1、硅片過程檢驗(yàn)培訓(xùn)硅片過程檢驗(yàn)培訓(xùn)目錄： 1.引言 2.電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) 3.過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書目錄：硅片檢驗(yàn)主要分為三類： 1.硅片來料檢驗(yàn) 2.電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn) 3.電池片出貨檢驗(yàn)引言硅片檢驗(yàn)主要分為三類：引言硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言硅片來料檢驗(yàn)?zāi)康模?保證進(jìn)貨的原材料滿足規(guī)定的要求，防止不合格品流入生產(chǎn)流程造成不必要的損失。(確保合格的產(chǎn)品提供給生產(chǎn)部門)引言硅片來料檢驗(yàn)?zāi)康模阂怨杵瑏砹蠙z驗(yàn)主要項(xiàng)目： 1.電學(xué)部分： 厚度/電阻率測試 少子壽命測試引言硅片來料檢驗(yàn)主要項(xiàng)目：引言2.光學(xué)部分： 幾何尺寸 垂直性 硅片破裂（

2、包括崩邊、裂痕、V型缺口） 表面臟污 空洞和隱裂引言2.光學(xué)部分：引言相關(guān)硅片實(shí)例：引言相關(guān)硅片實(shí)例：引言電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)?zāi)康模?防止過程中出現(xiàn)批次性問題，避免不合格品流入下道工序。保證電池片生產(chǎn)工藝過程、操作過程均滿足規(guī)范要求，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性及規(guī)范性，保證產(chǎn)品效率及成品率。引言電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)?zāi)康模阂噪姵仄a(chǎn)主要過程介紹： 引言電池片生產(chǎn)主要過程介紹：引言電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)主要相關(guān)設(shè)備：引言電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)主要相關(guān)設(shè)備：引言主要分為以下幾個(gè)控制點(diǎn)：1.前期準(zhǔn)備工作檢查2.制絨清洗后；3.擴(kuò)散后；4.等離子刻蝕后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.絲網(wǎng)燒結(jié)后；8.電池片性

3、能測試分檔后。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)主要分為以下幾個(gè)控制點(diǎn)：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)前期準(zhǔn)備工作檢查：設(shè)備開機(jī)檢查，填寫巡檢記錄單；工藝參數(shù)監(jiān)控：設(shè)備各參數(shù)達(dá)到工藝要求后進(jìn)行生產(chǎn)。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)前期準(zhǔn)備工作檢查：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)：制絨清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液濃度，溶液溫度等。擴(kuò)散：擴(kuò)散溫度，氣體流量等。等離子刻蝕：射頻功率，氣體流量等。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃：HF溶液濃度等。PECVD：氣體流量，微波源功率，沉積壓力，工藝溫度等。絲網(wǎng)燒結(jié)：印刷壓力，印刷速度，印刷網(wǎng)板間距，印刷方式，燒結(jié)各加熱區(qū)溫度等。電池片過程檢驗(yàn)

4、標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃：HF溶液濃度等。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)制絨清洗后：制絨后硅片外觀：硅片表面制絨均勻，無點(diǎn)狀亮點(diǎn)硅片稱重：清洗前后重量差在0.60.7g電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)制絨清洗后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散后：方塊電阻：測量范圍在405/方阻均勻性：均勻性誤差不大于5%電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)等離子刻蝕后：邊緣電阻測量：測量范圍在3010k刻蝕痕跡（目測）電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)等離子刻蝕后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃清洗后：電池片外觀：擴(kuò)散面無明顯發(fā)暗擴(kuò)散面疏水性（目測）電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃清洗后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)PECVD后：工藝后外觀檢測：硅片鍍膜面呈均勻藍(lán)色（目測）氮

