1、 程序文件：靜電接地系統(tǒng)操作規(guī)范版 本：A文 件 編 號(hào): XA/QWI/7.5.3/14第 - 13 - 頁 共 13 頁生 效 日 期: 2012-9-11.0 目的:規(guī)范ESD測(cè)試項(xiàng)目正確的測(cè)量作業(yè)步驟和方法，減少因不同人員測(cè)量方法上的差異，而影響實(shí)際量 測(cè)數(shù)值之精確度。2.0 適用范圍:適用本公司靜電防護(hù)區(qū)域所有需測(cè)試項(xiàng)目。3.0 定義: 3.1 EPA：Electrostatic discharge Protected Area靜電防護(hù)區(qū)域3.2 表面電阻：在一給定的通電時(shí)間之后，施加于材料表面上的標(biāo)準(zhǔn)電極之間的直流電壓對(duì)于電極之間的電流的比值，在電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計(jì)。3.3

2、體積電阻：在一給定的通電時(shí)間之后，施加于與一塊材料的相對(duì)兩個(gè)面上相接觸的兩個(gè)引入電極之間的直流電壓對(duì)于該兩個(gè)電極之間的電流的比值，在該兩個(gè)電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計(jì)。4.0 權(quán)責(zé): 4.1 IQC負(fù)責(zé)靜電敏感組件來料包材及自購(gòu)料輔助材料之入廠檢測(cè)項(xiàng)目；4.2行政科負(fù)責(zé)設(shè)備接地主線、靜電接地主線、接地樁和防靜電地板對(duì)地電阻項(xiàng)目測(cè)試；4.3各部門負(fù)責(zé)靜電皮/墊、靜電扣、靜電環(huán)、靜電鞋、靜電服/帽、流水線體、工作臺(tái)、料架/周轉(zhuǎn)車、防靜電工作椅、離子風(fēng)機(jī)、靜電地板表面、電烙鐵、電動(dòng)起子等項(xiàng)目測(cè)試；4.4各EPA部門主管負(fù)責(zé)監(jiān)督本部門人員進(jìn)入EPA靜電環(huán)和人體綜合電阻測(cè)試；4.5各EPA部門主管負(fù)責(zé)監(jiān)

3、控本區(qū)域環(huán)境溫濕度并記錄；4.6各測(cè)試項(xiàng)目負(fù)責(zé)部門保存相關(guān)測(cè)試記錄；4.7各部門負(fù)責(zé)本部門ESD測(cè)試設(shè)備的維護(hù)與保養(yǎng)。5.0 內(nèi)容：5.1 包材/生產(chǎn)周轉(zhuǎn)輔材表面阻抗測(cè)試： 5.1.1 IQC負(fù)責(zé)供應(yīng)商靜電敏感組件來料之內(nèi)包裝材料入廠檢測(cè)，以及氣泡袋、保護(hù)膜自購(gòu)料等包裝輔助材料之入廠檢測(cè)，測(cè)試設(shè)備使用重錘測(cè)試儀，被測(cè)件需放于絕緣臺(tái)上，絕緣臺(tái)的表面電阻和體積電阻均要大于1*1013，其幾何周邊尺寸均大于被測(cè)材料100mm，且兩錘之間的間距不小于300mm，測(cè)試方法如下： 1）重錘測(cè)試儀測(cè)試線如下圖方式連接，將兩錘分別放置于被測(cè)材料表面； 2）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測(cè)試，直至上面LE

4、D不跳動(dòng)并讀數(shù)，LED假如在108下方，則表示被測(cè)材料表面電阻為108； 3）防靜電包裝材料表面阻抗規(guī)格具體如下：ESSD來料包裝輔材：1*1010，氣泡袋：1*1041*1011；保護(hù)膜：1*109；泡棉墊1*1010,Tray盤:1*1041*1011檢驗(yàn)員需將測(cè)量結(jié)果記錄于檢驗(yàn)報(bào)告中。 5.2 靜電皮/墊與靜電線導(dǎo)通、表面阻抗測(cè)試；靜電支線（含靜電扣）導(dǎo)通測(cè)試：5.2.1各部門負(fù)責(zé)靜電皮之體積電阻和表面阻抗測(cè)試，測(cè)試設(shè)備使用重錘測(cè)試儀，測(cè)試方法與步驟如下： 1）重錘測(cè)試儀測(cè)試線如下圖方式連接，表面電阻測(cè)試如下左圖所示將兩錘分別放置于被測(cè)材料表面，兩錘之間的間距不小于300mm；體積電阻測(cè)

