1、防靜電檢測規(guī)范目錄錯誤！未定義書簽錯誤！未定義書簽錯誤！未定義書簽錯誤！未定義書簽1、目的：2、適用范圍:3、定義4、職責(zé)5、程序 26、相關(guān)文件和記錄 147、附錄 145、程序5.1測試方法：5.1.1測試環(huán)境：環(huán)境溫度23芳C,相對濕度40%70%。5.1.2測試儀器使用方法5.1.2.1靜電場測試儀（TREK520 ）靜電場測試儀是感應(yīng)式的，該儀器表面有2個按鍵：“ POWER “ RANGE/ZERO”“ HOLD”，按“ POWER鍵開機(jī)/關(guān)機(jī)。該儀器有兩個量程：02KV、020KV,可通過按RANGE/ZERO鍵進(jìn)行切換。當(dāng)顯示3位小數(shù)時，量程范圍為02KV ;當(dāng)顯示2 位小數(shù)時

2、，量程范圍為020KV每次測試時都應(yīng)進(jìn)行讀數(shù)清零工作，方法為：將sensor對準(zhǔn)一個已知的電壓 為0V的導(dǎo)體上，按 “ RANGE/ZERO鍵至少3秒鐘。為保證測試值的準(zhǔn)確性，測試時人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測試前， 先將待測物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每 分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測物表面20 次，然后用儀器測量電壓（senor距離被測物表面的距離為2.54CM及兩個紅燈 重合在一起），將顯示的讀數(shù)乘以1000即得實(shí)際的電壓值，例如讀數(shù)為 “ .018 則實(shí)際電壓為18V。5.122表面電阻測試儀（ACL-385 ）AC

3、L-385為簡易表面電阻測試儀，該儀器兩個測試電極間距根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)不變，測試時將被測物放于 絕緣的平面上，表面電阻測試儀平置在材料表面上，手指施加適當(dāng)壓力（24KG ）于測試按鈕上，使測試電極與材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為讀 數(shù)。如果被測材料為軟性材料，可施加 46kg的壓力進(jìn)行測試。5.1.2.3 接地電阻測試儀（EMI-20780 ）EMI-20780可以測試點(diǎn)對點(diǎn)電阻（RTT）,接地電阻（RTG）、體積電阻，和表面電阻率，配套兩點(diǎn)測試電極可測量微小物體表面電阻.測試范圍為：1x 103?-1012?;測試電壓為：10V或100V+/-5% ;測試精度為：+/-10%;測試時間為15秒；

4、 測試時：把2條連接線分別插入測試表上端的“ A”插口，注意白色連接線和黑色 連接線的插頭不同，不要插錯.然后連接線另一端分別插入點(diǎn)對點(diǎn)重錘電極；按下“ D”測試按鍵15秒，這時LCD屏幕按順序顯示如下：華氏溫度攝氏溫度相對濕度電阻值所采用的測試電壓電阻測試結(jié)果由“ B”顯示屏和“C”冥數(shù)LED指示燈共同顯示,例如電阻值為175 ,000 , 000 Q,顯示如下：1.75顯示在“ B”顯示屏上,同時“ C” LED指示燈的8會亮,表示測試結(jié)果為：1.75 x108Q。如果LCD顯示屏顯示“ 1” ,說明超過該儀器測試范圍。測試電壓為10V或100V,按下“F”鍵，采用10V電壓測試，如果不按

5、下“ F”鍵，儀 器會根據(jù)不同測試材料自動選擇測試電壓 .阻值在105 Q以下時采用10V測試電壓，阻 值在106Q以上時采用100V測試電壓5.1.2.4人體綜合電阻測試（腕帶測試、鞋測試）測試步驟：1.員工進(jìn)入車間前應(yīng)首先確認(rèn)靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測試儀的左右兩個金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測試儀面板的手環(huán)插口。2. 掃描工卡后，電腦會顯示你的身份資料，同時儀器的 LCD面板提示“請您 按下測試鍵”。手指按下測試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸） 開始測試，3秒后儀器將測試完畢。3. 如果受測對象合格，儀器“嘟”長響一聲，同時儀器的 L

6、CD面板顯示“通 過”，如果測試不合格，儀器“嘟嘟嘟嘟”短響8聲，同時儀器的LCD面 板顯示“不通過”。不通過時可連續(xù)測試 4次，若還是不合格，員工立即 到IPQA處更換。4. IPQA應(yīng)維持測試秩序并監(jiān)督每位員工的測試過程。50屯忒的操-' 一足藝1E確帶 好予耳并把插頭 規(guī) '-抽化'u 幵左右抽八I "在”育押時儀卷1.楓顯粧屛!的中畫f："睛”的 聲音說町讀a十監(jiān)丸于一打中文作方法按5.125接地樁電阻測試儀（ZC29B型號）1. 沿被測接地極E'使電位探棒P'和電流探棒C'依直線彼此相距20米，且電位探棒P'

