(shù)和各種所需用量。a. 等濕加熱：空氣含濕量不變條件下的加熱。環(huán)境空氣的干球溫度升高，相對濕度降低。如：空氣處理中用熱水和蒸汽為熱源的熱交換器加熱、電加熱器的加熱。為正的無窮大過程圖線。見圖四。b. 等濕降溫：空氣含濕量不變條件下的降溫。環(huán)境空氣的干球溫度降低，相對濕度增加但并未到露點，沒有水凝結(jié)出來。 如：空氣處理中的干表冷。即送入表冷器中的冷凍水的初溫高于空氣露點。此時為負無窮大的過程線。見圖五。圖四等濕加熱過程圖五

10、等濕降溫過程c.等焓加濕： 空氣的焓值不變條件下的加濕。即空氣和水直接并充分地進行熱交換的過程。.水吸收空氣中的熱量后部分水被蒸發(fā)成水蒸汽進入空氣，空氣失去熱量溫度下降。最終達到空氣失去的熱量等于空氣中增加的水蒸汽的含熱量。其空氣的總熱量（焓值）不變。 過程線是 135o 線， = 0 ，過程線見圖六。空氣處理過程中淋水室（淋循環(huán)水）濕膜加濕、高壓噴霧加濕、超聲波加濕等加濕的過程線。d. 生溫去濕：空氣的溫度不斷升高含濕量不斷降低的過程。固體化學(xué)去濕的過程就是生溫去濕的過程。 即：固體吸濕劑吸收空氣中的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)放熱使空氣溫度升高，絕對含濕量降低，相對濕度也降低。過程線近似等焓線。常見的

11、分子篩、氯化鋰、硅膠等固體吸濕就是生溫去濕過程。過程線見圖七。圖六等焓加濕過程圖七升溫去濕過程e. 等溫加濕：空氣干球溫度不變條件下的加濕。向空氣中噴入水蒸汽的過程就是等溫加濕過程。 空氣的溫度維持不變，直接將水蒸汽噴入空氣變成空氣中的水蒸汽?？諝馓幚碇谐Ｓ玫膰娬羝?、噴干蒸汽電極式、電熱式的加濕器。過程線見圖八。f. 降溫去濕（降溫干燥）：空氣的溫度降低同時含濕量也減低的空氣處理過程。向空氣中噴淋低于空氣露點的冷凍水，或?qū)⒌陀诳諝饴饵c的冷凍水（冷媒） 通入表面冷卻器，與空氣接觸后， 使空氣溫度降低而且還使空氣中的水蒸汽遇冷凝結(jié)成水滴從空氣中分離出來，使空氣的溫度降低, 絕對含濕量減少。這是空氣

12、處理中最常用的降溫去濕的方法，也是冷凍去濕的方法。 過程線見圖九。 向空氣中噴淋液體吸濕劑的處理過程也是降溫去濕減焓過程，但工程中很少應(yīng)用。圖八等溫加濕過程圖九降溫去濕過程g. 升溫加濕：向空氣中噴熱水的處理過程，是升溫加濕的過程。在工程中很少應(yīng)用。過程線見圖十。h. 空氣的混合過程： 兩種不同狀態(tài)的空氣混合時， 其空氣的混合狀態(tài)點在兩種空氣狀態(tài)點的連線上。線段長度之比則為兩空氣質(zhì)量之比。其過程線見圖十一。圖十升溫加濕過程圖十一混合過程焓濕圖上幾種典型的空氣處理過程見圖十二。濕空氣狀態(tài)的各種參數(shù)，如：干球溫度，濕球溫度，露點溫度，相對濕度，含濕量和焓值等之間都是相互關(guān)連的， 只要知道其中的兩，