5、試如下右圖所示將一錘放置于被測(cè)靜電皮上，另一錘放置于靜電地板上，測(cè)靜電皮體積電阻時(shí)工作臺(tái)本身對(duì)地電阻需滿足標(biāo)準(zhǔn)要求（工作臺(tái)對(duì)靜電地板電阻測(cè)試見5.4），兩錘之間的間距不小于500mm； 2）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測(cè)試，直至LED不跳動(dòng)并讀數(shù)； 3）靜電皮/墊之體積電阻和表面阻抗規(guī)格為1*1041*109，測(cè)試結(jié)束后即將測(cè)試值記錄于【靜電皮阻抗測(cè)試記錄表】上，并注明測(cè)試日期，各部門負(fù)責(zé)記錄之保存。5.2.2 各部門負(fù)責(zé)靜電支線（靜電扣）導(dǎo)通測(cè)試，測(cè)試設(shè)備使用萬用表，測(cè)試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關(guān)，將測(cè)試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測(cè)試線一端接觸一靜電支線，另一

6、測(cè)試線端接觸另一靜電支線金屬線部位，讀取電阻值。 3）測(cè)試完關(guān)閉萬用表開關(guān)。4）各部門測(cè)試人員需將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄于【靜電線阻抗測(cè)試記錄表】并保存，測(cè)試結(jié)果如大于4，各部門自行負(fù)責(zé)進(jìn)行檢修 5.2.3 測(cè)量結(jié)果記錄于檢驗(yàn)報(bào)告中，測(cè)試結(jié)果如判定合格，需在被測(cè)物上貼上測(cè)試合格標(biāo)簽，并注明測(cè)試有效期限，如測(cè)試后判定不合格，由各部門負(fù)責(zé)進(jìn)行檢修或按更換，修理或更換后需經(jīng)再測(cè)試合格后方可投入使用。測(cè)試靜電支線導(dǎo)通測(cè)試萬用表兩側(cè)頭測(cè)試置位置5.3靜電服/帽子/手套表面阻抗測(cè)試：5.3.1各部門負(fù)責(zé)靜電服和帽子之表面阻抗測(cè)量，測(cè)試設(shè)備使用重錘測(cè)試儀，被測(cè)件需放于絕緣臺(tái)上，絕緣臺(tái)的表面電阻和體積電阻均要大于1*1

7、013，要有足夠的尺寸，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量至少要測(cè)量3個(gè)不同位置的值，且兩錘之間的間距不小于300mm，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)表面阻抗測(cè)量是指內(nèi)表面和外表面之間的電阻，測(cè)試方法與步驟如下： 1）準(zhǔn)備工作：被測(cè)試靜電服/帽子應(yīng)預(yù)先洗凈。洗滌后的靜電服帽，在60±10溫度下干燥1h后，以模擬穿用狀態(tài)（正面朝外，扣上紐扣、拉鎖），在常溫下靜置24h。 2）將兩重錘與測(cè)試儀用配套之測(cè)試線連接后，分別將重錘測(cè)試儀兩錘放置于靜電服內(nèi)表面和外表面上（如下圖），連接兩個(gè)電極的軸線應(yīng)與服裝纖維的軸線方向不同。 3）將重錘測(cè)試儀測(cè)試檔打到“100V” 檔位，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測(cè)試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵

