歡迎各位同仁參加《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范GB50591-2010》的學(xué)習(xí)與交流！

自報(bào)家門(mén)：

張洪雁

中國(guó)航天建筑設(shè)計(jì)研究（集團(tuán)）

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T50591—2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范中華人民共和國(guó)建設(shè)部國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局聯(lián)合發(fā)布

一般規(guī)定

管材及附件

管道系統(tǒng)的安裝 管道系統(tǒng)的強(qiáng)度試驗(yàn) 管道系統(tǒng)的吹除 氣體供給裝置中間驗(yàn)收

6、氣系統(tǒng)

潔凈室“氣系統(tǒng)”當(dāng)前的態(tài)勢(shì)

小環(huán)境與大環(huán)境今天講潔凈室小環(huán)境之前，先來(lái)看一下我們周邊大環(huán)境的潔凈狀況。在我們生活的周邊環(huán)境中，存在各種人們看得見(jiàn)與看不見(jiàn)的各種污染物，比如油（煤）煙、二氧化硫（一個(gè)1000MW燃煤熱電廠，每日可以排放二氧化硫—硫酸，約為5025公斤）、一氧化碳（每年約有2億2千噸，幾乎全部來(lái)自汽車(chē)和森林大火）、氮氧化物及碳?xì)浠衔锏奈廴疚锪Ｗ?。另外，低熔點(diǎn)金屬，像鉛、砷、鈹、鈣和鋅等，其生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的煙氣都是劇毒品，對(duì)于類(lèi)似硫酸或磷酸制造廠散發(fā)出來(lái)的酸霧，還有噬菌體等微生物，同時(shí)，空氣中也含有一定量的水蒸氣，這些都是我們小環(huán)境--潔凈室污染物粒子的來(lái)源。我們的潔凈室就是依托這樣的環(huán)境而存在。粉塵：一般指1μm--76μm的微塵粒子，可以通過(guò)200目的篩孔尺寸。煙氣：小于1μm的固體微塵粒子。薄霧：一般小于10μm的液體微塵粒子。霧：當(dāng)薄霧較濃只能朦朧可見(jiàn)。有時(shí)人們也將薄霧稱(chēng)之為霧。煙：通常指燃燒產(chǎn)生的廢氣，或者者油油飛飛灰灰以以及及不不完完全全燃燃燒燒產(chǎn)產(chǎn)生生的的廢廢物，，或或者者兩兩者者都都有有，，其其粒粒子子是是固固體體的，，也也可可能能為為液液體體的的。。煙霧霧：含含義義十十分分廣廣泛泛，，比比如如指指煙煙和和霧的的結(jié)結(jié)合合體體；；泛泛指指任任何何一一種種令令人人厭厭惡惡的大大氣氣污污染染物物。。歷史史上上科科學(xué)學(xué)家家曾曾經(jīng)經(jīng)把把地地球球煙霧霧分為為兩種種類(lèi)類(lèi)型型，，即即眾眾所所周周知知的的““洛洛杉杉磯磯型””與與““倫倫敦敦型型””。?！啊奥迳忌即壌壭托汀睘闉楣饣瘜W(xué)學(xué)煙煙霧霧，，主主要要來(lái)來(lái)自自汽汽車(chē)車(chē)的的尾尾氣氣。。而““倫敦敦型型”主主要要來(lái)來(lái)自自煤煤的的不不完完全全燃燃燒，，主主要要含含有有較較高高濃濃度度的的二二氧氧化化硫硫及及其粒粒子子。。我我國(guó)國(guó)北北京京等等大大城城市市為為兩兩種種類(lèi)類(lèi)型地地結(jié)結(jié)合合。。煤煙煙：燃燃煤煤未未能能充充分分燃燃燒燒而產(chǎn)產(chǎn)生生的的一一些些未未燃燃煤煤粉粉粒粒子子。。氣溶溶膠膠：最最初初，，僅僅為為對(duì)對(duì)及及其其微微小小、、相相對(duì)對(duì)穩(wěn)穩(wěn)定定的的空空氣氣懸懸浮浮物物的的稱(chēng)稱(chēng)呼呼，，近近年年來(lái)來(lái)，，這這種種稱(chēng)稱(chēng)謂謂普普遍遍用用于于所所有有的的空空氣氣中中的的懸懸浮浮物物?！，F(xiàn)將將這這些些污污染染物物及及其其近近似似的的粒粒徑徑尺尺寸寸匯匯集集在在表表中中，，以以便便提提供供一一種種感感性性的的認(rèn)認(rèn)識(shí)識(shí)；；大氣氣微微塵塵粒粒徑徑對(duì)對(duì)照照表表名稱(chēng)粒徑μm名稱(chēng)粒徑μm名稱(chēng)粒徑μm病毒0.003-0.06氣溶膠0.001-100霧化微滴1-12核燃料0.01-0.1漆料0.1-6飛灰1-200碳黑0.01-0.3奶粉0.1-10殺蟲(chóng)劑5-10樹(shù)脂0.01-1細(xì)菌0.3-30水泥塵5-100香煙煙霧0.01-1矽塵0.5-5花粉10-15硅膠0.02-0.1殺蟲(chóng)劑0.5-10人發(fā)50-120結(jié)晶鹽0.03-0.5濃硫塵1-11海沙100-1200雖然然近近年年來(lái)來(lái)通通過(guò)過(guò)人人為為的的強(qiáng)強(qiáng)行行控控制制，，大大氣氣環(huán)環(huán)境境中中的的天天然然塵塵源源已已在在減減少少，，但但是是根根據(jù)據(jù)不不同同地地區(qū)區(qū)和和環(huán)環(huán)境境的的狀狀況況，，在在每每立立方方米米的的大大氣氣中中仍仍舊舊含含有有大大約約1750萬(wàn)萬(wàn)顆顆、、粒粒徑徑為為1－－0.01μμm的的污污染染物物粒粒子子。。這樣樣的的大大氣氣進(jìn)進(jìn)入入我我們們氣氣系系統(tǒng)統(tǒng)的的源源頭頭：：““深深冷冷空空分分制制氣氣””、、““碳碳分分子子篩篩制制氣氣””或或““纖纖維維膜膜分分離離制制氣氣””等等系系統(tǒng)統(tǒng)的的空空氣氣壓壓縮縮機(jī)機(jī)，，同同時(shí)時(shí)，，往往復(fù)復(fù)活活塞塞式式空空氣氣壓壓縮縮機(jī)機(jī)本本身身的的活活塞塞環(huán)環(huán)，，在在運(yùn)運(yùn)動(dòng)動(dòng)磨磨擦擦過(guò)過(guò)程程中中會(huì)產(chǎn)產(chǎn)生生粉粉塵塵，，對(duì)對(duì)壓壓縮縮的的氣氣體體造造成成二二次次污染染，，因因此此，，通通過(guò)過(guò)往往復(fù)復(fù)活活塞塞空空氣氣壓壓縮縮機(jī)后后的的壓壓縮縮體體氣氣中中的的污污染染物物含含量量，，大大約可可增增加加50ppm（（w/w））。。同時(shí)時(shí)，，通通過(guò)過(guò)純純化化或或干干燥燥器器，，清清除除氣體體中中水水分分、、CO2、C2H2等的的過(guò)過(guò)程程中中，，由于于氣氣流流沖沖刷刷、、操操作作不不當(dāng)當(dāng)或或吸吸附附劑劑熱熱穩(wěn)定定性性不不良良等等因因素素的的影影響響，，都都會(huì)會(huì)產(chǎn)產(chǎn)生生大量量吸吸附附劑劑的的粉粉塵塵。。雖雖然然在在凈凈化化、、干干燥器器進(jìn)進(jìn)出出口口系統(tǒng)統(tǒng)中中都都裝裝設(shè)設(shè)過(guò)過(guò)濾濾器器，，由由于于動(dòng)動(dòng)態(tài)態(tài)氣氣體體的的連連續(xù)續(xù)流流動(dòng)動(dòng)性性能能不不佳佳，，微微米米、、亞亞微微米米級(jí)級(jí)的的污污染染粒粒子子，，仍仍舊舊會(huì)會(huì)造造成成系系統(tǒng)統(tǒng)內(nèi)內(nèi)的的交交叉叉污污染染或或反反擴(kuò)擴(kuò)散散污污染染。。所所以以，，在在所所獲獲得得的的氣氣體體產(chǎn)產(chǎn)品品中中，，不不論論其其純純度度如如何何，，都都會(huì)會(huì)不不同同程程度度的的含含有有污污染染物物粒粒子子。。制造一個(gè)人工工的潔凈環(huán)境境，去除這些些污染物粒子子，就是我們們潔凈室的基基本功能與任任務(wù)。氣體生產(chǎn)過(guò)程程中產(chǎn)生的污污染物（1）壓縮縮系統(tǒng)中的污污染物在壓縮空氣中中的污染物主主要為兩種，，一種是被吸吸入空氣壓縮縮機(jī)的大氣污污染物粒子，，其中80%直徑在2μm以下，，另外一種便便是壓縮機(jī)加加壓過(guò)程中壓壓縮機(jī)本身產(chǎn)產(chǎn)生的污染物物質(zhì)。也就是說(shuō)，壓壓縮機(jī)吸入的的空氣中，就就已經(jīng)含有一一定量的固體體的、液體的的、乃至固液液兩種混合的的污染物，另另一種是壓縮縮機(jī)自身帶出出的油份呈煙煙霧狀態(tài)，消消散開(kāi)來(lái)便成成為0.01-0.8μμm的氣溶膠膠。而對(duì)于無(wú)潤(rùn)滑滑壓縮機(jī)，金金屬活塞環(huán)或塑料活塞塞環(huán)與氣缸壁壁的磨擦，產(chǎn)生的金金屬與非金屬屬粒子等。油潤(rùn)滑壓壓縮機(jī)空氣中中的殘油量通常為：活塞式壓縮機(jī)機(jī)：5-15ppm(0.7Mpa、20oC)，液滴滴的尺寸約為1-15μm。螺桿式壓縮機(jī)機(jī)：3-6ppm(0.7Mpa、20oC),氣態(tài)態(tài)油霧的尺寸寸通常小于1μm。某某種程度上，，殘油量多少，在壓縮機(jī)機(jī)維護(hù)護(hù)較差或者是是劣質(zhì)機(jī)器，進(jìn)進(jìn)入壓縮空氣氣中的殘油量，基本上上取決于壓縮縮機(jī)的功率或自由空氣氣流量。壓縮機(jī)產(chǎn)生金金屬或塑料粉粉塵，會(huì)與管道中的贓贓物混合，形形成銹斑、固體微粒粒以及乳膠狀乳油。。如果這種不潔潔凈的壓縮空空氣，不采用用任何有效的的去除手段，，直接應(yīng)用在在對(duì)氣質(zhì)要求求較高的場(chǎng)合合或地點(diǎn)，如如潔凈室，就就會(huì)污染潔凈凈的生產(chǎn)環(huán)境境，甚至玷污污貴重的產(chǎn)品品并導(dǎo)致不合合格。潔凈室及潔凈凈區(qū)空氣潔凈凈等級(jí)【ISO14644-1】】ISO分級(jí)序數(shù)（N）