13、 三個參數(shù)在焓濕圖上就可以確定濕空氣的狀態(tài)點。見圖十三。圖十二典型的空氣處理過程圖十三空氣狀態(tài)點參數(shù)的確定焓濕圖的應(yīng)用舉例一個潔凈室的室內(nèi)參數(shù)為N，送風(fēng)參數(shù)為S，熱濕比為，送風(fēng)溫差為。全新風(fēng)系統(tǒng)。夏季.室外計算參數(shù)為Ws，冬季室外計算參數(shù)為Wd。現(xiàn)需將室外空氣處理到送風(fēng)參數(shù)點S 后，用風(fēng)管送到潔凈室內(nèi)就能滿足潔凈室的溫、濕度要求。 可以采取下面多種方法，對空氣進行熱，濕處理都能達到同一個目的。見圖十四。圖十四焓濕圖上的空氣處理過程如：夏季空調(diào)空氣處理過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：a.WSLS用表冷器或淋水室將室外空氣降溫去濕減焓處理后再等濕再熱。b.WSaS用固體化學(xué)去濕將室外空氣生溫去濕再干冷降

14、溫。c.WSS用噴淋液體吸濕劑做降溫、去濕、減焓處理。又如：冬季空調(diào)空氣處理過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：a.WdbLS先用加熱器對室外空氣預(yù)熱再等溫加濕（噴蒸汽） 然后用加熱器再熱。b.WdcLS先用加熱器對室外空氣預(yù)熱再等焓加濕（濕膜等） 然后用加熱器再熱。c.WddS先用加熱器對室外空氣加熱再等溫加濕（噴蒸汽）。d.WdLS先用噴熱水對室外空氣升溫加濕然后再熱。e. WdeL1e3、空氣調(diào)節(jié)的氣流組織空氣調(diào)節(jié)氣流組織設(shè)計的任務(wù)就是要合理地組織室內(nèi)空氣的氣流流動，使工作區(qū)的溫度， 濕度，氣流速度和潔凈度能很好地滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究以及人們舒適感的要求。氣流組織不合理不僅直接影響空調(diào)房間的空調(diào)參數(shù)

15、和空調(diào)效果，而且還要空調(diào)系統(tǒng)的能耗?？照{(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口射出空氣射流是影響室內(nèi)氣流組織的主要因素，而空調(diào)回風(fēng)口， 從流體力學(xué)角度是空氣的匯流，起回風(fēng)速度衰減很快，與其距離的平方成反比。因此回風(fēng)口的位置對室內(nèi)氣流組織的影響比較小?？諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)的氣流組織形式主要有：上送下回，上送下側(cè)回，上送上回，側(cè)上送側(cè)下回等形式。見圖十五。圖十五空氣調(diào)節(jié)的氣流組織（二）空氣凈化的基礎(chǔ)知識1潔凈室及其四大技術(shù)要素.根據(jù)生 和科研的要求 室內(nèi)空氣 境的 度、溫度、相 濕度以及 力、噪聲、振 、靜 等參數(shù)都 行控制的房 叫 室或 廠房。 室的四大技 要素就是：粗效，中效和高效三 ，足 的 化送 量，室內(nèi)正 的建立和 持，以

16、及終端高效或超高效 器的 置。2 室的 用和分 當(dāng)今 室已廣泛地 用在 子、航天、機械、化工、制 、食品、醫(yī) 、生物工程各行各 。而且， 隨著國民 和科研事 的 速 展， 室的 用將越來越廣泛，越來越重要， 室可按氣流流型和使用用途以及控制的主要 象來分 。、 室按氣流流型來劃分 向流（ 流） 室，其中又分垂直 向流 室和水平 向流 室。 十六 向流氣流流型 非 向流（亂流） 室 十七非 向流氣流流型 混合流 室 十八混合流氣流流型 矢流（ 角流） 室 十九矢流氣流流型 各種氣流的特點、 造的 度、 用范 和投 運行 。 向流氣流的 化原理是活塞和 原理，把灰 從一端向另一端 出去，用 氣流置

