1、Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。EVO18技術(shù)說(shuō)明-鎢燈絲掃描電鏡技術(shù)文件儀器型號(hào)：EVO182009年6月3日目錄附件一、品牌介紹附件二、設(shè)備用途附件三、技術(shù)指標(biāo)附件四、供貨范圍及報(bào)價(jià)附件五、計(jì)劃進(jìn)度及培訓(xùn)附件六、環(huán)境要求附件七、質(zhì)保及其它服務(wù)附件一：聚焦CARLZEISS世界可見(jiàn)光及電子光學(xué)的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)-德國(guó)蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域40多年及透射電鏡領(lǐng)域60年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)第一：第一臺(tái)靜電式透射電鏡(1949

2、)第一臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡(1965)第一臺(tái)數(shù)字化掃描電鏡(1985)第一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(1990)第一臺(tái)帶有成像濾波器的透射電鏡(1992)第一臺(tái)具有Koehler照明的200kV場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)第一臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的設(shè)計(jì)融合歐洲至上制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無(wú)可撼動(dòng)的王者地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專(zhuān)有技術(shù)，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIBandSEM)、透射電子顯微鏡等全系列解決方案。其產(chǎn)品的高

3、性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶(hù)的信賴(lài)與認(rèn)可。作為全球電鏡標(biāo)準(zhǔn)締造者的CARLZEISS將一路領(lǐng)跑高端電鏡市場(chǎng)為您開(kāi)創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀(jì)元。CarlZeissSMT下屬的納米技術(shù)系統(tǒng)部在北京，上海，廣州，鞍山設(shè)有營(yíng)銷(xiāo)公司和維修服務(wù)站，致力于蔡司電鏡的技術(shù)咨詢(xún)，銷(xiāo)售和售后服務(wù)工作。附件二：設(shè)備主要用途掃描電鏡是以電子束作為光源，電子束在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)三級(jí)電磁透鏡，在末級(jí)透鏡上部掃描線(xiàn)圈的作用下，在試樣表面做光柵狀掃描，產(chǎn)生各種同試樣性質(zhì)有關(guān)的物理信息（如二次電子，背反射電子），然后加以收集和處理，從而獲得表征試樣形貌的掃描電子像。掃描電鏡（SEM）廣泛地應(yīng)用于金屬材料（

4、鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工）和非金屬材料（化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維）等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域，進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線(xiàn)掃描分布測(cè)量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。選配附件：能譜儀：即X射線(xiàn)能量色散譜儀,簡(jiǎn)稱(chēng)EDS主要是用來(lái)分析材料表面微區(qū)的化學(xué)成分,分析方式有定點(diǎn)定性分析、定點(diǎn)定量分析、元素的線(xiàn)分布、元素的面分布。波譜儀：(即X射線(xiàn)波長(zhǎng)色散譜儀,簡(jiǎn)稱(chēng)WDS)，用

5、作微區(qū)成分分析。分析精度方面比能譜儀精度更高，可以做成分的定量分析。EBSD(電子背散射衍射儀)：EBSD主要可做單晶體的物相分析,同時(shí)提供花樣質(zhì)量、置信度指數(shù)、彩色晶粒圖,可做單晶體的空間位向測(cè)定、兩顆單晶體之間夾角的測(cè)定、可做特選取向圖、共格晶界圖、特殊晶界圖,同時(shí)提供不同晶界類(lèi)型的絕對(duì)數(shù)量和相對(duì)比例,即多晶粒夾角的統(tǒng)計(jì)分析、晶粒取向的統(tǒng)計(jì)分析以及它們的彩色圖和直方統(tǒng)計(jì)圖,還可做晶粒尺寸分布圖,將多顆單晶的空間取向投影到極圖或反極圖上可做二維織構(gòu)分析,也可做三維織構(gòu)即ODF分析。離子濺射儀：樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），噴碳，使絕緣材料能夠?qū)щ姡桥浜蠏呙桦娮语@微鏡制樣必備的儀器。附件三：技術(shù)指