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（顆/m3空氣）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μmISOClass1102

ISOClass210024104ISOClass31000237102358ISOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000000237000102000352008320293ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029300ISOClass9352000008320000293000可見(jiàn)，大氣環(huán)環(huán)境與潔凈室室潔凈狀況相相差太大。在一些工藝系系統(tǒng)，如大規(guī)規(guī)模集成電路路的生產(chǎn)工藝藝用氣，氣浮浮陀螺、氣浮浮軸承的充氣氣，火箭和航航天器的生產(chǎn)產(chǎn)、加工控制制、檢驗(yàn)、試試驗(yàn)用氣、醫(yī)醫(yī)藥、食品生生產(chǎn)過(guò)程等，，對(duì)用氣的質(zhì)質(zhì)量都提出了了十分嚴(yán)格的的要求，另外外如各種射流流技術(shù)、氣動(dòng)動(dòng)裝置、精密密儀表等各種種用氣，也提提出了相應(yīng)的的潔凈要求。。還有一些特殊殊的場(chǎng)合，如如飛機(jī)、坦克克、戰(zhàn)艦之類(lèi)類(lèi)使用的液體體燃料、油和和潤(rùn)滑材料，，要求不含5-10μm固體殘留物物；在核技術(shù)術(shù)中的液體金金屬納、鋰的的過(guò)濾、中子子發(fā)射裝置；；醫(yī)藥衛(wèi)生行行業(yè)用來(lái)過(guò)濾濾病毒、細(xì)菌菌，生產(chǎn)無(wú)菌菌空氣和從母母液中分離青青霉素、鏈霉霉素等抗菌晶晶體等，對(duì)生生產(chǎn)環(huán)境污染染物粒子的含含量控制十分分嚴(yán)格。（2）氣體吸吸附干燥過(guò)程程產(chǎn)生污染物物比如在使用方方面，由于吸吸附干燥/純純化裝置切換換程序方面的的故障、不適適時(shí)動(dòng)作的電電動(dòng)閥門(mén)、管管道的滲漏，，甚至吸附劑劑粉末反擴(kuò)散散造成的交叉叉污染等，都都會(huì)使?jié)崈舻牡臍怏w再次遭遭受污染，當(dāng)當(dāng)然，這類(lèi)情情況大多是由由于安裝、使使用不當(dāng)造成成的。嚴(yán)重的是干燥燥/純化裝置置本身，特別別是采用的吸吸附劑機(jī)械強(qiáng)強(qiáng)度低，性能能不穩(wěn)定，熱穩(wěn)穩(wěn)定性差，壓壓力沖擊下易易粉碎，從而而產(chǎn)生細(xì)小粉粉塵，往往會(huì)會(huì)造成干燥、、純化氣體的的二次污染。。我們用干燥/純化器前后后氣體測(cè)定的的結(jié)果加以說(shuō)說(shuō)明：壓力氣體經(jīng)過(guò)過(guò)干燥器純、、化器前、后后氣體含塵量量對(duì)比氣體名稱(chēng)氣體進(jìn)入分子篩干燥器/純化器前≥0.3μm微塵粒子數(shù)，粒/升氣體經(jīng)過(guò)分子篩干燥器/純化器后≥0.3μm微塵粒子數(shù)，粒/升壓力空氣520760壓力氧氣360804壓力氮?dú)?04810可見(jiàn)，通過(guò)干干燥器、純化化器之后粒子子數(shù)量為進(jìn)入入干燥器前的的1.5-4倍。實(shí)踐表表明，在流速速大、壓力高高的情況下，，這種現(xiàn)象就就更加明顯，，對(duì)于鋁膠、、硅膠干燥劑劑也不排除這這種情況,因因此，在干燥燥、純化器前前、后，一般般分別配置有有效的前置過(guò)過(guò)濾器和后過(guò)過(guò)濾器，即防防止吸附劑的的“中毒”，，同時(shí)防止吸吸附劑對(duì)潔凈凈氣體產(chǎn)生二二次污染。（3）過(guò)過(guò)

濾器器

的污污染染（4）氣體體輸送過(guò)程中中管道系統(tǒng)的的材質(zhì)不佳，，導(dǎo)致產(chǎn)生污污染物a.管材透氣性強(qiáng)強(qiáng)b.管材內(nèi)表面對(duì)對(duì)氣體吸附及及解吸c(diǎn).管材內(nèi)表面粗粗糙與磨損d.管材的抗腐蝕蝕性能低e.管材的性能不不穩(wěn)定,在焊焊接處理中，，管材組織發(fā)發(fā)生變化污染因素可謂謂來(lái)自方方面面面。作為科技前沿沿技術(shù)代表的的亞微米級(jí)大大規(guī)模集成電電路，工業(yè)氣氣體是生產(chǎn)工工藝的重要組組成部分。亞微米級(jí)的生生產(chǎn)設(shè)備和全全部超凈的生生產(chǎn)環(huán)境，無(wú)無(wú)疑改善了生生產(chǎn)工藝條件件，增加了產(chǎn)產(chǎn)品的可靠性性。在實(shí)際應(yīng)應(yīng)用中，在終端獲得的氣氣體，其水分分的含量?jī)H為為1PPb甚甚至更低，而而雜質(zhì)氣氛的的含量低于0.1PPb,僅用三天天的時(shí)間，管道內(nèi)氣氣體達(dá)到粒子子的含量為0.00的水水平。氣溶膠：最初，僅為對(duì)對(duì)及其微小、、相對(duì)穩(wěn)定的空氣氣懸浮物的稱(chēng)稱(chēng)謂，近年來(lái)，這種稱(chēng)謂謂普遍用于所所有的空氣中中的懸浮物，它它的粒子尺寸寸范圍非常寬寬大，一般為0.001μμm-100μm，隨隨著塵源的變化，，其物化性質(zhì)質(zhì)也有很大的的不同與變化化。有時(shí)，也將其其中直徑在10μm以上上，肉眼可見(jiàn)見(jiàn)的微塵粒子子，稱(chēng)之為可見(jiàn)粒子；微粒的直徑在在0.25μμm-10μμm之間，在在普通顯微鏡鏡下可以觀察察到的粒子，，稱(chēng)之為顯微粒子；而必須在超級(jí)級(jí)顯微鏡或電電子顯微鏡下下才能夠觀察察到、直徑在在0.25μμm以下的微微粒，稱(chēng)之為為超顯微粒子。對(duì)粒子的概念念有了準(zhǔn)確地地理解與定位位，可見(jiàn)，我我們要使氣系系統(tǒng)中粒子含含量達(dá)到零的的水平，工作作之艱巨可想想而知。另外，隨著微微型高潔凈環(huán)環(huán)境的出現(xiàn)，，也使得工藝藝設(shè)備的幾何何尺寸變得越越來(lái)越小，從從而，使得氣氣體通路的孔孔徑也相應(yīng)變變小，通路的的長(zhǎng)度與孔徑徑之比不斷增增大，通過(guò)的的氣量不可避避免的隨著氣氣體阻力的增增大而減少。。氣量的減少、、氣體滲透的的影響、管材材內(nèi)表面吸附附的含濕氣體體的解析等，，結(jié)果都將增增大用氣點(diǎn)不不純物的濃度度。在亞微米級(jí)大大規(guī)模集成電電路的生產(chǎn)中中，H2、N2、O2、Ar等永久久氣體，通常常作為反應(yīng)氣氣、保護(hù)氣或或攜帶氣。要要求這些氣體體的純度達(dá)到到很高標(biāo)準(zhǔn)，，即通常講的的五個(gè)“9””、六個(gè)“9”，把雜質(zhì)質(zhì)氣氛、含濕濕量控制在最最低的水平。。氣體N2壓縮空氣H2O2H2O