17、 染氣流。包括有垂直 向流和水平 向流。垂直 向流是氣流以一定的速度 （ 0.25m/s0.5m/s ）從 棚流向地坪的氣流流型。 這種氣流能 造 100 、 10 、 1 或更高 。但其初投 很高、運行 很高，工程中盡量將其面 到最小，用到必 用的部位。水平 向流是氣流以一定的速度（0.3m/s0.5m/s ）從一面 流向 面的 的氣流流型。 氣流可 造100 的 化 。其初投 和運行 低于垂直 向流流型。 非 向流氣流的 化原理是稀 原理。一般型式 高效 器送 口 部送 ；回 的型式有下部回 、 下部回 和 部回 等。依不同送 氣次數(shù)， 不同的 化 ，其初投 和運行 用也不同。 混合流氣流

18、是將垂直 向流和非 向流兩種氣流 合在一起構(gòu)成的氣流流型。 種氣流的特點是將垂直 向流面 到最小，用大面 非 向流替代大面 向流以利 省初投 和運行 。. 例 出不同氣流流型的送 量、耗冷量、初投 和運行耗 的具體指 表一，此指 是以 子工 廠房 代表，具體數(shù)據(jù)有參考價 ，但不能隨便套用。表一不同 廠房的送 量、冷量投 耗 的指 氣流流型潔凈級別（ ）送 量（ m/s ）（次 /h ） 耗冷指 （ W/m2） 投 指 （元 / m2 ） 耗 指 （ W/m2） 向流 垂直 10100 0.25m/s 13001500 1000013000 1.251.35水平 100 0.3m/s 80010

19、00 50006000 0.91.0非 向流1000 5060次 /h600700 28003000 0.250.3310000 2530 次/h 500600 20002200 0.220.26100000 1520 次 /h 350400 14001600 0.130.16注：表中的送 量、 向流以斷面 速表示，非 向流以 氣次數(shù)表示。表中冷量指 一般指 子工 廠房。表中的初投 包括 廠房的 、冷 供 系 、 空 化系 ， 不含土建 構(gòu)和自 控制的投 。表中的耗 量系指制冷系 和空 送 系 耗 ，不含 加 和 加濕的耗 量。、按使用的用途或控制的主要 象劃分 工 用 室：以控制灰 主要 象

20、。用于 子、航天、機械、化工、化學(xué)制 。 生物 室：以控制 菌（微生物） 主要 象。用于生物制 、醫(yī) 、食品、生物工程、 物 養(yǎng)、生物安全等。3 室與一般空 的差 表二表二 室與一般空 的差 比 目一般空 化空 原理送 和室內(nèi)空氣充分混合以達到室內(nèi)溫濕度均勻亂流 稀 原理， 流 活塞原理，送出的 室空氣先達工作區(qū)，罩 工作區(qū)目的 了控制溫度、 濕度、 速和空氣成份的目的除了一般空 的目的之外，更重要的是控制粒子的 度手段粗、中效 加 濕交 除空 手段外 要加高效、超高效 器， 微生物 要有.滅菌措施送風(fēng)量（次 /h ） 一般降溫空調(diào)810 次/h一般恒溫空調(diào)1015 次 /h單向流 40060

21、0 次 /h非單向流1560 次 /h初投資（元 /m2） 一般降溫500 元 /m2一般恒溫800 元1000 元/m2 單向流 500015000 元/m2非單向流15003000 元 /m2運行耗電（ Kw/m2） 一般降溫 0.040.06 Kw/m2一般恒溫0.080.10 Kw/m2單向流 0.91.35 Kw/m2非單向流0.130.33 Kw/m2冷量指標(biāo)（ W/m2） 一般降溫 150200 W/m2一般恒溫200250 W/m2 單向流 8001500 W/m2非單向流350700 W/m24工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別見表三表三工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表比較項目工業(yè)潔