8、并讀數(shù)。4）靜電服帽表面阻抗電阻規(guī)格為1*1061*1011。測(cè)試靜電服表面阻抗重錘測(cè)試儀兩重錘放置位置 5）測(cè)試結(jié)束后即將測(cè)試值記錄于【靜電服/帽阻抗測(cè)試記錄表】上，并注明測(cè)試日期，各部門負(fù)責(zé)記錄之保存。6）測(cè)試頻率及檢驗(yàn)樣本要求：每三個(gè)月需對(duì)全廠人員抽測(cè)一次，抽檢樣本為總?cè)藬?shù)的5%，新購(gòu)服裝需進(jìn)行抽測(cè)合格后再發(fā)放各單位人員。7）測(cè)試不合格靜電服帽需要求淘汰更換新的合格靜電服帽。5.4周轉(zhuǎn)車/料架、工作臺(tái)與靜電地板導(dǎo)通狀況測(cè)試： 5.4.1各部門負(fù)責(zé)周轉(zhuǎn)車、料架及工作臺(tái)對(duì)防靜電地板之阻抗測(cè)試，測(cè)試設(shè)備使用重錘測(cè)試儀，測(cè)試方法與步驟如下：1）將重錘測(cè)試儀一端墊一塊導(dǎo)電薄片材料，使其與防靜電地板

9、充分緊密接觸； 重錘測(cè)試儀 電極1 防靜電工作臺(tái) 導(dǎo)靜電地腳螺栓 導(dǎo)靜電地面 導(dǎo)電薄片材料 電極2 2）將兩重錘與測(cè)試儀用配套之測(cè)試線連接后，分別將重錘測(cè)試儀兩錘放置于導(dǎo)電薄片材料和周轉(zhuǎn)車、料架、工作臺(tái)表面上（如上圖），有鋪防靜電皮之工作臺(tái)或臺(tái)車，需將置于臺(tái)面的一重錘放置于靜電皮上； 3）將重錘測(cè)試儀測(cè)試檔打到“100V” 檔位，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測(cè)試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)以及周轉(zhuǎn)車、料架車、工作臺(tái)對(duì)地板電阻表示為“7.5*108”； 4）測(cè)試時(shí)雙手不可接觸重錘測(cè)試儀背面兩電極，或是將重錘測(cè)試儀儀表部分置于絕緣體上進(jìn)行測(cè)試。5）

10、周轉(zhuǎn)車、料架車、工作臺(tái)對(duì)地板電阻規(guī)格為1*1041*109。6）測(cè)試結(jié)束后即將測(cè)試值記錄于【臺(tái)車阻抗測(cè)試記錄表】上，并注明測(cè)試日期，各部門負(fù)責(zé)記錄之保存。7）測(cè)試頻率及檢驗(yàn)樣本要求：每周需測(cè)試一次，靜電防護(hù)區(qū)域場(chǎng)所周轉(zhuǎn)車、料架車、工作臺(tái)對(duì)地板電阻需全部進(jìn)行檢測(cè)，新購(gòu)入之工作臺(tái)/車需測(cè)試合格后才可驗(yàn)收投入使用。8）測(cè)試后如判定合格，需在被測(cè)物上貼上測(cè)試合格標(biāo)簽，并注明測(cè)試有效期限，如測(cè)試后判定不合格，由各部門人員對(duì)其進(jìn)行作相關(guān)標(biāo)識(shí)要求停止使用，并負(fù)責(zé)進(jìn)行檢修，修理后需經(jīng)再測(cè)試合格后方可投入使用。5.5 流水線(傳送帶對(duì)地電阻/流水線體接地)5.4.1傳送帶對(duì)地電阻: 使用重錘式表面阻抗測(cè)試儀，一