0.1

1.0

0.5

0.2O2

0.1

0.1H2

0.1

0.1

0.1CO

0.1

0.1

0.5

0.1CO2

0.1

0.1

0.5

0.1CxHy

0.1

0.5

0.1微塵粒徑0.2m700/Nm3亞微米級(jí)集成成電路常用高高純氣體的污污染控制水平平（PPmV））這就要求所提提供的高純度度、高潔凈度度、高干燥度度的“三高””氣體，在通通過(guò)管路輸配配氣系統(tǒng)后，，在終端不增加任何污染染。氣體管路輸配配系統(tǒng)如何確確保在輸送過(guò)過(guò)程中不增加加任何污染，，本規(guī)范就是是我們施工中中所要遵循的的法規(guī)，指導(dǎo)導(dǎo)我們?nèi)绾尾挪拍茉诮K端不增加污染，建建成高水平的的供氣系統(tǒng)。?！稘崈羰沂┕すを?yàn)收規(guī)范》》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50591-2010就是在這樣的的背景下出臺(tái)臺(tái)的，這是行行業(yè)中可喜的的事情。它將將會(huì)在潔凈室室的施工領(lǐng)域域，規(guī)范施工工人員的行為為，發(fā)揮正確確的導(dǎo)向，使使得潔凈室施施工有法可依依，市場(chǎng)能夠夠按著有序的的方式進(jìn)行等等諸多方面，，發(fā)揮較大的的作用。今天，大家共共聚一堂，目目的就是學(xué)習(xí)習(xí)規(guī)范、貫徹徹規(guī)范，在市市場(chǎng)實(shí)施準(zhǔn)入制度的條件件下，為潔凈凈技術(shù)打造更多、素質(zhì)更更高、技術(shù)更更強(qiáng)的專(zhuān)業(yè)施施工隊(duì)伍，在在建設(shè)項(xiàng)目中中出精品、創(chuàng)創(chuàng)品牌，為我我國(guó)的潔凈技技術(shù)做出更大大的貢獻(xiàn)。大家都為航天天“嫦娥”、、“神五、神神六載人航天天”感到振奮奮，其中諸多多環(huán)節(jié)，都有有大家在潔凈凈技術(shù)方面的的貢獻(xiàn)與力量量。對(duì)于潔凈室內(nèi)內(nèi)的超純、超超凈氣體管道道系統(tǒng)，大家家要注意一點(diǎn)點(diǎn)，尤其通向向系統(tǒng)終端用用氣點(diǎn)的分支支管路，系統(tǒng)統(tǒng)盡管較小，，但技術(shù)要求求更高，這樣樣，才能夠保保證和滿(mǎn)足潔潔凈室內(nèi)的用用氣點(diǎn)及有關(guān)關(guān)設(shè)備對(duì)氣體體參數(shù)的苛求求。無(wú)論主管路還還是分支管路路，每一組輸輸送系統(tǒng)的組組配，要堵塞塞一切污染產(chǎn)產(chǎn)生的可能性性，即粒子的的滲透、氣體體滯區(qū)、氣體體泄漏以及含含濕、氧化腐腐蝕等。此外，凡是與與應(yīng)用氣體接接觸的部分，，均不得含有有塑料制品，，充分體現(xiàn)出出以微電子為為條件。為滿(mǎn)足這一要要求，系統(tǒng)內(nèi)內(nèi)表面加以處處理，可減少少可能的污染染源，目前，，研磨與電拋拋光是系統(tǒng)內(nèi)內(nèi)表面處理最最佳方式，如如果在機(jī)械加加工后經(jīng)電拋拋光，則系統(tǒng)統(tǒng)內(nèi)表面的粗粗糙度可以得得到較大地改改善，請(qǐng)看下下面實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)：機(jī)械加工方式電拋光前Ra（m）電拋光后Ra（m）鉆0.34-7.200.30-5.99鉆和絞0.29-2.290.22-1.82鉆、絞、軋制、研磨0.20-1.160.10-0.42鉆、絞、精密加工0.56-1.500.30-0.96鉆、絞、軋制、研磨、精密加工0.12-0.860.24-0.34車(chē)削0.24-1.600.14-0.72車(chē)削、精密加工0.20-2.000.10-0.43所以在在一些些要求求較高高的工工藝用用氣地地點(diǎn)或或場(chǎng)合合，要要求管管道材材質(zhì)為為不銹銹鋼的的同時(shí)時(shí)，內(nèi)內(nèi)表面面要經(jīng)經(jīng)過(guò)拋拋光或或研磨磨處理理，其其光潔潔程度度達(dá)到到了微微米或或亞微微米級(jí)級(jí)水平平，這這樣才才可以以防止止液滴滴、固固體粒粒子在在表面面滯留留，而而且極極大地地降低低磨阻阻損耗耗，因因而在在氣流流沖刷刷與磨磨檫下下，管管道本本身不不會(huì)產(chǎn)產(chǎn)生金金屬粒粒子污污染。有的時(shí)時(shí)候，，有人人僅在在在管管道內(nèi)內(nèi)表面面做鈍鈍化處處理，，覺(jué)得得既經(jīng)經(jīng)濟(jì)又又簡(jiǎn)單單，實(shí)實(shí)踐表表明，，在短短期內(nèi)內(nèi)鈍化化是有有效的的，經(jīng)經(jīng)過(guò)一一個(gè)階階段的的運(yùn)行行，內(nèi)內(nèi)表面面的鈍鈍化膜膜、甚甚至金金屬鍍鍍層，，都會(huì)會(huì)在氣氣流的的沖刷刷下磨磨損殆殆盡，，成為為被潔潔凈氣氣流所所裹挾挾的金金屬粒粒子污污染物物。所以，，高純純度、、高潔潔凈、、高干干燥度度的三三高氣氣體，，我們們建議議大家家采用用EP潔凈管管（Electro-Polishcleanpipes），即內(nèi)表面面經(jīng)過(guò)過(guò)研磨磨、拋拋光處處理的的00Cr17Ni14Mo2類(lèi)不銹銹鋼管管材；；可以以采用用BA潔凈管管（BrightnessAnnealcleanpipes）即在生生產(chǎn)工工藝中中，經(jīng)經(jīng)過(guò)特特殊拉拉拔、、表面光光亮退退火處處理的的0Cr18Ni9、、00Cr17Ni12Mo2類(lèi)類(lèi)不不銹鋼鋼管材材。要在“細(xì)微微之處處見(jiàn)精精神””，為為了保保證““三高高”氣氣體體參數(shù)數(shù)的穩(wěn)穩(wěn)定，，我們們盡最最大的的可能能，減減少設(shè)設(shè)置在在工藝藝設(shè)備備附近近供氣氣裝置置氣瓶瓶的更更換次次數(shù)，，有效效地控控制與與減少少大氣氣污染染。配管中中，具具有分分支接接頭的的氣體體輸配配系統(tǒng)統(tǒng)，要要求其其管段段端面面的連連接采采用自自動(dòng)焊焊接，，盡最最大可可能確確保安安裝工工作無(wú)無(wú)粒子子及大大氣的的污染染。接著管管材的的話(huà)題題，必必須說(shuō)說(shuō)一下下過(guò)濾濾器，，過(guò)濾濾器也也是氣氣系統(tǒng)統(tǒng)的重重要組組成部部分。。