22、凈室生物潔凈室研究對象（主要）灰塵、粒子只有一次污染。微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發(fā)二次污染（代謝物、糞便）?？刂品椒▋艋胧?主要是采取過濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學(xué)過濾器等。 主要是采?。虹P除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等?？刂颇繕?biāo)控制有害粒徑粒子濃度?？刂莆⑸锏漠a(chǎn)生、繁殖和傳播，同時控制其代謝物。對生產(chǎn)工藝的危害關(guān)鍵部位只要一顆灰塵就能造成產(chǎn)品的極大危害。有害的微生物達到一定的濃度以后才能夠成危害。對潔凈室建筑材料的要求所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦所有材料應(yīng)耐水、耐腐且不能提供微生

23、物孳生繁殖條件。.對人和物進入的控制 人進入要換鞋、 更衣、吹淋。物進入要清洗、 擦拭。人和物要分流， 潔污要分流。 人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。檢測 灰塵粒子可用粒子計數(shù)器檢測瞬時粒子濃度并顯示和打印。微生物檢測不能測瞬時值，須經(jīng)48 小時培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。5潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644ISO-14644 是國際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國原來應(yīng)用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100 級、 1000級、 10000 級和 100000 級

24、都是源自美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644 標(biāo)準(zhǔn)中的5 級、 6 級、 7 級和 8 級所替代。ISO-14644 的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)列表四如下。表四潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO-14644空氣潔凈度等級（N） 表中粒徑的最大濃度限值（個/m3）0.1 m 0.2 m 0.3 m 0.5 m 1m 5m1 10 2 / / / /2 100 24 10 4 / /3 1000 237 102 35 8 /4 10000 2370 1020 352 83 /5 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 2370

25、00 102000 35200 8320 2937 / / / 352000 83200 29308 / / / 3520000 832000 293009 / / / 35200000 8320000 293000注： 每點應(yīng)至少采樣3 次。 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。 根據(jù)工藝要求可確定12 粒徑。 根據(jù)要求粒徑D 的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1 m5m）（個 /m3）式中 N 為潔凈度等級在19 級中間可以0.1 為最小單位遞增量插入。國標(biāo)潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)ISO- 14644 與各國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的比較見表五。表五國際標(biāo)準(zhǔn) ISO-14644 與各國標(biāo)準(zhǔn)

26、的比較表.國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644中國標(biāo)準(zhǔn)GB 50073 美國標(biāo)準(zhǔn)FS 209E 俄國標(biāo)準(zhǔn)TOCT 50766 日本標(biāo)準(zhǔn)TIS 9920德國標(biāo)準(zhǔn)/ / / P0 / /1 1 / P1 1 12 2 / P2 2 23 3 M1.5 P3 3 34 4 M2.5 P4 4 45 5 M3.5 P5 5 56 6 M4.5 P6 6 67 7 M5.5 P7 7 78 8 M6.5 P8 8 89 9 / P9 / 9二潔凈室的建造特點（一）建造投資費用高高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100 級垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管

27、道配件、凈化設(shè)備和配件等）的初投資大約為10000 元人民幣 /m2；如果加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費用要高達2500030000 元人民幣 / m2 。就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來說，華虹 NEC為月投片 30000 片 8 硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中 10000 m2 是在中心部位，另2000 m2 在邊跨上。在中心部位的10000 m2 潔凈室中有4000 m2 的 1 級、 10級和 100 級的垂直單向流潔凈

28、室，另外6000 m2 分別為 1000 級和 10000 級的非單向流潔凈室，總送風(fēng)量約6,400,000 m3/h。于 1998 年底建成投產(chǎn)。該項目總投資約100 億人民幣，其中動力設(shè)備和土建投資為20 億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費用就高達6000 萬美元（約 5 億人民幣）（日本三機株式會社施工），折合每平方米建造費用約50000 元人民幣 / m2 。（二）運行管理費用大因為高級別潔凈室凈化風(fēng)量大，新風(fēng)量也大， 溫濕度要求嚴格，所以空氣熱濕處理和空氣輸.配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2

29、 潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機耗電量為3840 Kw/h，全年電費為1659 萬元（每度電按0.6 元 / 設(shè)計），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h ，全年電費為6000 萬人民幣。全年空調(diào)凈化系統(tǒng)本身的運行費用就高達7659 萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659 元 /m2 年。（三）靈活適應(yīng)性強因為，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展23 年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展速度更快12 年就上一個臺階。這就要求為其服務(wù)的高級別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適