5、化硅膜的厚度、反射率、折射率片內(nèi)均勻性、片間均勻性、批間均勻性：不大于5%電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)PECVD后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)絲網(wǎng)燒結(jié)后：印刷重量：正銀為0.10 g 0.02 g； 背銀為0.12 g 0.02 g； 背鋁為0.8 g 0.2 g；電池片外觀：滿足成品電池片外觀分選標(biāo)準(zhǔn)要求。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)絲網(wǎng)燒結(jié)后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片性能測試分檔后：標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)碎片記錄電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片性能測試分檔后：電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)一、目的：防止制程中出現(xiàn)批次性問題， 避免不合格品流入下道工序。二、范圍：適用于產(chǎn)品生產(chǎn)過程有關(guān)的工序。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書一、目的：防止制程中出現(xiàn)批次性問題，過程

6、檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書三、職責(zé)：品控員負(fù)責(zé)對生產(chǎn)過程的監(jiān)控，對生產(chǎn)工序的巡查，將遇到的問題反饋給PQC工程師。PQC工程師負(fù)責(zé)品控員監(jiān)督、巡檢統(tǒng)計(jì)表的匯總報(bào)告，以及協(xié)調(diào)生產(chǎn)部，工藝部和設(shè)備部解決相關(guān)問題。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書三、職責(zé)：過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書四、工作內(nèi)容:品控員在每班開始生產(chǎn)前完成對各種測試設(shè)備的校準(zhǔn)工作，并填寫測試設(shè)備校準(zhǔn)記錄單。品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用作業(yè)指導(dǎo)書是否正確，操作員是否按照要求進(jìn)行操作，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書四、工作內(nèi)容:過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書品控員每隔一小時(shí)檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問

7、題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用的設(shè)備和工裝是否符合作業(yè)指導(dǎo)書和設(shè)備操作規(guī)程，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書品控員每隔一小時(shí)檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)生產(chǎn)過程中有狀態(tài)變更（包括工藝、設(shè)備和操作人員等）后，品控員需對調(diào)整后的前3批產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行跟蹤，并填寫巡檢記錄單。對于生產(chǎn)過程中不合格的原材料的處理，要填寫原材料異常反饋單，對不合格原材料的使用情況進(jìn)行處理并向技術(shù)質(zhì)量部主管反饋。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書生產(chǎn)過程中有狀態(tài)變更（包括工藝、設(shè)備和操作人員等）后，品控員品控員若發(fā)現(xiàn)

8、制造產(chǎn)品過程略有偏離正常狀態(tài)，尚未造成質(zhì)量問題時(shí)，應(yīng)立即口頭通知生產(chǎn)部帶班班長和PQC工程師，必要時(shí)通知生產(chǎn)部門經(jīng)理進(jìn)行改善，并跟蹤改善結(jié)果，若三次改善無效，則填寫質(zhì)量信息反饋單經(jīng)技術(shù)質(zhì)量部及相關(guān)部門確認(rèn)后，按確認(rèn)結(jié)果進(jìn)行處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書品控員若發(fā)現(xiàn)制造產(chǎn)品過程略有偏離正常狀態(tài)，尚未造成質(zhì)量問題時(shí)對于現(xiàn)場中出現(xiàn)的質(zhì)量問題，品控員立即告知PQC工程師及帶班班長，帶班班長要立即停產(chǎn)。QC與生產(chǎn)、工藝人員（必要時(shí)請研發(fā)人員協(xié)助）共同對事故原因進(jìn)行分析，要立即發(fā)放糾正與預(yù)防措施單，找出發(fā)生質(zhì)量問題的真正原因，制定糾正預(yù)防措施。并同時(shí)用電話或郵件通知技術(shù)質(zhì)量部主管和生產(chǎn)部主管。發(fā)現(xiàn)重大異常立即向技術(shù)質(zhì)量部經(jīng)理和制造部經(jīng)理報(bào)告。確認(rèn)是否造成質(zhì)量事故，如造成質(zhì)量事故，根據(jù)質(zhì)量事故的管理規(guī)定執(zhí)行。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書對于現(xiàn)場中出現(xiàn)的質(zhì)量問題，品控員立即告知PQC工程師及帶班班品控員每隔一小時(shí)需對各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點(diǎn)進(jìn)行抽檢，并填寫相關(guān)巡檢記錄單。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書品控員每隔一小時(shí)需對各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點(diǎn)進(jìn)行抽檢，并填寫相生產(chǎn)各工序員工負(fù)