在過(guò)過(guò)濾器器內(nèi)，，無(wú)論論是濾濾紙或或?yàn)V膜膜、還還是纖纖維濾濾材組組成的的過(guò)濾濾元件件，都都是人人為地地造就就濾材材纖維維縱橫橫交錯(cuò)錯(cuò)，層層層疊疊疊排排列，，氣流流在濾濾層內(nèi)內(nèi)迂回回、繞繞轉(zhuǎn)，，通過(guò)過(guò)濾材材構(gòu)成成的彎彎彎曲曲曲通通路，，這樣樣，即即增大大過(guò)濾濾表面面積，，又構(gòu)構(gòu)成了了氣流流中粒粒子難難以逾逾越的的物理理屏障障。潔凈室室內(nèi)終終端多多設(shè)有有有機(jī)機(jī)膜過(guò)過(guò)濾器器，對(duì)對(duì)于清清除污污染物物粒子子是有有效的的，一一個(gè)時(shí)時(shí)期以以來(lái)應(yīng)應(yīng)用的的很普普遍，，但是是，這這種膜膜本身身可以以產(chǎn)生生和散散發(fā)出出微量量的有有機(jī)物物質(zhì)，，這對(duì)對(duì)于一一些工工藝系系統(tǒng)便便構(gòu)成成了威威脅，，于是是又用用全不不銹鋼鋼過(guò)濾濾器或或稀有有陶瓷瓷、微微孔玻璃過(guò)過(guò)濾器器。通通過(guò)對(duì)對(duì)膜過(guò)過(guò)濾器器與全全不銹銹鋼金金屬過(guò)過(guò)濾器器釋放放氣體體的特特性進(jìn)進(jìn)行比比較，，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)用高高純氮氮?dú)獯荡祾呷坎徊讳P鋼鋼過(guò)濾濾器，，與用用有機(jī)機(jī)溶劑劑清洗洗管道道的效效果是是完全全一致致的，，也就就是說(shuō)說(shuō)，即即無(wú)解解析，，又無(wú)無(wú)脫氣氣表面面產(chǎn)生生，成成為““絕對(duì)對(duì)過(guò)濾濾器””，從從而，，當(dāng)過(guò)過(guò)濾器器內(nèi)表表面與與有污污染的的工藝藝氣體體接觸觸時(shí)，，基本本不產(chǎn)產(chǎn)生吸吸附和和解析析的過(guò)過(guò)程與與惡果果，而而攔截截下來(lái)來(lái)的粒粒子也也不會(huì)會(huì)脫落落。醫(yī)藥行業(yè)采采用各種形形式的微孔孔濾膜過(guò)濾濾器與活性性炭過(guò)濾器器組合，用用以除菌、、減少固體體微粒和懸懸浮雜質(zhì)，，克服氣體體異味，提提高產(chǎn)品合合格率，確確保人身健健康。從嚴(yán)嚴(yán)格意義上上來(lái)說(shuō)，微微孔濾膜是是一種高分分子聚合物物在特殊工工藝條件下下制成的一一種篩網(wǎng)型型精密濾材材。由于濾濾膜具有較較大的靜電電荷與機(jī)械械強(qiáng)度，因因此可以?xún)魞艋瘹庠椿蚧蚋患瘹馊苋苣z。由于于濾膜與微微粒之間的的靜電引力力，可以分分離比濾膜孔徑小小5倍的微微塵粒子。。在醫(yī)藥行業(yè)業(yè)中，因?yàn)闉槲⒘．愇镂锸强纱x的的物質(zhì)，比比如注射液液中的微塵粒子可以以引發(fā)的臨臨床病理現(xiàn)現(xiàn)象：較大的微塵塵粒子可以以直接造成成血管閉塞，引起起局部缺血血或水腫。b.由于紅血球球積聚在異異物上形成成血栓，從而導(dǎo)導(dǎo)致血管堵堵塞和靜脈脈炎。c.異物浸入組組織，由于于巨噬細(xì)胞胞的包圍和和增殖引起起肉芽腫。。d.微塵粒子可可以引發(fā)過(guò)過(guò)敏反應(yīng)。。因此，醫(yī)藥藥制藥、手手術(shù)室等與與微電子行行業(yè)一樣，，對(duì)所用的的氣體（空空氣、氧氣氣等）的過(guò)過(guò)濾、凈化化給與高度度重視。關(guān)于過(guò)濾器器，建議大大家看看《中國(guó)工業(yè)業(yè)氣體大全全，氣體的過(guò)濾與凈凈化的章節(jié)節(jié)》6.1、一一般規(guī)定6.1.1本章適用于于潔凈室及及相關(guān)受控控環(huán)境（以以下簡(jiǎn)稱(chēng)潔潔凈室）工工作壓力不不高于1MPa潔凈凈的和高純純的永久氣氣體、特種種氣體、醫(yī)醫(yī)用氣體、、可燃?xì)怏w體、惰性氣氣體輸送管管道以及真真空管道等等的施工驗(yàn)驗(yàn)收。這一條，主主要強(qiáng)調(diào)規(guī)規(guī)范中氣系系統(tǒng)適用范范圍，一是氣體壓壓力，潔凈凈室內(nèi)氣體體管道的使使用壓力一一般都比較較低，雖然然也有氣瓶瓶供氣，但但多為降壓壓使用，通通過(guò)多年實(shí)實(shí)踐表明，，使用壓力力范圍在1MPa以以下的壓力力管道系統(tǒng)統(tǒng)，就能夠夠滿(mǎn)足潔凈凈室工藝使使用要求。。二是潔凈室室內(nèi)氣體的的品種較多多，潔凈的的、高純的的、永久氣氣體、特種種氣體、醫(yī)醫(yī)用氣體、、可燃?xì)怏w體、惰性氣氣體等。這里又出現(xiàn)現(xiàn)了一些新新的概念：：永久氣體：：臨界溫度低低于-10℃的氣體體，如空氣氣、氧、氮氮、氦、甲甲烷、一氧氧化碳等。。也有人稱(chēng)稱(chēng)為常用氣體、、大宗氣體體等，按化工部標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一為為永久氣體。特種氣體：：為滿(mǎn)足特定定用途的氣氣體，包括括單一氣體體或混合氣氣體。單一氣體約約259種種，其中電電子氣115種，有有機(jī)氣63種，無(wú)機(jī)機(jī)氣35種種，鹵碳素素氣29種種，同位素素氣17種種。醫(yī)用氣體：：醫(yī)療、診斷斷、預(yù)防等等醫(yī)學(xué)方面面使用的氣氣體。潔凈氣體：：含微粒的數(shù)數(shù)量相同或或高于使用用的潔凈環(huán)環(huán)境潔凈等等級(jí)的氣體體?？扇?xì)怏w：：凡遇火、受受熱或與氧氧化氣體接接觸能夠燃燃燒或爆炸炸的氣體，，統(tǒng)稱(chēng)為可可燃?xì)怏w。?？扇?xì)怏w按按照其燃爆爆濃度極限限的下限高高低可分為為兩級(jí)：一級(jí)可燃?xì)鈿怏w、二級(jí)級(jí)可燃?xì)怏w體。一級(jí)可燃?xì)鈿怏w：系指與空空氣混合的的燃爆濃度度下限等于于或低于10%的可可燃?xì)怏w，，如氫、乙炔、、甲烷、乙乙烯、環(huán)氧氧乙烷、氯氯乙烯、水水煤氣、天天然氣、液液化石油氣氣等。二級(jí)可燃?xì)鈿怏w：系指與空空氣混合的的燃爆濃度度下限高于于10%的的可燃?xì)怏w體，如氨、、一氧化碳碳等少數(shù)氣氣體。惰性氣體：：在正常溫度度或壓力下下,與其他他物質(zhì)無(wú)反反應(yīng)的氣體體,一般不不涉及有害害性，如氬氬、氦、氖氖、氪、疝疝等。窒息性氣體體：當(dāng)供氧低于于18%時(shí)時(shí)，非可燃?xì)怏w體（氮、氬氬、氦、氖氖、氪、疝疝等）、即即使是可燃燃?xì)怏w（氫氫、甲烷、、液化石油油氣、丙烷烷、正丁烷烷、乙烷、、乙烯等）），甚至助助燃?xì)怏w（（一氧化二二氮）都將將成為無(wú)毒毒的窒息性氣體體。