11、重錘放置于待測(cè)之傳送帶上，另一重錘放置于靜電地板上進(jìn)行測(cè)試。其范圍：1*1041*109。各部門測(cè)試人員需將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄于相應(yīng)表單并保存，測(cè)試結(jié)果如不在此范圍內(nèi)，各部門負(fù)責(zé)對(duì)此流水線進(jìn)行檢修，在檢修后需重新確認(rèn)。測(cè)試傳送帶對(duì)地電阻重錘測(cè)試儀兩重錘放置位置5.4.2 流水線體接地電阻測(cè)試：使用萬用表進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關(guān)，將測(cè)試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測(cè)試線一端接觸流水線體金屬部位，另一測(cè)試線端接觸電源插座接地端，即可讀取接地阻抗值。 3）測(cè)試完關(guān)閉萬用表開關(guān)。4）各部門測(cè)試人員需將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄于相應(yīng)表單并保存，測(cè)試結(jié)果如大于1，各部門負(fù)責(zé)對(duì)此流水線進(jìn)

12、行檢修，在檢修后需重新確認(rèn)。5.6 電烙鐵/電動(dòng)起子接地電阻測(cè)試： 5.6.1各部門每天負(fù)責(zé)電烙鐵接地電阻測(cè)試，并記錄與保存相關(guān)測(cè)試記錄。使用萬用表進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法與步驟如下圖： 1）打開萬用表開關(guān)，將測(cè)試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測(cè)試線一端接觸烙鐵頭，另一測(cè)試線端接觸烙鐵插頭的接地端，即可讀取烙鐵的接地阻抗值。 3）測(cè)試完關(guān)閉萬用表開關(guān)。5.6.2 各部門每周一次負(fù)責(zé)電動(dòng)起子接地電阻測(cè)試，并記錄與保存相關(guān)測(cè)試記錄。使用萬用表進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關(guān)，將測(cè)試檔位調(diào)整到“200”檔；2）將萬用表的測(cè)試線一端電動(dòng)起子頭，另一測(cè)試線端接觸電動(dòng)起子插頭的接地端

13、，即可讀取電動(dòng)起子的接地阻抗值。3）測(cè)試完關(guān)閉萬用表開關(guān)。5.6.3電烙鐵/電動(dòng)起子接地電阻測(cè)試結(jié)束后，各部門測(cè)試人員需將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄于【漏電電阻測(cè)試】并保存，測(cè)試結(jié)果如大于20，各部門負(fù)責(zé)對(duì)此設(shè)備進(jìn)行維修。測(cè)試電烙鐵接地電阻萬用表兩測(cè)試頭放置位置5.7 防靜電地板接地電阻、表面阻抗測(cè)試與摩擦起電電壓測(cè)試：5.7.1總務(wù)課負(fù)責(zé)防靜電地板接地電阻測(cè)試，使用重錘測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，每個(gè)靜電防護(hù)區(qū)域之防靜電地板均需作檢測(cè)，測(cè)試點(diǎn)應(yīng)隨機(jī)取樣，測(cè)試方法與步驟如下： 1）將重錘測(cè)試儀一根測(cè)試線連接一個(gè)重錘后放置于待測(cè)靜電地板表面，另一測(cè)試線端使用夾子夾在ESD靜電主線裸線上。 2）將測(cè)試儀開關(guān)打到“10V”檔

14、，按下紅色按鈕并保持開始測(cè)試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，讀其液晶顯示屏讀數(shù)，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)表示為7.5*108。 3）測(cè)試時(shí)雙手不可接觸重錘測(cè)試儀背面兩電極，或是將重錘測(cè)試儀置于絕緣體上進(jìn)行測(cè)試。4）防靜電地板對(duì)地電阻規(guī)格為小于1*109，測(cè)試頻率為每三個(gè)月測(cè)試一次。5）測(cè)試結(jié)果如果超出規(guī)格，廠務(wù)課需負(fù)責(zé)檢查防靜電地板與地板下銅帶結(jié)束是否良好，綜合防靜電地板表面阻抗值等測(cè)試數(shù)據(jù)分析其原因，并采取相應(yīng)改善措施。6）廠務(wù)課負(fù)責(zé)將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄在【接地電阻測(cè)試記錄表】上并保存。5.7.2總務(wù)課負(fù)責(zé)防靜電地板表面阻抗測(cè)試，使用重錘測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法與步驟如下： 1）兩重