6、標(biāo)EVO18是一臺(tái)高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線(xiàn)分析條件，樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無(wú)油渦輪分子泵滿(mǎn)足快速的樣品更換和無(wú)污染成像分析。主要參數(shù)：1.光學(xué)系統(tǒng)1.1、光源：鎢燈絲。預(yù)對(duì)中式燈絲，燈絲具有自動(dòng)加熱、自動(dòng)對(duì)中功能。1.2、聚焦：具有手動(dòng)及自動(dòng)聚焦功能。1.3、光闌：三級(jí)可調(diào)物鏡光闌。*1.4、加速電壓：200V30kV，10V步進(jìn)連續(xù)可調(diào)。1.5、圖像電平移：50m。*1.6、放大倍數(shù)：51000,000，連續(xù)可調(diào)。*1.7、分辨率：高真空二次電子

7、像=3.0nm（30kV）；低真空背散射電子像=4.0nm（30kV）。*1.8、探針電流范圍：0.5pA5A，連續(xù)可調(diào)。1.9、聚焦工作距離：2mm145mm。2.0、電子束氣體路徑長(zhǎng)度：2mm。2、真空系統(tǒng)*2.1、真空泵系統(tǒng)：渦輪分子泵+機(jī)械泵，不需要冷卻水。2.2、真空度：最高真空度：優(yōu)于0.1mPa；低真空壓力范圍：10Pa400Pa。2.3、在低真空條件下，保持8.5的工作距離，并且可以做能譜分析。3、樣品系統(tǒng)*3.1、樣品室內(nèi)部尺寸：365mm()275mm（h）。*3.2可放置的最大樣品尺寸：直徑250mm，高度145mm3.3、最大允許樣品重量：不小于5kg。*3.4、樣品臺(tái)

8、移動(dòng)方式：五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。*3.5、樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：X125mm,Y125mm,Z50mm,0+90傾斜，360旋轉(zhuǎn)。3.6、樣品臺(tái)移動(dòng)精度：重復(fù)性2m；最小步長(zhǎng)100nm；漂移3,000,000cps6.6、最在輸出計(jì)數(shù)：1,100,000cps注：如配熱臺(tái)樣品臺(tái)XY軸移動(dòng)范圍必須大于100MM附件四、供貨范圍及報(bào)價(jià)ItemSaleCodeDescription1EVO-18-BUBasicUnitEVO18.Tungstenemissionsystem,airadmittanceto400Pa,5-axismotorisedstagewithsoftwarejoystick,SE-detec

9、tor,andmultilingualWinXPProEVO18主機(jī)。鎢燈絲發(fā)射系統(tǒng)，低真空工作可達(dá)400Pa，帶有軟件操縱桿的5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)計(jì)算機(jī)居中樣品臺(tái)，二次電子探測(cè)器，WinXPPro操作系統(tǒng)。219TFT19colourflatpaneldisplaymonitor19寸彩色液晶顯示器3JOYSTICKStyledDualJoystickController雙軸遙感操作器4CONTROLPANEL-UKControlpanelwithrotarycontrolsandkeyboard.UKEnglish旋鈕操作控制面板5CHAMBERSCOPEChamberscopewithIRill

10、uminationdisplayedtofullscreen(stagedoormounted)具有紅外照明、全屏幕顯示的樣品室觀察系統(tǒng)（CCD)6CENTRECentrePointandCentreFeature.Tobringapoint,orarea,tothecentreofthefieldofview.中心點(diǎn)和中心特征功能。7EVO-FISHEYEOptiBeammodeforverylowmagnificationimagingduringnavigation.魚(yú)眼模式用于低倍率觀察8LM-4QBSDLM4QBSD-1kV16mmdiode.背散射電子探測(cè)器9EXTIFExtern

11、alscaninputandvideooutputcable.IncludesRemoteControlusingRS232(REMCON)能譜接口10EDX牛津XMAX-20電制冷能譜儀11MPSHMultipurposesampleholder多用途樣品托12EVO-SPECIMEN-PREPSpecimenpreparationkit(IncludingUPS)樣品準(zhǔn)備工具。13Parts其他附件耗材燈絲3盒(10支)碳導(dǎo)電膠5卷,機(jī)械油2瓶,真空脂一支.總計(jì)：26萬(wàn)美金附件五、計(jì)劃進(jìn)度及培訓(xùn)Attachment5:Plan&Training交貨期為收到L/C后四個(gè)月.Systemdel