30、應(yīng)性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設(shè)計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。從一個潔凈廠房的靈活適應(yīng)角度， 可將其分為三個層次， 第一是不可變的部分。 無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎(chǔ)、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。（四）安全、可靠性好從前面（一）、 （二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產(chǎn)出高可靠、高質(zhì)量的高科技產(chǎn)品也必須具備這樣的生產(chǎn)環(huán)境。

31、因為， 建造潔凈室的目的是為使用， 是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。為了達此目的， 設(shè)計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有參數(shù)必須滿足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才能有效益，才能達到建造潔凈室的目的。三潔凈室的竣工驗收調(diào)試，性能測試和潔凈室的綜合評價竣工驗收的調(diào)試工作要分以下四個步驟進行。 調(diào)試前的準(zhǔn)備工作。 單機試車。 聯(lián)動調(diào)試。潔凈室的性能測試和綜合評價。（一）調(diào)試前的準(zhǔn)備工作1、調(diào)試的組織準(zhǔn)備：成立以建設(shè)單位（業(yè)主）為組長的有設(shè)計單位、施工單位、監(jiān)理單位人員參加的調(diào)試小組

32、。調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)調(diào)試的全面工作，調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系，調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。2、編制調(diào)試大綱在調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)和組織下， 編制調(diào)試大綱。 調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo)性文件。 調(diào)試大綱的內(nèi)容包括：組織分工、人員安排、物資調(diào)動；調(diào)試項目、調(diào)試方法、調(diào)試儀表；調(diào)試程序、調(diào)試進度、調(diào)試計劃安排等。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認識統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動整齊，使調(diào)試工作順利進行。.3、施工現(xiàn)場質(zhì)量的會檢。在調(diào)試小組的領(lǐng)導(dǎo)組織下，有建設(shè)單位、設(shè)計單位、 施工單位、 監(jiān)理單位的有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員參加，對施工現(xiàn)場、施工質(zhì)量進行全面會檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調(diào)機房到供冷、供熱、 供

33、電系統(tǒng)、 空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動控制系統(tǒng)。從設(shè)備（冷凍機、 鍋爐、水泵、冷卻塔、空調(diào)器等）、配件（閥門、風(fēng)口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設(shè)備基礎(chǔ)、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進行全面會檢。看是否按圖施工、查與設(shè)計圖不符之處，找施工質(zhì)量不合格項目并查其原因。并對施工、 加工、安裝等質(zhì)量問題逐一填寫“缺陷明細表”，提出整改意見，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。4、空調(diào)設(shè)備、空調(diào)系統(tǒng)的清掃：調(diào)試之前對潔凈室進行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進行認真、 全面、徹底的大掃除 （最好請專業(yè)的清潔公司） ；對空調(diào)設(shè)備、 空調(diào)管道 （送風(fēng)管、回風(fēng)管、新風(fēng)管），空調(diào)配件（清聲器、閥門

34、、風(fēng)口等）進行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。安裝粗效、 中效過濾器進行第一次空吹。在徹底清掃的基礎(chǔ)上，安裝空調(diào)器內(nèi)的粗效和中效過濾器。 對整個凈化空調(diào)系統(tǒng)進行空吹，空吹時間為2436 小時，使整個系統(tǒng)得到初步的凈化。安裝高效過濾器。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前，要求對其逐一進行檢漏，對有泄漏者進行堵漏。檢漏在臨時檢漏臺上進行，塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過濾器方能進行安裝，安裝完畢后對高效過濾器的安裝密封再進行檢漏（利用塵埃粒子計數(shù)器掃描），達到安裝合格。高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調(diào)系統(tǒng)進行第二次空吹。空吹時間24 小時，然后方可進行入調(diào)試程序。5、測試儀