6.1.2氣系統(tǒng)的施施工單位應(yīng)應(yīng)具有壓力力管道施工工資質(zhì)，焊焊工應(yīng)具有有主管部門(mén)門(mén)頒發(fā)的上上崗證。高純、潔凈凈氣體管道道的施工不不同于一般般工業(yè)管道道，其質(zhì)量量的優(yōu)劣，，不僅與產(chǎn)產(chǎn)品合格率率息息相關(guān)關(guān)，甚至關(guān)關(guān)系到人員員的生命與與國(guó)家財(cái)產(chǎn)產(chǎn)的安全。。因此，強(qiáng)調(diào)氣系統(tǒng)統(tǒng)要按著“配管的先先進(jìn)性、安安裝的嚴(yán)肅肅性、管理理的科學(xué)性性、測(cè)試的的有效性””全方位提升升、整體控控制的原則則進(jìn)行，這這樣，使我我們潔凈技技術(shù)，緊緊緊跟蹤世界界供氣技術(shù)術(shù)前進(jìn)的步伐。為此，作為為現(xiàn)代生產(chǎn)產(chǎn)“超凈環(huán)環(huán)境”的氣氣系統(tǒng)的施施工操作，，實(shí)施市場(chǎng)場(chǎng)準(zhǔn)入制度度，不僅要要求專(zhuān)業(yè)工工廠全面負(fù)負(fù)責(zé)管材及及其附件的的生產(chǎn)、加加工，還要要由有資質(zhì)質(zhì)的專(zhuān)業(yè)施施工隊(duì)伍來(lái)來(lái)安裝，不不僅技術(shù)高高超，而且且，理解安安裝工作對(duì)對(duì)于確保輸輸送介質(zhì)質(zhì)質(zhì)量的意義義，具有嚴(yán)嚴(yán)謹(jǐn)務(wù)實(shí)、一絲絲不茍的工工作態(tài)度，，從而才能夠自覺(jué)地地建成一組組超生產(chǎn)工工藝要求的的、確保產(chǎn)產(chǎn)品可靠性性、便于產(chǎn)產(chǎn)品更新、、具有應(yīng)變變能力的氣氣系統(tǒng)。（062工工程案例））潔凈技術(shù)是是多種前沿沿技術(shù)的集集成。首先要要精心設(shè)計(jì)計(jì)，為此，，潔凈廠房房設(shè)計(jì)規(guī)范范對(duì)設(shè)計(jì)人人員的設(shè)計(jì)計(jì)提出了要要求。但圖圖紙落實(shí)到到實(shí)際，要要依托精心施施工，同時(shí)時(shí)，需要科科學(xué)的管理理，指導(dǎo)正正確的運(yùn)行行。設(shè)計(jì)、施工工、管理，，三個(gè)環(huán)節(jié)節(jié)缺一不可可。6.2管管材及附件件6.2.1氣體輸送系系統(tǒng)管道材材質(zhì)及附件件，應(yīng)按設(shè)設(shè)計(jì)要求選選配，如設(shè)設(shè)計(jì)未作明明確要求，，選用時(shí)應(yīng)應(yīng)與潔凈室室潔凈度級(jí)級(jí)別和輸送送氣體性質(zhì)質(zhì)相適應(yīng)，，比如，在在1級(jí)潔凈凈室氣系統(tǒng)統(tǒng)，你采用用普通無(wú)縫縫鋼管、純純度為五個(gè)個(gè)“9”高高純氣，你你采用焊接接鋼管等，，這就不行，管材選選用要遵循循一定的原原則：●必須使用無(wú)無(wú)縫不銹鋼管；●管材內(nèi)表面面吸附、解解吸氣體的的作用小小；●管材內(nèi)表面面光滑、耐耐磨損；●具有良好的的抗腐蝕性性能；●管材金屬組組織在焊接接處理時(shí)不不發(fā)生變化化；●真空管道不不得采用普普通碳鋼管管。使用地點(diǎn)一般潔凈要求6-9級(jí)潔凈室1-5級(jí)潔凈室一般場(chǎng)所有潔凈、干燥要求一般場(chǎng)所有潔凈、干燥要求一般場(chǎng)所有潔凈、干燥要求焊接鋼管（GB3091）××××××無(wú)縫鋼管（GB/T8163、GB5130、GB3087）××××××不銹鋼板卷焊管〇〇××××不銹鋼焊接鋼管（GB12771）××××××不銹鋼無(wú)縫鋼管（GB/T14976）√√√√√√銅及銅合金拉制管（GB1527）〇〇××××銅及銅合金擠制管（GB1528）〇〇××××對(duì)于潔凈室室的供氣系系統(tǒng)來(lái)講，，潔凈室的的潔凈等級(jí)級(jí)，通常是是我們氣系系統(tǒng)控制輸輸送氣體污污染物量級(jí)級(jí)的重要依依據(jù)。管道道設(shè)計(jì)未加加特別注明明時(shí)，氣體體潔凈度的的控制應(yīng)與與使用空間間的潔凈等等級(jí)保持一一致或高些些，也就是是說(shuō)，不能能因?yàn)槭褂糜昧速|(zhì)量不不高的氣體體，使得氣體中中污染物，，造成管路路系統(tǒng)或潔凈生產(chǎn)空空間的污染染或損害。。這種情況的的發(fā)生，多多是設(shè)計(jì)或或施工出現(xiàn)現(xiàn)了問(wèn)題，，因?yàn)楣赓|(zhì)質(zhì)量與潔凈凈室的潔凈凈等級(jí)，都都是按著同同一個(gè)工藝藝需求確定定的，兩者者之間應(yīng)當(dāng)當(dāng)是協(xié)調(diào)、、統(tǒng)一的，，所以正常常情況下，，不應(yīng)出現(xiàn)現(xiàn)上述現(xiàn)象象。下面，以1級(jí)潔凈室室微電子生生產(chǎn)環(huán)境污污染狀況為為例，硅片片上的污染染狀況經(jīng)測(cè)測(cè)定：氣體與化學(xué)學(xué)試劑占23%氣體與化學(xué)學(xué)試劑在潔潔凈室的污污染占23%，所以以，潔凈室室的設(shè)計(jì)與與施工，采采用劣質(zhì)材材料，以次次充好、以以低代高，，到頭來(lái)潔潔凈室不達(dá)達(dá)標(biāo)，吃苦苦頭的是自自己。在設(shè)設(shè)計(jì)上有時(shí)僅僅依依靠對(duì)氣體體生產(chǎn)設(shè)備備或氣體凈凈化設(shè)備的的精度要求求無(wú)限拔高高，從而來(lái)來(lái)彌補(bǔ)設(shè)計(jì)計(jì)上、施工工中的缺憾憾，也是不不容許的。。潔凈室施工工，必須做做到“嚴(yán)嚴(yán)肅認(rèn)真、、周到細(xì)致致、穩(wěn)妥可可靠、萬(wàn)無(wú)無(wú)一失”。。這個(gè)口號(hào)號(hào)是周總理理對(duì)航天工工作的指示示，今天用用在潔凈室室的設(shè)計(jì)與與施工是再再合適不過(guò)過(guò)。因?yàn)闅怏w質(zhì)質(zhì)量，除取取決于制氣氣或凈化設(shè)設(shè)備的精度度外，在很很大程度上上受到管路系系統(tǒng)諸多因因素的影響響，因此，，管材的使使用與選取取，應(yīng)恪守守一定的原原則：1、管材的透氣氣性要小對(duì)于不同材材質(zhì)的管道道，其透氣氣性能不同同，如果管管材本身透透氣性較大大，而不恰恰當(dāng)?shù)刈髁肆诉x用，那那么，我們們無(wú)論采取取任何處理理手段去除除污染，都都是無(wú)濟(jì)于于事的。