15、錘與測(cè)試儀用配套之測(cè)試線連接后，將兩重錘分別放置于靜電地板表面，測(cè)試點(diǎn)距地板的邊緣不得小于100mm，且兩重錘相距9001000mm距離（如下左圖所示）。2）將重錘測(cè)試儀開關(guān)打到“10V” 檔，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測(cè)試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)以及地板表面電阻表示為7.5*108。 3）測(cè)試時(shí)雙手不可接觸重錘測(cè)試儀背面兩電極，或是將重錘測(cè)試儀置于絕緣體上進(jìn)行測(cè)試。4）測(cè)試時(shí)每4m2隨機(jī)抽取5點(diǎn)并取中心對(duì)四角4次測(cè)試結(jié)果的平均值(如上右圖所示)，并將測(cè)試結(jié)果記錄于【靜電地板阻抗測(cè)試記錄表】上。5）防靜電地板表面阻抗規(guī)格為1*1041*1

16、09，測(cè)試頻率為每6個(gè)月測(cè)試一次。6）測(cè)試結(jié)果如果超出規(guī)格，采用防靜電地板蠟進(jìn)行打蠟拋光。5.7.3 總務(wù)課負(fù)責(zé)防靜電地板摩擦起電電壓測(cè)試，使用靜電壓測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試方法與步驟如下： 1）將靜電壓測(cè)試儀接地線接地連接； 2）用絕緣體勻速地在待測(cè)地板上來回摩擦至少10次； 3）打開電源開關(guān)（按“POWER”鍵），按“IB”鍵將單位轉(zhuǎn)換為“V”，按“ZERO”鍵清零，用帶有激光攝像頭面垂直于被測(cè)試地板表面，測(cè)試摩擦位置表面靜電壓； 4）測(cè)試距離25mm，當(dāng)兩個(gè)激光攝像頭光源重合在一起時(shí)即可讀取數(shù)值； 5）測(cè)試時(shí)如不方便讀數(shù)，可按一下“HOLD”鍵，鎖定顯示屏方便讀數(shù)； 6）設(shè)備測(cè)試工程師負(fù)責(zé)填

17、寫測(cè)試記錄并保存； 7）防靜電地板摩擦起電電壓標(biāo)準(zhǔn)為小于100V，測(cè)試結(jié)果如果超出規(guī)格，由總務(wù)課采取相應(yīng)措施。 8）防靜電地板測(cè)試頻率為每6個(gè)月測(cè)試一次。 9）測(cè)試結(jié)果記錄于【靜電地板阻抗測(cè)試記錄表】上并保存。5.8 離子風(fēng)扇之離子平衡度和靜電消散時(shí)間測(cè)試：5.8.1各部門負(fù)責(zé)離子風(fēng)扇之離子平衡度和靜電消散時(shí)間的測(cè)試，或每三個(gè)月申請(qǐng)委托供應(yīng)商測(cè)試一次，測(cè)試方法依供應(yīng)商測(cè)試作業(yè)規(guī)定；開啟離子風(fēng)扇后，將靜電壓測(cè)試儀安裝測(cè)試極板距離風(fēng)扇介于30cm50cm處清零后進(jìn)行測(cè)試，待讀值穩(wěn)定后讀數(shù)5.8.2離子風(fēng)扇之離子平衡度要求小于±50V，靜電消散時(shí)間從1000伏下降到100伏的時(shí)間要求小于5

18、秒；5.8.3測(cè)試結(jié)束后，要求供應(yīng)商出具記錄相應(yīng)結(jié)果數(shù)據(jù)之離子風(fēng)扇報(bào)告； 5.8.4測(cè)試后如判定合格，需在設(shè)備上貼上測(cè)試合格標(biāo)簽，并注明測(cè)試有效期限，如測(cè)試后判定不合格，由各部門人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行作相關(guān)標(biāo)識(shí)要求停止使用，并負(fù)責(zé)委外修理或申請(qǐng)報(bào)廢，修理后之設(shè)備需經(jīng)再測(cè)試合格后方可投入使用；5.8.5 各部門負(fù)責(zé)相關(guān)記錄之保存。5.10 靜電環(huán)釋放能力/保護(hù)電阻阻值測(cè)試5.10.1各靜電防護(hù)區(qū)域部門主管負(fù)責(zé)進(jìn)入本區(qū)域需要佩戴靜電環(huán)作業(yè)人員的測(cè)試點(diǎn)檢，要求進(jìn)入EPA時(shí)必須點(diǎn)檢靜電環(huán)，測(cè)試合格后方可進(jìn)入EPA現(xiàn)場(chǎng)。1）測(cè)試方法及步驟依靜電環(huán)點(diǎn)檢作業(yè)指導(dǎo)書文件規(guī)定進(jìn)行，進(jìn)入EPA現(xiàn)場(chǎng)佩戴靜電環(huán)之人員，每天至