35、器、儀表、工具的準(zhǔn)備調(diào)試前要對調(diào)試中所用的儀器儀表進行調(diào)試和標(biāo)定（超過使用時間還需重新進行標(biāo)定）。所用的儀表包括測量風(fēng)速、風(fēng)量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動、轉(zhuǎn)數(shù)、時間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。調(diào)試所用的器材、工具的準(zhǔn)備。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。調(diào)試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準(zhǔn)備。（二）單機試車單機試車是對工程中的所有的設(shè)備、配件等單體進行試車。單機試車的目的是對這些設(shè)備、配件的安裝質(zhì)量和產(chǎn)品出廠質(zhì)量的檢查和考核。單機試車的主要內(nèi)容有：水、電先行。即首先對供水供電的設(shè)備和系統(tǒng)進行檢查和考核。如

36、水泵、變壓器、配電箱、開關(guān)等。要保證供水、供電的正常、可靠。進而，對供冷設(shè)備（冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設(shè)備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調(diào)設(shè)備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風(fēng)機等）、自動控制設(shè)備、. 表、 以及各系 的配件 行 體考核?？词欠衲?足 要求和正常運行。尤其 如 機、 水 要 看是否運 平 ，有無 音和碰撞和反 象；用 接 是否正確； 冷 機和 爐是否能達到 要求；空 器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等 行 體 、考核。如果出 故障和 ， 立即排除。 于大型 如冷 機、 爐、 空 器等 （尤其是 口 ）在 機 最好有生 廠家的 人 指 或由生

37、廠家 ，待運 正常后再移交 使用 位。 機 做好各個 體 的準(zhǔn) 工作。（三）聯(lián)動調(diào)試 一般情況下分 兩個 段 行，即 量分配 段和 段。1、 量分配： 量分配即將各個 室的送 量、回 量、 新 量、 排 量全部按 要求 整到 量。因 一個 廠房可能有多個空 送 系 和排 系 ，或一個空 送 系 要 擔(dān)多個 室的送 。因此， 量分配 工作是一 工作量大、 、耐心 致的工作。 量分配 工作也是整個 工作的重點工作。常用的 量分配 方法采用 準(zhǔn) 口法。 準(zhǔn) 口法：一個 室可能有幾個、幾十個空 送 口、回 口。因 它 之 都是相通的，當(dāng) 整某一個 口送 的 量 其他送 口的 量也會跟其 化。因此， 采

38、用 準(zhǔn) 口法。所 準(zhǔn) 口法， 就是在 量分配之前， 將所有 都開到最大的情況下，在所有的送 口 中找到最不利的送 口 （送 量最小的送 口）， 將此 口作 準(zhǔn) 口。在 準(zhǔn) 口上 一 表， 隨 準(zhǔn) 口的 量 化。然后 整其它所有 口 量。因 整任何一個 口 量 ， 都會影響已 整 的 口的 量的 化； 因此，在 整任何一個 口 量 ，都要以 準(zhǔn) 口當(dāng) 量 參照 量， 使所有被 口的 量均隨 準(zhǔn) 口的 量 化而同步 化。當(dāng)一個 化空 系 多個 室空 ， 要以 室 位由末端向 干管方向 行， 各 室首先 整其送 量的相 關(guān)系量， 然后，再用系 的 來將每個送 口，每個 室的送 量都 整 真 的 送

39、量。2、 在 量 整和 機 后 行。 就將 化空 系 和 化空 系 服 的所有系 即：供冷系 （冷 機、冷卻塔、水 以及供冷系 上所有的配件）、供 系 （ 爐、水 以及供 系 上所有配件）、供 系 （配 箱、 器）和自 控制系 全部投入運行，考核各系 的 合性能和 性能。必要 ， 在 室內(nèi)人 的 置一定量的 荷，考核溫、濕度探 、中 表和 行機構(gòu)的 是否敏感、 ；考核溫、濕度探 是否準(zhǔn)確，精度是否合格。（四） 室的性能 和 合 價在 量 整和 的基 上， 室空 化系 以及 其服 的所有系 ，均 于正常運行狀 。接著 行 室的性能 和 合 價。.1、潔凈室的性能測試：潔凈室性能測試內(nèi)容包括：潔凈