管材透氣性能（大氣中氧的滲透ppmv/v）不銹鋼管0銅管0聚丙烯管11聚乙烯化合物27天然橡膠40幾種管材的的透氣性能能比較1）防止大氣中中氧的滲透透，不銹鋼鋼管和銅管管最佳。潔凈室氣體體管道如果果存在表面面的滲透，，那么，外外界氣體就就會(huì)通過(guò)管管材表面滲滲透到管內(nèi)內(nèi)高純介質(zhì)質(zhì)中去，從從而用氣點(diǎn)點(diǎn)處的不純純物的濃度度會(huì)隨著氣氣體流量的的不同而發(fā)發(fā)生變化。。在一組全部部為金屬材材質(zhì)的支管管線(xiàn)，內(nèi)表表面經(jīng)過(guò)處處理，如果果采用不同同流量的高高純氮?dú)?，，在潔凈室室入口和出出口，所反反映出?lái)的的單位體積氣體中的水水分、含氧氧量，以及及CO2的濃度不同同了，說(shuō)明明存在著外外部環(huán)境氣氣體的污染染。如果在在入口和出出口所獲得得的氣體純純度、潔凈凈度完全相相同、沒(méi)變變化，那么么顯然不存存在外部氣氣體對(duì)管內(nèi)內(nèi)介質(zhì)的污污染。這種種成功，主主要?dú)w因于于管材本身身的滲透性性要小。2）潔凈氣體往往往是通過(guò)過(guò)干燥與凈凈化處理的的，那末，，如果氣體體中的含濕濕量增加了了，水分來(lái)來(lái)自何方？？主要來(lái)自自管路系統(tǒng)統(tǒng)，而管路路系統(tǒng)中的的水分，在在很大程度度上受周邊邊環(huán)境濕度度的影響，，滲透對(duì)管管路內(nèi)的氣氣質(zhì)有很大大破壞力。。下面看對(duì)700mm長(zhǎng)管路路中精氬氣氣體水分的測(cè)定定情況：周邊大氣濕度％管路中水分變化（ppmV）橡膠管銅管聚乙烯管8044096.232,284490249449270028985前邊講了防止大氣中中氧的滲透透和腐蝕，，銅管材很很好，但是是普通銅管管對(duì)水分的的滲透較強(qiáng)強(qiáng)，內(nèi)表面面對(duì)雜質(zhì)，，尤其對(duì)水水分的活性性很高，因因此，使用用這種管材材是有條件件的，切忌忌用溶劑或或化學(xué)藥品品清洗，而而應(yīng)當(dāng)用純純凈氣體吹吹掃。3）在微電子生生產(chǎn)中，個(gè)個(gè)別生產(chǎn)工工藝，如砷砷化鎵的操操作，為了了防止產(chǎn)生生器件電阻阻，不允許許使用銅質(zhì)質(zhì)管路及其其附件，所所以，必須須了解工藝藝性質(zhì)，做做到有的放放矢。4)由于管道安安裝的受控控環(huán)境可能能在室外，，環(huán)境空氣氣有一定的的濕度，對(duì)對(duì)銅管也有有一定的影影響，所以以，使用銅銅管時(shí)，對(duì)對(duì)銅管的吹吹掃時(shí)間應(yīng)應(yīng)延長(zhǎng)，一一般為不銹銹鋼管的8-20倍倍，要特別別注意的。。5)不銹鋼管材材的活性比比銅管差，，所以對(duì)要要求較高的的高純、超超凈氣體管管路，不銹銹鋼管是一一種理想的的管材，對(duì)對(duì)于在ISOClass1-5級(jí)潔潔凈室內(nèi)，，或ppb級(jí)管路系系統(tǒng)應(yīng)采用用00Cr17Ni14Mo2不銹鋼鋼管。6)對(duì)于ISOClass6-9級(jí)管管路系統(tǒng)統(tǒng)，視要要求的高高低可以以采用0Cr17Ni12Mo2或或者0Cr18Ni9不銹鋼鋼管。7)對(duì)氧氣管管路系統(tǒng)統(tǒng)還是應(yīng)應(yīng)當(dāng)根據(jù)據(jù)使用條條件和周周邊狀況況，可以以采用銅銅管，如如果氧氣氣管路使使用普通通碳鋼管管，碳鋼鋼管在氧氧氣作用用下是可可以燃燒燒的，美美國(guó)“世世貿(mào)大廈廈”就是是典型事事例，所所以普通通碳鋼管管管路中中要適當(dāng)當(dāng)加銅管管段用來(lái)來(lái)阻燃，，因?yàn)殂~銅管阻燃燃。對(duì)于乙炔炔管，限限制使用用銅管及及附件，，因?yàn)榭煽梢陨沙梢胰层~銅爆炸物物。2、管材內(nèi)表面吸附附、解吸氣體體的作用要要小在不銹鋼鋼熔煉制制材過(guò)程程中，每每噸可吸吸收大約約200g的氣氣體。所所以，不不銹鋼材材加工完完畢，不不僅其表表面粘有有各種污污染物，，而且在在其金屬屬晶格內(nèi)內(nèi)也吸留留有一定定量的氣氣體。這這樣，當(dāng)當(dāng)管路中中有氣流流通過(guò)時(shí)時(shí)，金屬屬所吸留留的這部部分氣體體會(huì)重新新進(jìn)入氣氣流中，，污染純純凈氣體體。尤其其當(dāng)管內(nèi)內(nèi)氣流為為不連續(xù)續(xù)流動(dòng)時(shí)時(shí)，這類(lèi)類(lèi)材料的的作用好好比吸附附劑，通通過(guò)氣流流時(shí)，管材材對(duì)所通通過(guò)的氣氣體形成成壓力下下吸附，，氣流停停止通過(guò)過(guò)時(shí)，管管材所吸吸附的氣氣體又形形成降壓壓解析，，而解析析的氣體體同樣作作為雜質(zhì)質(zhì)進(jìn)入管管內(nèi)純凈凈氣體中中。同時(shí)時(shí)，吸附附、解析析周而復(fù)復(fù)始，使使得管材材內(nèi)表面面金屬也也會(huì)產(chǎn)生生一定的的粉沫，，這種金金屬粉塵塵粒子同同樣污染染管內(nèi)純純凈的氣氣體。因此，要要保持潔潔凈室管管路系統(tǒng)統(tǒng)連續(xù)供供氣，即即使在生產(chǎn)工藝藝部門(mén)不不需要?dú)鈿怏w時(shí),如非生生產(chǎn)班、、節(jié)假日日等,也也要保證證高純、、潔凈氣氣體輸配配管路系系統(tǒng)內(nèi)有有小股氣氣流通過(guò)過(guò),至管管路系統(tǒng)統(tǒng)末端排排放,杜杜絕那種種全送全全停的間間歇供氣氣方式,從而避避免供氣氣時(shí),管管材及其其管路附附件(接接頭、閥閥門(mén)、儀儀表等),在在壓力下下對(duì)氣體體產(chǎn)生吸吸附,而而在停氣氣時(shí),又又出現(xiàn)降降壓解析析,吸附附、解析析，污染染物被高高純凈氣氣體裹挾挾，從而而破壞氣氣體的質(zhì)質(zhì)量。再次啟動(dòng)動(dòng)送氣時(shí)時(shí),管路路受到壓壓力氣流流的沖擊擊,這種種沖擊相相當(dāng)管路路系統(tǒng)本本身受到到敲打、、振動(dòng),那么會(huì)會(huì)使粉塵塵由盲區(qū)區(qū)的滯留留地點(diǎn),如系統(tǒng)統(tǒng)中閥門(mén)門(mén)滑動(dòng)部分分、密封封填料的的油污、、甚至過(guò)過(guò)濾器中中脫落的的微塵粒粒子等,便會(huì)又又一次被被裹脅進(jìn)進(jìn)入純凈凈氣流中中,使氣氣質(zhì)惡化化。在各個(gè)用用氣地點(diǎn)點(diǎn),一般般都會(huì)設(shè)設(shè)置終端端過(guò)濾器器用以清清除微塵塵粒子,這在一一定程度度上是有有效的,但是不不可過(guò)分分的信賴(lài)賴(lài),因?yàn)闉?在動(dòng)動(dòng)態(tài)氣體體穩(wěn)定的狀況下、、連續(xù)使使用時(shí)情情況尚佳佳,但在在斷斷續(xù)續(xù)續(xù)地供供氣中,在停氣氣后再次次啟動(dòng)時(shí)時(shí),在過(guò)過(guò)濾器的的下游,短時(shí)間間內(nèi)會(huì)出出現(xiàn)數(shù)量量幾倍甚甚至幾十十倍大于于過(guò)濾器器精度的的微塵粒粒子,并并且要經(jīng)經(jīng)過(guò)連續(xù)續(xù)運(yùn)行很很長(zhǎng)時(shí)間間才能得得以恢復(fù)復(fù)正常。。3、內(nèi)表面光滑、、耐磨損管材的這這一特性性至關(guān)重重要,為為了確保保輸送的的氣體的的純凈度度，不僅僅要求管管材內(nèi)表表面有一一個(gè)極高高的光滑滑度，而而且，應(yīng)應(yīng)當(dāng)具有有很高的的耐磨特特性。這這樣，防防止污染染粒子及及濕氣在在管壁滯滯留，管管材本身身在氣流流的高速速?zèng)_刷（（擊）下下，由于于磨阻損損耗低，也避免了了管材的的金屬粉粉末進(jìn)入入氣流中中，造成成氣體的的污染。。在這方面面，不銹銹鋼管和和銅管有有不同的的表現(xiàn)。。

