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1、廠務(wù)系統(tǒng)概述,莊士正,整廠系統(tǒng),1.廠務(wù)系統(tǒng)功能,1.1 水系統(tǒng)在製程中的功能,1.2 氣體系統(tǒng)在製程中的功能,1.3 化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能,1.4 真空系統(tǒng)在製程中的功能,1.5 排氣/排水系統(tǒng)在製程中的功能,2.廠務(wù)系統(tǒng)使用材質(zhì),2.1 水系統(tǒng)使用材質(zhì),2.2 氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)-(除特氣外機(jī)臺(tái)端都可能用Teflon軟管),2.3 化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì),2.4 真空系統(tǒng)使用材質(zhì),Pump Line 製程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX 一般排氣,鍍鋅螺旋風(fēng)管,2.5 排氣系統(tǒng)使用材質(zhì),Solvent 有機(jī)排氣,SUS 304全焊式不銹鋼風(fēng)管,Acid/Ak 酸鹼排氣,不銹鋼Teflo

2、n Coating風(fēng)管(Tefpass),2.6 排水系統(tǒng)使用材質(zhì),Drain 一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent 有機(jī)排氣水,SUS 304不銹鋼管,Acid/Ak 酸鹼排氣水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.廠務(wù)系統(tǒng)流程,3.1 製程冷卻水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.2 冰水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.3 純水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.4 自來水/回收水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.6 其他大宗氣體/特氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.7 高真空/排氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.8 真空系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.9 化學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.10 廢水收集系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,3.11 廢水處理系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程,討論時(shí)間,此課件下載可自行編輯修改

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