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T/CSTM00315—2023窗口晶體紫外級氟化鈣晶體Windowcrystal—UVgradecalciumfluoridecrystal2023-01-13發(fā)布 2023-04-13實(shí)施中關(guān)村材料試驗(yàn)技術(shù)聯(lián)盟 發(fā)布IIT/CSTM00315—2023前 言本文件參照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》和GB/T20001.4—2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則第4部分：試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任。本文件由中國材料與試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)化委員會光電材料及產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化領(lǐng)域委員會（CSTM/FC60）提出。本文件由中國材料與試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)化委員會光電材料及產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化領(lǐng)域委員會（CSTM/FC60）歸口。學(xué)兔兔學(xué)兔兔標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSTM00315-2023窗口晶體紫外級氟化鈣晶體范圍本文件規(guī)定了紫外級氟化鈣光學(xué)晶體的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則，以及標(biāo)識、包裝、運(yùn)輸和貯存。20050mmUVCaF2晶體。（GB/T7962.1 1GB/T7962.2 2GB/T7962.55GB/T7962.12 12GB/T11293固體激光材料名詞術(shù)語GB/T7962.1、GB/T7962.5、GB/T7962.12和GB/T11293界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1紫外級UVgrade應(yīng)用波長小于400nm。3.2折射率refractiveindex光在真空中的傳播速度與光在介質(zhì)中的傳播速度的比值稱為介質(zhì)的相對折射率。3.3光學(xué)勻性 opticalhomogeneity指氟化鈣晶體內(nèi)部各點(diǎn)在相同方向上折射率的一致性程度，折射率變化越小，光學(xué)均勻性越好。[來源：GB/T11293-1989，36，有修改]3.4色散數(shù) dispersioncoefficient;νd1T/CSTM00315—2023（nd-1）/（nF-nC）[來源：GB/T7962.1-2010，3.2，有修改]3.5應(yīng)力雙折射stressbirefringence氟化鈣晶體是一種光學(xué)各向同性物質(zhì)。如果晶體有應(yīng)力，就會呈現(xiàn)光學(xué)各向異性，使一束垂直入射[來源：GB/T7962.5-2010，3.1，有修改]3.6條紋 striae條紋是指氟化鈣晶體內(nèi)部局部區(qū)域因折射率變化觀察到的線條狀缺陷。3.7晶界grainboundary結(jié)構(gòu)相同而取向不同晶粒之間的界面。3.8散射顆粒scatterparticles用強(qiáng)散射光在晶體內(nèi)部觀測到的可見外來物質(zhì)或孔洞。3.9光譜透射比（透過率）spectraltransmittance指對應(yīng)波長的透射光譜通量與入射光譜通量之比。3.10內(nèi)透過率internaltransmittance指通過單位厚度（1cm）的晶體內(nèi)部的光譜透射比，即不包含表面反射損失的內(nèi)部透射比。[來源：GB/T7962.12-2010，3.1，有修改]紫外級氟化鈣晶體應(yīng)為無色透明，表面無裂紋、無劃痕。