管材氮?dú)庋鯕饬剑é蘭）粒/英尺3粒徑（μm）粒/英尺3銅管0.12—0.8297000.12—0.825650不銹鋼管（316L）0.12—0.8125000.12—≥0.818500管材含塵塵量比較較1)不銹鋼管管的耐磨磨性能優(yōu)優(yōu)于銅管管，在氣氣流沖刷刷下產(chǎn)生生的金屬屬粉塵相相對(duì)也少少，所以以我們強(qiáng)強(qiáng)調(diào)，在在潔凈度度要高的的場(chǎng)合用用316L、304，，而不用用銅管材材。2)對(duì)于純度度99.99%以上或或ppb級(jí)的管管路系統(tǒng)統(tǒng)，或在在ISOClass1-5級(jí)潔凈凈室內(nèi)時(shí)時(shí)，應(yīng)當(dāng)當(dāng)采用EP超潔潔凈管，，ISOClass6-9級(jí)潔凈凈室內(nèi)，，采用EP或BA潔凈凈管，級(jí)別外徑(mm）內(nèi)表面粗糙度(Rmax)備注BA潔凈管∠1.27∠1.6μm特殊拉拔光亮退火12.7—25.4∠3.2μm≮25.4∠6.5μmEP潔凈管9.35∠1.0μm（0.2-0.8）內(nèi)面研磨、拋光EP超潔凈管≤12.7∠0.24μm（0.2-0.8）內(nèi)面研磨、拋光內(nèi)面超光光滑潔凈凈管3)為提高內(nèi)內(nèi)表面的的相對(duì)粗粗糙度，，要在管管材生產(chǎn)產(chǎn)工藝中中加以解解決，如如特殊拉拉拔、光光亮退火火，內(nèi)面面研磨拋拋光等，，因此要要使用成成品專(zhuān)用用管。（北京工程程案例））4、具有有良好的抗腐蝕蝕性能在生產(chǎn)工工藝中，，使用腐腐蝕性較較強(qiáng)的氣氣體時(shí)時(shí)，必須須選用耐耐腐蝕的的不銹鋼鋼管材作作配管，，否則，，管材將將會(huì)由于于腐蝕而而在內(nèi)表表面產(chǎn)生生腐蝕斑斑，嚴(yán)重重時(shí)會(huì)出出現(xiàn)大片金屬屬剝離甚甚至穿孔孔，從而而污染輸輸配的純凈凈氣體。。潔凈室內(nèi)內(nèi)不得使使用普通通無(wú)縫鋼鋼管或鍍鍍鋅焊接接鋼管。。即使為不不銹鋼管管材，還還需注意意設(shè)計(jì)圖圖紙有無(wú)無(wú)注明使使用管材材的牌號(hào)號(hào)與成份份及國(guó)家家標(biāo)準(zhǔn)號(hào)號(hào)，如未未注明，，應(yīng)當(dāng)要要求設(shè)計(jì)計(jì)人員予予以提供供。不銹鋼管管材牌號(hào)號(hào)眾多，，性能差差異極大大。工程案例例：貴州某工工程不銹鋼管管管路系系統(tǒng)安裝裝不到兩兩年，在在投產(chǎn)時(shí)時(shí)則發(fā)現(xiàn)現(xiàn)管材已已經(jīng)銹穿穿，不能能使用。。不銹鋼材材是耐腐腐蝕的呀呀？為啥啥會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)這種情情況？原來(lái)由于于設(shè)計(jì)圖圖紙的疏疏忽，僅僅寫(xiě)不銹銹鋼管，，但未注注明使用用管材的的牌號(hào)、、成份及及國(guó)家標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)，，施工單單位安裝裝時(shí)，用用2字字頭不銹銹鋼管材材替代了了3字頭頭不銹鋼鋼管材。。2字頭不不銹鋼管管材成份份中不含含Ni，，價(jià)格大大絳，強(qiáng)強(qiáng)度雖沒(méi)沒(méi)問(wèn)題，，但不耐耐腐蝕，，而3字字頭不銹銹鋼管材材成份內(nèi)內(nèi)含有Ni耐腐腐蝕。5、在焊焊接處理理時(shí)管材材組織不不發(fā)生變變化大流量的的高純、、高潔凈凈度氣體體輸配管管道的連連接，原原則上全全部采用用焊接，，因此要要求采用用的管材材，在施施焊時(shí)，，組織不不發(fā)生變變化。如如果選用用鋼管，，則低碳碳鋼管材材（316）較較為適宜宜，否則則，含碳碳過(guò)高的的材料在在焊接時(shí)時(shí)，受焊焊接熱影影響的部部位產(chǎn)生生局部腐腐蝕應(yīng)力力，或造造成焊接接部位的的透氣，，使得管管內(nèi)外氣氣體的相互滲滲透，破破壞輸送送氣體的的純度、、干燥度度和潔凈凈度，導(dǎo)導(dǎo)致我們們的各項(xiàng)項(xiàng)努力全全部失去去意義。6.2.2所用管材材應(yīng)放在在室內(nèi)保保管，應(yīng)應(yīng)當(dāng)有專(zhuān)專(zhuān)設(shè)的貨貨架碼放放，而且且不得重重疊。管管道的表表面應(yīng)無(wú)無(wú)裂紋、、縮孔、、夾渣、、起瘤、、折疊、、重皮、、銹斑等等缺陷。。管道應(yīng)應(yīng)平直、、圓滑、、無(wú)局部部凹陷、、刮傷、、碰傷、、擠壓等等損傷。。6.2.3成品潔凈凈管外包包裝和相相應(yīng)管端端頭的管管帽、堵堵頭等密密封措施施應(yīng)當(dāng)有有效、無(wú)無(wú)破損。。6.2.4氧氣閥門(mén)門(mén)必須采采用專(zhuān)用用產(chǎn)品，，其密封圈圈應(yīng)采用用有色金金屬、不不銹鋼及及聚四氟乙乙烯等材材質(zhì)。填填料用經(jīng)經(jīng)脫脂處處理的聚四四氟乙烯烯。6.2.5管道的附附件、儀儀表及過(guò)過(guò)濾器等，其材材質(zhì)、型型號(hào)和規(guī)規(guī)格應(yīng)符符合設(shè)計(jì)計(jì)要求，并并有出廠廠合格證證書(shū)。6.2.6采用銅材材的高純純氣體管管路，可可用不銹銹鋼材質(zhì)質(zhì)的附件件，但在在不銹鋼鋼材質(zhì)的的管路中中，不得得采用銅銅質(zhì)的附附件。這里的6.2.2-6.2.6條款,針對(duì)潔潔凈室內(nèi)的管材使用用的特殊性，，從進(jìn)貨、驗(yàn)驗(yàn)證、保存、下下料、焊接、、裝配、試壓、吹除、運(yùn)運(yùn)行等環(huán)節(jié),都要嚴(yán)格要要求與控制。所有有這些過(guò)程控控制，都是管管道系統(tǒng)質(zhì)量的的基本技術(shù)保保障條件，因因此，施工中必必須一絲不茍茍、嚴(yán)肅對(duì)待。1）管路系統(tǒng)的管管材、閥門(mén)及及所有附件，必須嚴(yán)格格按照設(shè)計(jì)要要求選用，施施工方或建設(shè)單單位都不得隨隨意更改或代代換。2）所用管材到貨貨后，應(yīng)放在在室內(nèi)精心保管，潔凈管材十分分珍貴，進(jìn)貨貨不能像普通管材那那樣隨意碼放放，要防止磕磕碰、擠壓、變變形、變彎，，更重要的是是保持內(nèi)表面的的粗糙度與光光滑不受破壞壞。3）管段端頭要有有塑料或橡膠膠的密封罩蓋蓋加以密封，，不得脫落、、破裂。4）管子、管件、、閥門(mén)等，使使用前，詳實(shí)地進(jìn)行外觀觀檢查：無(wú)裂紋、縮孔孔、折疊、重重皮等缺陷。。無(wú)銹蝕、銹斑斑等現(xiàn)象。管子應(yīng)當(dāng)平直直、圓滑、無(wú)無(wú)局部凹陷、、無(wú)壓入物，，無(wú)刮傷、碰碰傷、擠壓等等缺陷。管材內(nèi)表面的的“粗糙度””是否與設(shè)計(jì)計(jì)選用要求相相符，螺紋處處密封、保護(hù)護(hù)是否良好。。