7、系在E'和C'之間。2. E端鈕接5m導(dǎo)線，P端鈕接20m導(dǎo)線，C端鈕接40m導(dǎo)線3. 將儀表放置水平后檢查檢流計是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4. 將“位率標(biāo)度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動發(fā)動的搖把，同時旋動電位器刻度盤, 使檢流計指針指“ 0”。5. 當(dāng)檢流計的指針接近平衡時，加快發(fā)電機(jī)搖柄轉(zhuǎn)速，使其達(dá)到每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計平衡，此時刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測接地電阻數(shù)值。6. 當(dāng)刻度盤讀數(shù)小于1時應(yīng)將倍率開關(guān)置于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確 讀數(shù)。7. 當(dāng)測量小于1歐的接地電阻時，應(yīng)將2個E端的聯(lián)結(jié)片打開，分別用導(dǎo)線聯(lián)接到 被測接地體上，

8、以消除測量時聯(lián)接導(dǎo)線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8. 當(dāng)檢流計的靈敏度過高時，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當(dāng)檢流計靈敏度 過低時，可沿探棒注水使其濕潤。5.126 離子風(fēng)機(jī)測試儀（3M-718 /3M-718A）1、打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬 端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“ + ”按鈕和測試儀“ HOLD ”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng) 大于“ +1000V ”。2、在離子風(fēng)機(jī)下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯 示值應(yīng)大于-40V小于+40V。3、打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電

9、產(chǎn)生儀（718A）金屬 端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測試儀“ HOLD ”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng) 小于“ -1000V ”。4、離子風(fēng)機(jī)下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯示 值應(yīng)大于-40V小于+40V。5、在檢測表中記錄顯示值，注明檢測日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40W平衡電壓W40V5.127手腕監(jiān)視器電容測試儀(SAML1800 ):測試時，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“ 1801 FALL ”檔，SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā) 出報警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“ 1801 PASS”檔，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器 停止

10、發(fā)出報警聲響。此為合格。5.2測試項目5.2.1靜電接地極電阻測試每半年使用ZC29B進(jìn)行一次測試，要求靜電接地極對地電阻小于1 Q將測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格 中。5.2.2設(shè)備、儀器接地電阻測試每月由ESD專員或指定人員用萬用表測試設(shè)備儀器接地電阻一次(新建工位或工位調(diào)整后要立即測試)測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1. 設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于 10Q。測試 頻率：每月。2. 電烙鐵：對使用中的電烙鐵進(jìn)行接地電阻測試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10 Q。測試頻率：每天。523 靜電接地線接地電阻:每半年由廠務(wù)或指定人員對靜電接地線的

11、接地電阻進(jìn)行檢測。要求每條線都要測。測試方法：在每條靜電接地線上任意找一個點(diǎn)，將萬用表的一端連在這個點(diǎn)上，另一端 插在電源地線孔里。要求電阻值小于10 Q。測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格 中。524防靜電工服PE工程師或指定人員，每季度對員工的工衣用EMI-20780測試儀進(jìn)行測試，要求表面電阻1x105?wrs< 1 X09?（上衣做點(diǎn)對點(diǎn)、袖對袖、片對片測試，褲子做褲腳對褲 腳、點(diǎn)對點(diǎn)測試），每次全檢，測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。如檢測到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章，并 郵件通知該員工經(jīng)理讓其當(dāng)天之內(nèi)到庫房更換。IPQA監(jiān)督有無不合格靜電服流

12、入產(chǎn)線。5.2.5防靜電工作臺PE工程師或指定人員負(fù)責(zé) 每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻在1 X1051X109歐姆和接地電阻在1 X1061X109歐姆。每塊工作臺面測試3個點(diǎn)，將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.6地板由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在1*1051*109?之間。每100平米地面測5個點(diǎn)（對于面積小于100平方米的獨(dú)立區(qū)域如：IQC、RD實(shí)驗室、來料倉，每個區(qū)域要測5個點(diǎn)）。測試時兩個電極距離 為0.6米1米，測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中同時由廠務(wù)或指定人員每半年測試地板的接地

13、電阻一次，接地電阻在1*105-1*109Q之間。測試方法：將EMI-20780的一個電極放在地板上，另一端插入電源地線 插孔里。每100平米測試1個點(diǎn)。測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.7物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）527.1由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用TREK520和EMI-20780測試儀測試一次，要求摩擦電 壓小于100V，周轉(zhuǎn)箱表面電阻：1 X103?- 1X109?，每次每種器具抽檢，每1條線抽檢10Pcs，如果有1Pcs不合格則全檢。測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格 中。5.2.7.2由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨架表面