紫外級氟化鈣晶體內(nèi)部應(yīng)無光柱，不應(yīng)有直徑大于50μm的散射顆粒。按單位體積（100cm3）內(nèi)含有的直徑10μm~50μm的散射顆粒的平均個數(shù)分為3級，其指標(biāo)要求見表1的規(guī)定。2T/CSTM00315-2023表1 散射粒級散射顆粒級別散射顆粒的平均個數(shù)個102≤333～≤10條紋紫外級氟化鈣晶體按條紋缺陷面積占檢測面積的比例分為3級，其指標(biāo)要求見表2的規(guī)定。表2 條紋級級別條紋缺陷面積占檢測面積的比例，a%102a≤535<a≤10晶界紫外級氟化鈣晶體應(yīng)無晶界。紫外級氟化鈣晶體在190nm～400nm波長下的內(nèi)透過率分合格級和優(yōu)等級，其指標(biāo)要求見表3的規(guī)定。表3 紫外氟鈣體內(nèi)過率波長nm合格級優(yōu)等級190～400≥97.0%≥99.0%厚度不大于50mm的紫外級氟化鈣晶體的光學(xué)均勻性分合格級和優(yōu)等級，其指標(biāo)要求見表4的規(guī)定。表4 光學(xué)勻性口徑mm合格級優(yōu)等級d≤50≤5×10-6≤2×10-650<d≤100≤2×10-5≤5×10-6100<d≤200≤5×10-5≤1×10-53T/CSTM00315—2023紫外級氟化鈣晶體折射率和色散系數(shù)與理論值的偏差應(yīng)符合表5的規(guī)定。表5 紫外氟鈣射和散系數(shù)193nm的折射率n193365nm的折射率n365色散系數(shù)νd理論值1.501321.4448895.23允許偏差值≤2×10-5≤2×10-5≤0.2%厚度不大于50mm的紫外級氟化鈣晶體的應(yīng)力雙折射分合格級和優(yōu)等級，其指標(biāo)要求見表6的規(guī)定。表6 應(yīng)力折射口徑mm合格級nm/cm優(yōu)等級nm/cmd≤50≤3≤150<d≤100≤5≤3100<d≤200≤10≤5試樣在照度不低于20000Lx的白光照明下黑色襯底上，采用目測法進(jìn)行檢驗(yàn)。儀器波長為532nm的激光器，功率為10mW的點(diǎn)光源和功率為0.1W～0.5W、展寬角度30°以內(nèi)的線光源，10倍到40倍帶標(biāo)尺的顯微鏡。試樣樣品雙面和觀察面經(jīng)過檢測級拋光加工。主要步驟如下：a）將樣品放置在激光器照射下的光路中，黑色襯底上；b）用點(diǎn)光源檢測樣品內(nèi)部的光柱情況，并記錄；c）用線光源照射檢測樣品，使用顯微鏡觀察內(nèi)部的散射顆粒，計(jì)數(shù)。結(jié)果散射顆粒個數(shù)（N）是實(shí)際散射顆粒數(shù)總和（n）乘以100cm3后除以總體積得到的數(shù)值，并對照表1判別散射顆粒級別。具體測算見公式（1）。.......................(1)4T/CSTM00315-2023式中：N——100cm3體積內(nèi)的散射顆粒個數(shù)；n——樣品內(nèi)的實(shí)測散射顆粒數(shù)總和；V——樣品體積，單位是cm3.條紋儀器偏光應(yīng)力儀。試樣樣品雙面拋光或者W28砂細(xì)磨，平行差不大于10′。主要步驟如下：結(jié)果對樣品中條紋按照面積進(jìn)行累加，計(jì)算條紋面積與樣品檢測面積的比值。晶界儀器偏光應(yīng)力儀。試樣樣品雙面拋光或者W28砂細(xì)磨，平行差不大于10′。主要步驟如下：a）未拋光的樣品表面涂折射率匹配液，折射率匹配液與樣品的折射率之差不大于0.1，如甘油；b）將樣品放在儀器的觀測臺上，打開電源，對樣品的晶界進(jìn)行檢測。儀器波長范圍180nm～400nm的深紫外雙光束自動分光光度計(jì)，波長精度優(yōu)于0.2nm，測試誤差不大于0.1%。試樣準(zhǔn)備兩塊樣品，通光口徑Φ25mm～50mm，厚度20mm～40mm，其中一塊單面拋光、一塊雙面拋光。樣品拋光面表面疵病不大于B/3×0.10，雙面拋光樣品兩面平行差不大于1′。5T/CSTM00315—2023主要實(shí)驗(yàn)步驟如下：d；0°Tλ；10°Rλ。采用公式（2）計(jì)算內(nèi)透過率。.......................