潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求_第1頁
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潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求_第3頁
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文檔簡介

1、；10 萬級潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求監(jiān)測項目技術(shù)要求監(jiān)測方法監(jiān)測頻次溫度1828 O C（十萬級、三十萬級）JGJ71-901 次/ 班濕度4565（十萬級、三十萬級）JGJ71-901 次/ 班換氣次數(shù)十萬級 15 次/ 小時JGJ71-901 次/ 月5Pa（不同潔凈級別潔凈室（區(qū)）之間）JGJ71-90靜壓差10Pa（潔凈室（區(qū)）與室外）1 次/ 月5Pa（潔凈室（區(qū)）之間與非潔凈室（區(qū)）0.5 m5m塵埃粒子十萬級GB/T16292-19961 次/ 季20000 個/m33500000 個/m3浮游菌十萬級 500 個/m3GB/T16293-19961 次/ 季沉降菌十萬級 10 個/

2、皿GB/T16294-19961 次/ 周.；100 級和 10000 級潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求技術(shù)要求監(jiān)測頻監(jiān)測項目監(jiān)測儀器100 級10000 級測 量 位 置次溫度 ()溫濕度計18-2818-28潔凈區(qū)各室1 次/班濕度 ( %)溫濕度計45-6545-65潔凈區(qū)各室1 次/班風速 (m/s)水平層流 04垂直層流 0.3風速儀送風口1 次/月?lián)Q氣次數(shù)20(次/h)靜壓差微壓差計55不同潔凈區(qū)之間1 次/(Pa)1010潔凈區(qū)與室外月塵埃粒子0.5um0.5um數(shù)塵埃粒子350035000潔凈區(qū)內(nèi)關(guān)鍵操作點及 100 級超凈工1 次/季(個計數(shù)器5um5um作臺/M 3 )02000沉降菌落培養(yǎng)皿13潔凈區(qū)內(nèi)關(guān)鍵操作1 次/周數(shù)(個/皿 )點浮游菌落浮游菌采潔凈區(qū)內(nèi)關(guān)鍵操作

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