14、電阻小于1 X09?，接地電阻在1X03?- 1X109?之間。測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.8腕帶、工鞋性能檢測操作類員工每日進(jìn)入車間前要進(jìn)行手環(huán)、工鞋測試，測試結(jié)果由電腦自動保存，產(chǎn)線專門人員進(jìn)行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進(jìn)入車間前要進(jìn)行工鞋測試， 對于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也 必須使用人體綜合電阻測試儀，測試記錄由電腦自動保存。如有測試不合格者需 立即到IPQA處更換。測試合格后方能進(jìn)入產(chǎn)線。腕帶系統(tǒng)電阻：800K Q10M Q;工鞋系統(tǒng)電阻：100K Q-35M Q。5.2.9靜電場檢測 由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用靜電場

15、測試儀（TREK520 ）對車間各工位的靜電場強(qiáng)進(jìn)行 次測試，并將測試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。測試要求：距工作臺30CM范圍內(nèi)，靜電值要小于+/- 100 V5.2.10離子風(fēng)機(jī)測試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用3M-718與3M-718A對車間的離子風(fēng)機(jī)性能進(jìn)行測試，測試內(nèi) 容包括 平衡電壓” 消電時間”并將結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中測試要求：測試儀器距離離子風(fēng)扇正前方 30厘米；合格標(biāo)準(zhǔn):1000V降到100V的消電時間 小于3秒，平衡電壓絕對值小于40V。注：CPM要分別在正、負(fù)兩種充電狀態(tài)下測試5.2.11防靜電工作椅子由ESD專員負(fù)責(zé) 每月使用EMI-20780測試儀測試一次

16、，要求表面電阻和接地電阻都在1X105-1 XI09歐姆之間，。將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中5.2.12傳送帶測試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用表面阻抗測試儀測試一次，要求表面電阻在1 X105-1 X09歐姆之間。每條傳送帶測試3個點(diǎn)，將測試結(jié)果平均值記錄在 ESD 點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.13手腕監(jiān)視器測試 由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用SAML1800校正儀對手腕監(jiān)視器的電容進(jìn)行一次。測試不合 格立即更換5.3防靜電包裝材料的測試5.3.1認(rèn)證測試：首先要求供應(yīng)商送樣給 PE確認(rèn)，同時附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說明書或產(chǎn) 品相關(guān)性能指標(biāo)認(rèn)定書，經(jīng)PE驗證合格后方可采購。防靜電性能測試環(huán)境要

17、求：溫度23 ±C ,濕度15 ±%測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋VVVV吸塑盒、物VVVV料盒汽珠袋、泡VV棉有機(jī)保護(hù)屏VVV緩沖材料VV屏蔽袋VVVVV防靜電膠帶VVVV防靜電防塵VV布打“A為必測項目高溫測試：在溫度為60C,濕度為15%的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70C,濕 度為15 %的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時再進(jìn)行表面電阻、摩擦電壓測試532接收測試PE部門對所有無物料代碼的ESD輔料進(jìn)行來料檢驗。不定期全檢。檢驗要求如下:防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度23 ± C ,濕度4070 %測試項目

18、材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋VVV吸塑盒、物VVVV料盒汽珠袋、泡VV棉有機(jī)保護(hù)屏VV緩沖材料VV防靜電膠帶VVVV屏蔽袋VVVV防靜電防塵VV布533點(diǎn)檢測試由ESD小組人員每個月使用表面阻抗測試儀對各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機(jī)玻璃屏進(jìn)行抽檢。要求表面電阻在 1丸04-1為011歐姆之間，摩擦電壓小于100V。每條線測試5PCS，若有3PCS不合格則整條線全檢并更換相應(yīng)物料。以上這些物料必須有防靜電標(biāo)識才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒收，找 替代品或者做防靜電加工。5.4各類防靜電物品、設(shè)施檢測指標(biāo)測試項目摩擦電壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電

19、工服、工帽51X10 ?WRs<1X109?工鞋51X10 ?WRs<1X109?60.1 X0 ?w R<3.5X107?腕帶內(nèi)面V 1 X05 Q外面1 X07 Q0.8 X06?w R<3.5X107?防靜電地板0.1 X06?WRs<1X109?0.1 X06?w R<1X109?工作臺1X106?wrs<1X109?0.75 X06?w R<1X109?周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn) 盒、托盤、料 盒、防靜電刷 子、防靜電鑷 子、防靜電推車<100V31 X10 ?WRs<91X10 ?傳送帶1X106?WRs<1X109?防靜電工作椅

20、1X105?<Rs<1X109?1X106?<R<1X 109?PE袋<100V41 x104?wrs<1X1011?吸塑盒<100V41 X10 ?WRs<111X1011?汽珠袋、泡棉<100V1 x104?wrs<11 1X10?緩沖材料<100V41X10 ?<Rs<1 X1011?屏蔽型防靜電袋<100V41 x104?wRs<111X1011?防靜電膠帶<100V41X10 ? WRs<111X1011?防靜電有機(jī)玻璃板<100V41 X10 ?WRs<111X10?防靜電防塵布、手套、指套&