40、度測試、風(fēng)量測試、正壓測試、風(fēng)速測試（單向流潔凈室）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。潔凈度測試：采樣點布置在工作面上（0.81.0m ），采樣點數(shù)量N=A1/2（A 是潔凈室面積m2）。塵埃粒子計數(shù)器的采樣量要大于1 升 / 分；每個采樣點連續(xù)有效采樣三次。取其平均值做該點的測量值。全部測點的測量值的平均值作為潔凈室的潔凈度。風(fēng)量或風(fēng)速測試：單向流潔室測量斷面風(fēng)速、非單向流潔凈室測其風(fēng)量。斷面風(fēng)速的測量：距吊頂上送風(fēng)高效過濾器（HEPA）300mm處布置測點， 測點間距為600mm，用熱球風(fēng)速儀測其各點風(fēng)速。風(fēng)量測試： 在送風(fēng)管或送風(fēng)口上測送風(fēng)風(fēng)量。方法是用比托管和微壓差計，測風(fēng)管內(nèi)各點的動壓

41、，測點間距為100mm。再計算送風(fēng)量。正壓測試：在關(guān)門的狀態(tài)下，測潔凈室的正壓。采用補償式微壓計測量。2、潔凈室的綜合評價。在對潔凈室性能測試的基礎(chǔ)上，根據(jù)對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風(fēng)量、噪聲等測試結(jié)果，對潔凈室的建設(shè)和性能進行竣工驗收的綜合評價。四潔凈室的性能測試( 一 )潔凈室性能測試的目的潔凈室性能測試的目的主要有兩項：其一是為了潔凈室的竣工驗收，其二是為了檢查潔凈室的運行是否正常。1、 凈室竣工驗收的性能測試根據(jù)（潔凈室施工及驗收規(guī)范）和（潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗收分兩步進行，第一步是竣工調(diào)試和性能測試， 第二步是潔凈室性能的綜合評價。 潔凈室性能的綜合評價是潔凈室

42、工程竣工驗收的重要環(huán)節(jié)，而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評價的基礎(chǔ)。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下：通風(fēng)機的風(fēng)量和轉(zhuǎn)數(shù)；風(fēng)量及其平衡；室內(nèi)靜壓及其調(diào)整；自控系統(tǒng)的聯(lián)動；高效過濾器的檢漏；室內(nèi)的潔凈度；等六項。其中主要三項是，潔凈度，風(fēng)量和室內(nèi)靜壓。2、潔凈室運行狀態(tài)下的定期性能測試根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）的要求，因生產(chǎn)的復(fù)雜性和維護管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對潔凈室進行定期的性能測試，檢測的頻數(shù)見下表。表十四潔凈室性能測試的內(nèi)容和頻數(shù).潔凈度等級項目 13 4 、 5、 6 7 8 、 9溫度循環(huán)監(jiān)測每班二次濕度循環(huán)監(jiān)測每班二次壓差值循環(huán)監(jiān)測每周一次每月一次潔凈度循

43、環(huán)監(jiān)測每周一次每 3 個月一次每 6 個月一次風(fēng)量循環(huán)監(jiān)測不得超過12 個月（二）潔凈室性能測試的內(nèi)容表十五潔凈室檢測內(nèi)容序號測試項目JGJ71-90 規(guī)定 GB50073-2001 規(guī)定低于 100 級 100 級 1000 級及以下1 室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總風(fēng)量，室內(nèi)排風(fēng)量，檢測檢測2 靜壓差檢測檢測3 風(fēng)速和風(fēng)量檢測不測 檢測4 斷面風(fēng)速不均勻度檢測必要時測不測未規(guī)定5 潔凈度級別檢測檢測6 浮游菌和沉降菌必要時測選測7 室內(nèi)溫度和室內(nèi)相對濕度檢測選測8 溫濕度波動范圍和區(qū)域溫差必要時測未規(guī)定9 室內(nèi)噪聲級檢測選測10 室內(nèi)倍頻程聲壓級必要時測選測11 室內(nèi)照度及其均勻度檢測選測12 室內(nèi)微