19、少一次需將測(cè)試結(jié)果記錄于【靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄表】上，或簽上姓名以示檢測(cè)合格。2) 測(cè)試不合格則要求佩戴人員進(jìn)行更換新的靜電環(huán)。5.10.2 靜電環(huán)保護(hù)電阻阻值：將萬用表測(cè)試檔位調(diào)整到“K”檔，萬用表的測(cè)試線一端接觸靜電手環(huán)腕帶金屬部位，另一測(cè)試線端接觸香蕉插頭金屬部位，讀取電阻值。其值范圍：0.8*1051.2*1065.10.3 各部門負(fù)責(zé)發(fā)放相關(guān)記錄表單至各EPA區(qū)域并定期收集測(cè)試記錄予以保存5.11靜電鞋對(duì)地電阻/靜電鞋人體綜合電阻點(diǎn)檢測(cè)試：5.11.1使用重錘式表面阻抗測(cè)試儀測(cè)試靜電鞋對(duì)地電阻，將待測(cè)靜電鞋放置于靜電地板上，一重錘放置于靜電鞋內(nèi)，另一重錘放置于靜電地板上進(jìn)行測(cè)試。5.11.

20、2各靜電防護(hù)區(qū)域部門主管負(fù)責(zé)進(jìn)入本區(qū)域人員的測(cè)試點(diǎn)檢，要求進(jìn)入EPA前的所有人員必須進(jìn)行人體綜合電阻測(cè)試，測(cè)試合格后方可進(jìn)入EPA現(xiàn)場(chǎng)。5.11.3測(cè)試方法及步驟依人體綜合電阻測(cè)試操作規(guī)范文件規(guī)定進(jìn)行，進(jìn)入EPA現(xiàn)場(chǎng)人員，每天至少一次需將測(cè)試結(jié)果記錄于相應(yīng)表單上，或簽上姓名以示檢測(cè)合格。5.11.4測(cè)試不合格則要求所測(cè)試人員進(jìn)行清洗更或換新的靜電鞋。5.11.5靜電鞋對(duì)地電阻范圍：1*1051*108；5.11.6各部門負(fù)責(zé)發(fā)放相關(guān)記錄表單至各EPA區(qū)域并定期收集測(cè)試記錄予以保存。測(cè)試靜電鞋對(duì)地電阻重錘測(cè)試儀兩錘放置位置5.12 生產(chǎn)/檢測(cè)設(shè)備外殼接地阻抗5.12.1各部門負(fù)責(zé)生產(chǎn)/檢測(cè)設(shè)備外殼接地阻抗測(cè)試，測(cè)試方法如下圖：將萬用表測(cè)試檔位調(diào)整到“200”檔，萬用表的測(cè)試線一端接觸設(shè)備外殼金屬部位，另一測(cè)試線端接觸電源插座接地端，讀取接地阻抗值。測(cè)試結(jié)果如大于1，各部門負(fù)責(zé)對(duì)此設(shè)備進(jìn)行維。 測(cè)試生產(chǎn)/檢測(cè)設(shè)備外殼接地阻抗萬用表兩測(cè)試頭放置位置5.13 備主接地線與接地樁對(duì)地電阻測(cè)試：5.13.1總務(wù)課負(fù)責(zé)定期對(duì)設(shè)備主接地線與接地