12、ivery:4monthsafterreceiptofL/C供方與需方配合進(jìn)行：設(shè)備到達(dá)需方地址后，供方在接到需方安裝通知十四日內(nèi)派工程師到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝調(diào)試。Aftersystemarrives,sellerwillstartinstallationwithin14daysuponarrivalnotification.安裝調(diào)試完畢后，馬上對(duì)用戶(hù)人員進(jìn)行培訓(xùn)。Aftercompletionofinstallation,on-sitetrainingwillcommence.培訓(xùn)內(nèi)容：-電鏡及附件的操作MicroscopeBasicOperation-電鏡及附件的日常維護(hù)Microscoped

13、ailymaintenance-樣品觀測(cè)、分析、獲取圖象SampleAnalysisandimagetaking培訓(xùn)時(shí)間3-5天或可針對(duì)用戶(hù)情況延長(zhǎng)時(shí)間。Standardtrainingtakesminimumoneweekandcanbeextendedifnecessary.附件六、環(huán)境要求Power100-240V50/60HzSinglePhase電源100-240V50/60Hz單相Consumption2kVA3kVA(dependentonaccessoriesfitted)功耗2kVA3kVA（取決于安裝的附件）Theincomingsingle-phasesupplyshou

14、ldpreferablybeaspurthatfeedstheSEM.A13AmppowersocketwillberequiredfortheSEM,plusonefortherotarypump(twoifthesystemisanEPwithtworotarypumps).Powersocketsforaccessoriesshouldbeconnectedtothesamephase.Itshouldnotsupplyneighboringequipmentlikelytogenerateanabnormalamountofline-borneinterference.Asafetyg

15、roundoflessthan0.25toearthisrequired.A5-meterlongearthcableissuppliedwiththeEVOandshouldbeconnectedtoaseparateM8earthstud.進(jìn)來(lái)的單相電源最好是供給SEM的支線(xiàn)。對(duì)于SEM需要一個(gè)13安培的電源插座，另加一個(gè)用于旋轉(zhuǎn)泵的插座（如果系統(tǒng)是帶有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)泵的EP，則另加兩個(gè)插座）。用于附件的電源插座應(yīng)連接到同一相上。它應(yīng)不供給附近可能產(chǎn)生異常干擾的儀器。需要一個(gè)小于0.25接地電阻的保護(hù)接地。一根5米長(zhǎng)的接地線(xiàn)與EVO一起提供，并將連接到獨(dú)立的M8地線(xiàn)螺栓上。AmbientTemp

16、erature環(huán)境溫度20-30C.Itisrecommendedthatforoperatorcomforttheroomtemperatureismaintainedbetween22and24DegC.20-30C。為了操作者的舒適，建議室溫保持在22C和24C之間RelativeHumidity相對(duì)濕度Lessthan65%小于65%CompressedNitrogen壓縮氮?dú)釪rynitrogenishighlyrecommendedforchamberandpumpventilationduringspecimenexchanges.Theminimumpressureshould

17、notbelessthan0.2bar;otherwise,ventilationtimeforthechamberwouldbetoolong.Themaximumpressuremustbelimitedto0.3bar.Withthechamberopenednitrogenconsumptionisapproximately3l/min.at0.2baraboveambientpressure.Thepurityofthenitrogenshouldbeabout99.996%.Thepipesuppliedis4mminternaldiameterand6mmexternaldiam

18、eter.強(qiáng)烈建議，在樣品更換期間用干燥的氮?dú)鈱?duì)樣品室與真空泵進(jìn)氣。最低壓力應(yīng)不小于0.2bar；不然，對(duì)樣品室進(jìn)氣時(shí)間將太長(zhǎng)。最大壓力必須限制在0.3bar。在高于周?chē)鷫毫?.2bar時(shí)，在樣品室打開(kāi)時(shí)氮?dú)獾南牧看蠹s是3l/min。氮?dú)獾募兌葢?yīng)約為99.996%。提供的管子為4mm內(nèi)徑和6mm外徑。RotaryPumpExhaust旋轉(zhuǎn)泵排氣Therotarypumpproducesoilmistduringpumpdown,thiscancontaminatetheenvironmentandcreateahealthhazardwhenusedinenclosedsurrounding