44、振必要時測必要時測13 表面導(dǎo)靜電性必要時測必要時測14 室內(nèi)氣流流型不測必要時測選測15 流線平行度檢測必要時測不測必要時測16 自凈時間不測必要時測必要時測選測17 過濾器安裝檢漏未規(guī)定選測18 污染泄漏未規(guī)定選測（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表1、風(fēng)壓測試儀器：主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測量風(fēng)速，計算風(fēng)量。液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優(yōu)點，.但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。液體壓力計主要有：U 型

45、管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。彈簧壓力計： 彈簧壓力計是根據(jù)彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測壓力成函數(shù)關(guān)系這一原理制成的，其優(yōu)點是構(gòu)造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。電學(xué)壓力計： 電學(xué)壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學(xué)方法來測定壓力的壓力計，適用于測量變化極快、數(shù)值很高或近乎絕對真空時的壓力。2、風(fēng)速和風(fēng)量測試儀器： 風(fēng)速測量儀的作用原理有：機械式、散熱率式和動力測壓式等。a機械式風(fēng)速儀：如翼形風(fēng)速儀，它是利用流動氣體的原動壓推動機械裝置來顯示其流速的儀表。b散熱率式風(fēng)速儀：是根據(jù)流體中受熱物體的

46、散熱率與流體流速成正比關(guān)系制成，測定傳感器的散熱率，即能測到流體的流速。常用的散熱率式風(fēng)速儀有：熱線風(fēng)速儀和熱球風(fēng)速儀等。風(fēng)量測量儀： 在潔凈室中總風(fēng)量的測試常用風(fēng)管法，各房間送回風(fēng)量多用風(fēng)口法進行測量，其原理為平均風(fēng)速乘以斷面面積。潔凈度測試儀：a塵埃粒子的檢測儀表：目前潔凈室潔凈度的檢測主要用光散射塵埃粒子計數(shù)器，它又分為白只光塵埃粒子計數(shù)器和激光塵埃粒子計數(shù)器。它的原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象， 將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)， 利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系來測量微粒粒徑的大小。b生物粒子的檢測儀表：目前生物粒子的檢測

47、方法主要有采用培養(yǎng)基法和濾膜法，所用的儀器分浮游菌采樣器和沉降菌采樣器。浮游菌采樣器主要有： 固體撞擊式采樣器、 離心式空氣微生物采樣器、 氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。沉降菌采樣器主要有：高壓消毒鍋、恒溫培養(yǎng)箱和培養(yǎng)皿等。溫度測試儀： 通稱溫度計，按其作用原理可分為膨脹式溫度計、壓力式溫度計、熱電偶溫度計和電阻溫度計。a膨脹式溫度計：分固體膨脹式溫度計和液體膨脹式溫度計。b壓力式溫度計：可分為充氣壓力計式溫度計和充蒸汽壓力計式溫度計。c熱電偶溫度計：是根據(jù)熱電效應(yīng)原理制成的，當(dāng)兩種不同金屬節(jié)點溫度不同時就會有電動勢，如已知一點溫度，測出電動勢就可推算另一點的溫度。d電阻溫度計：基于某種金屬及其合金或半導(dǎo)體的電阻會隨溫度變化而變化，精確地測定電阻就會測出溫度。.電阻溫度計的優(yōu)點有：精確度靈敏度高、反應(yīng)快；測溫范圍寬；不需冷節(jié)點補償；可用于遠距離溫度測量。濕度測試儀：濕度測試儀按其原理可分為干濕球溫度計、毛發(fā)溫度計、電溫度計等。噪聲測試儀： 噪聲測試儀它的原理是用電容式傳聲器將聲能變?yōu)殡娔?，再?jīng)放大器、 檢波器等一系列處理，最后給出聲壓值。照度測試