(2)式中：Ti——內(nèi)透過率；Tλ——波長為λ時的光譜透射比；Rλ——波長為λ時的剩余反射率。d——樣品厚度，單位為cm；儀器斐索激光平面干涉儀，精度不低于λ/20。試樣樣品通光口徑不小于Φ25mm，厚度不小于10mm，一對通光面拋光，通光面表面疵病不大于B/3×0.25，平行差5′到10′，平面度不大于λ/4。按GB/T7962.2中規(guī)定執(zhí)行。儀器V棱鏡折光儀，折射率精度為±5×10-5。試樣將測試樣品加工成V棱鏡。頂角為45o±30′，通光面寬度為10mm～40mm，通光面長度為25mm～40mm，通光面與底面夾角為90°±1′，通光面面型優(yōu)于λ/10，通光面表面疵病不大于B/3×0.25。主要實(shí)驗(yàn)步驟如下：0.5h6T/CSTM00315-2023用V擦凈V棱鏡，在0點(diǎn)標(biāo)樣的通光面涂上折射率匹配液，放入V0；VV1；重復(fù)與f)nd，nF，nC，n193，n365。結(jié)果計(jì)算（=1-0），按公式（3）計(jì)算被測樣品測試譜線波長的折射率n193和n365：.......................(3)式中：n——被測樣品的折射率；n0——V棱鏡的折射率；——光束從V棱鏡最后一面出射時的偏折角，單位為度（°）。檢測樣品的折射率n的相對偏差值按式（4）計(jì)算：.......................(4)式中：n——樣品的折射率相對偏差值；n——樣品的折射率測量值；nd0——樣品的折射率標(biāo)準(zhǔn)值；按公式（5）計(jì)算被測樣品的色散系數(shù)νd：.......................(5)式中：νd——色散系數(shù)；nd——d線（587.6nm）的折射率；nF——F線（486.1nm）的折射率；nC——C線（656.3nm）的折射率；色散系數(shù)νd的相對偏差值按式（6）計(jì)算：.......................(6)式中：νd——樣品的色散系數(shù)偏差值；νd——樣品的色散系數(shù)測量值；νd0——樣品的色散系數(shù)標(biāo)準(zhǔn)值；7T/CSTM00315—2023儀器雙折射測量系統(tǒng)，精度不低于0.01nm/cm。試樣Φ1010mm1′，1/2λ。主要實(shí)驗(yàn)步驟如下：632.8nm結(jié)果記錄應(yīng)力雙折射結(jié)果。檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。凡有下列情況之一時，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：12d）批量生產(chǎn)時，每隔24個月進(jìn)行一次。檢驗(yàn)項(xiàng)目應(yīng)符合表7的規(guī)定。表7 檢驗(yàn)?zāi)啃蛱枡z驗(yàn)項(xiàng)目型式檢驗(yàn)出廠檢驗(yàn)要求章條號檢驗(yàn)方法章條號1外觀質(zhì)量●●4.15.12散射顆粒●●4.25.23條紋●●4.35.34晶界●●4.45.45透過率●●4.55.56光學(xué)均勻性●○4.65.67折射率和色散系數(shù)●○4.75.78T/CSTM00315-2023序號檢驗(yàn)項(xiàng)目型式檢驗(yàn)出廠檢驗(yàn)要求章條號檢驗(yàn)方法章條號8應(yīng)力雙折射值●●4.85.8注：●必檢項(xiàng)目，○根據(jù)客戶要求檢驗(yàn)。檢驗(yàn)的產(chǎn)品試樣應(yīng)以同一批原料相同生產(chǎn)和加工工藝的5片晶體構(gòu)成。7組批同一時段，采用同一批原料相同生產(chǎn)和加工工藝的晶體，以20片為一批，不足20片時仍可作為一批。抽樣從每批產(chǎn)品中，隨機(jī)抽取5片樣品。產(chǎn)品的各項(xiàng)性能要求應(yīng)符合表7的規(guī)定，若有一項(xiàng)指標(biāo)不合格，則應(yīng)進(jìn)行加倍抽樣；若仍有一項(xiàng)指標(biāo)不合格，則判這批產(chǎn)品不合格。標(biāo)識在產(chǎn)品上應(yīng)該有明確標(biāo)識，合格的產(chǎn)品應(yīng)有銘牌標(biāo)識。包裝有特殊包裝要求的，應(yīng)