19、s.Theoilmistfiltersuppliedand/oranexternalexhaustmustbeconnectedtotherotarypump.Thepipeshouldbeaplastictubewithaninnerdiameterof10mm.在抽真空期間，旋轉(zhuǎn)泵產(chǎn)生油霧，在封閉環(huán)境中使用時(shí)，它能污染環(huán)境并危害健康。旋轉(zhuǎn)泵上必須連接提供的油霧過(guò)濾器和/或外部排氣。管子應(yīng)為內(nèi)經(jīng)為10mm的塑料管。Vibration震動(dòng)Velocitylevel:速度水平：Lessthan6m/secrms.from0-30Hz.Lessthan12m/secrms.above30Hz.Me

20、asurementdirections:XYandZ小于6m/secrms。從0-30Hz。小于12m/secrms。30Hz以上。測(cè)量方向：X、Y、ZStrayMagneticField雜散磁場(chǎng)Themaximumpermissiblestrayfieldintheroomis3x10-7T(peaktopeak)=3mG(peaktopeak).室內(nèi)最大允許雜散磁場(chǎng)為3x10-7T（峰-峰值）=3mG（峰-峰值）。Theenvironmentalandutilityrequirementsaretheresponsibilityofthecustomerandshallbeprovided

21、atthetimeofinstallation.Failuretocomplywiththeseconditionsmayadverselyaffecttheperformancefiguresquotedinthisspecification.環(huán)境與實(shí)用要求是用戶(hù)的責(zé)任，并應(yīng)在安裝時(shí)提供。如果不滿(mǎn)足這些條件，可能會(huì)對(duì)技術(shù)規(guī)格中給出的性能產(chǎn)生不利的影響。ZEISSTechnicalSupportwillbehappytosuggestsuppliersofanti-vibrationplatformsandACfieldcancellationsystemsshouldtheseberequi

22、red.ZEISS技術(shù)支持建議使用減震臺(tái)和AC磁場(chǎng)消除系統(tǒng)。尺寸及重量：Thefollowingdataisprovidedasaguideonly:-下面提供的數(shù)據(jù)只作為指導(dǎo)：-TheZEISSEVOissuppliedintwocontainers.ZEISSEVO用兩個(gè)包裝箱來(lái)提供。Container1:Re-UsableWoodenBox包裝箱1：可重復(fù)使用的木箱OverallDimensions整體尺寸140cmx122cmx135cmOverallWeight整體重量110kgContainer2:CardboardboxonEuroPallet包裝箱2：歐洲推薦的硬紙板箱Over

23、allDimensions整體尺寸191cmx122cmx110cmOverallWeight整體重量102kgPlinthUn-crated基體（無(wú)包裝）OverallDimensions整體尺寸98cmdeepx78.4cmwidex158cmhigh98cm深x78.4cm寬x158cm高OverallWeight整體重量600kg附件七、質(zhì)保及其它服務(wù)ZEISS在中國(guó)境內(nèi)的維修保養(yǎng)部是直接由ZEISS亞洲新加坡總部負(fù)責(zé)。所有維修保養(yǎng)工程師都經(jīng)過(guò)ZEISS工廠培訓(xùn)。目前維修部的結(jié)構(gòu)如下：ServiceSupportinChinawillbedirectlybyZeissSingapore

24、.Allserviceengineerarefactorytrained.Servicesupportstructureasfollows:固定維修站：在北京有2位維修工程師、無(wú)錫有3位維修工程師，上海有1位維修工程師及1位應(yīng)用專(zhuān)家，廣州有2位維修工程師.向目前ZEISS的用戶(hù)提供服務(wù)。Servicelocation:2FieldServiceEngineersinBeijing3FieldServiceEngineersinWuxi1FieldServiceEngineerinShanghai1ApplicationSpecialistinShanghai2FieldServiceEngineersinGUAMGZHOU流動(dòng)維修站：目前在新加坡有4位資深工程師及4位維修工程師，如有需要將隨時(shí)協(xié)助ZEISS中國(guó)境內(nèi)工程師包括安裝、檢修工作等，以彌補(bǔ)由于ZEISS用戶(hù)數(shù)量短期內(nèi)的急劇增加而需要的安裝調(diào)試及維修工作。ServiceBackup:4SeniorServiceSpecialistsand4ServiceEngineersfromCarlZeissSMTPteLtd,Singaporewillsupportinemergencysituations.遠(yuǎn)程遙控服務(wù)：根據(jù)我們多年在世界各地的經(jīng)驗(yàn)，80%以上用戶(hù)提出的“技術(shù)問(wèn)題”都是由于用戶(hù)本身，特別是電