外購(gòu)成品“EP、BA潔凈管”要有有出廠合格證書(shū)及生產(chǎn)單單位的相關(guān)等等級(jí)證書(shū)和生生產(chǎn)相關(guān)的資資質(zhì)證明。對(duì)對(duì)進(jìn)貨管材，，應(yīng)隨機(jī)抽取取各種規(guī)格的的管材，截取取一定的管段段，并沿著軸向剖剖開(kāi)后，對(duì)照照樣板，驗(yàn)證證內(nèi)表面的相相對(duì)粗糙度（（Rmax））是否與設(shè)計(jì)計(jì)相符，是否否與出廠合格格證書(shū)標(biāo)注的的內(nèi)容與精度度相符。由于特殊拉拔拔工藝生產(chǎn)的的“BA”管管及“EP”管，加加工工藝復(fù)雜雜，價(jià)格昂貴貴。市場(chǎng)“潔潔凈管”良莠莠不齊，質(zhì)量量也相差甚遠(yuǎn)遠(yuǎn)，我們必須須進(jìn)行相應(yīng)的的粗糙度的檢檢測(cè)，驗(yàn)證其其可靠性與真真實(shí)性，保證證施工有一個(gè)個(gè)高起點(diǎn)。不銹鋼管的耐耐磨性能優(yōu)于于銅管，在氣氣流沖刷下產(chǎn)產(chǎn)生的金屬粉粉塵相對(duì)也少少，對(duì)潔凈度度要求高的場(chǎng)場(chǎng)合使用不銹銹鋼管316L、316、304，，不采用銅管管材。銅管內(nèi)表面對(duì)對(duì)雜質(zhì)，尤其其對(duì)水分的活活性很高，因因此，當(dāng)使用用這類(lèi)管材時(shí)時(shí)，切忌用溶溶劑或化學(xué)藥藥品清洗，而應(yīng)當(dāng)當(dāng)用純凈氣體體吹掃，清洗洗也比不銹鋼鋼材難度大。。而且在微電子子生產(chǎn)中，個(gè)個(gè)別生產(chǎn)工藝藝，如砷化鎵鎵的操作，為為了防止產(chǎn)生生器件電阻，，不允許使用用銅質(zhì)管路及及其附件。由于管道安裝裝的環(huán)境空氣氣也有一定的的濕度，銅管管對(duì)對(duì)水的活活性很高，所所以，使用銅銅管時(shí)，對(duì)銅銅管的吹掃時(shí)時(shí)間應(yīng)當(dāng)延長(zhǎng)長(zhǎng)，一般為不不銹鋼管的8-20倍。?！穹ㄌm的密封面面應(yīng)當(dāng)平整、、光滑，不得得有毛刺及徑徑向溝槽，凸凸、凹法蘭應(yīng)應(yīng)當(dāng)能夠自然然嵌合，凸面面的高度不得得低于凹槽的的深度?！穹墙饘賶|片，，應(yīng)當(dāng)質(zhì)地柔柔軟、無(wú)老化化及分層現(xiàn)象象，表面不得得有折損及皺皺紋等缺陷。。金屬墊片的的加工尺寸、精精度、厚度、、表面粗糙度度、硬度等，，要符合要求求，表面不的的有裂紋、毛毛刺、凹槽、、徑向劃痕及及銹斑等缺陷陷。6.3、管路路系統(tǒng)安裝6.3.1管路安裝前應(yīng)應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)準(zhǔn)備工作：1.配管下料時(shí)應(yīng)應(yīng)采用“等離離子切割”或或“磨切”，，不得采用氧氧乙炔焰切割割，不得涂抹抹油脂或潤(rùn)滑滑劑；不銹鋼管的切切割應(yīng)采用““等離子”或“磨切”切切割?！暗入x離子”切割利利用離子弧高溫，使使得被切的金金屬熔化，同同時(shí)，利用壓縮縮氣體高速氣氣流將熔渣吹吹掉而實(shí)現(xiàn)切割割管材，此方方法可以切割割任何金屬與非非金屬的管材材，并具有切切割速度塊、質(zhì)質(zhì)量好、熱影影響小、變形形小的優(yōu)點(diǎn)?！澳デ小币话惆悴捎蒙拜喦星懈顧C(jī)進(jìn)行，，可以切割碳碳素鋼管、合合金管材，但但對(duì)不銹鋼管管材應(yīng)使用專(zhuān)專(zhuān)門(mén)的切割片片，批量的管管材通常采用用鋸床切割。。“磨切””切口光滑、、平整、速度度快。氧乙炔焰切割割通常也稱(chēng)之為為氣割，氣割割對(duì)切口的力力學(xué)性能有影影響，切口不不嚴(yán)謹(jǐn)，因此此，潔凈室不不采用。4.普通不銹鋼管管應(yīng)在清洗槽槽中用酸洗液液清洗。采用普通的不不銹鋼管時(shí)，，其表面粘附附有大量的油油脂或灰塵，，安裝后清洗洗十分困，因因此應(yīng)當(dāng)把原原管放入清洗洗槽中清洗。。管道內(nèi)內(nèi)壁的的酸洗洗工作作，必必須保保證不不損害害未銹銹蝕的的表面面，并并能清清除銹銹蝕部部分。。名稱(chēng)分子式體積比%溫度oC浸泡時(shí)間分）硝酸HNO315氫氟酸HF145-6015水H2O84不銹鋼鋼管酸酸洗配配方5.氧氣管管道及及其附附件：：閥門(mén)、、管件件、儀儀表、、墊片片都必必須脫脫脂。。當(dāng)閥閥門(mén)及及儀表表在制制造廠廠已經(jīng)經(jīng)脫脂脂，并并有可可靠地地密封封包裝裝及證證明時(shí)時(shí)，可可不再再脫脂脂。在生產(chǎn)產(chǎn)廠未未經(jīng)脫脫脂，，或密密封包包裝存存在缺缺陷時(shí)時(shí)，安安裝前前應(yīng)按按相關(guān)關(guān)規(guī)定定與方方法進(jìn)進(jìn)行脫脫脂，，常用用的脫脫脂劑劑為四四氯化化碳、、二氯氯乙烷烷、三三氯乙乙烯、、煤油油等。。前二者者均具具有毒毒性，，但因因二氯氯乙烷烷、三三氯乙乙烯還還有燃燃燒與與爆炸炸的危危險(xiǎn)，，因此此，常常用溶溶劑多多為四四氯化化碳。。四氯化化碳為為A1類(lèi)流體體。脫脂應(yīng)應(yīng)在遠(yuǎn)遠(yuǎn)離潔潔凈室室的地地點(diǎn)進(jìn)進(jìn)行，，并做做好操操作人人員的的安全全與環(huán)環(huán)境保保護(hù)工工作。。A1類(lèi)流體體指劇劇毒流流體，，在輸輸送過(guò)過(guò)程中中有極極少量量的流流體泄泄漏在在環(huán)境境中，，被人人吸收收或與與人體體接觸觸時(shí)，，能造造成嚴(yán)嚴(yán)重中中毒，，脫離離接觸觸后，，不能能治愈愈。相相當(dāng)現(xiàn)現(xiàn)行國(guó)國(guó)家標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《職業(yè)業(yè)性接接觸毒毒物危危害程程度分分級(jí)》》GB5044中Ⅰ級(jí)級(jí)（極極度危危害））的毒毒物。?！羲穆然际鞘侵痉镜娜苋軇?，，有強(qiáng)強(qiáng)有力力的麻麻醉作作用，，而且且易被被皮膚膚吸收收，對(duì)對(duì)人體體有毒毒害。?！羲穆然贾兄卸疽鹑巳说念^頭痛、、昏迷迷、嘔嘔吐等等癥狀狀?！羲穆然荚谠?00oC以下下是穩(wěn)穩(wěn)定的的，在在接觸觸到煙煙火、、溫度度在500oC以上上時(shí)，，四氯氯化碳碳蒸汽汽與水蒸蒸氣化化合可可以生生成光光氣。?！舫叵孪滤穆嚷然继寂c硫酸酸作用用也能能生成成光氣氣，光氣是是劇毒毒氣體體，極極其微微量也也能引引起中中毒。?！舸送?四氯氯化碳碳與堿發(fā)發(fā)生化化學(xué)反反應(yīng)，因生生成甲甲烷而而失效效。危害如如此嚴(yán)嚴(yán)重，，因此此，施施工中中脫脂脂操作作必須須確保保環(huán)保保及人人員的的安全全，充充分體體現(xiàn)““以人人為本本”的的原原則：：1）脫脂應(yīng)應(yīng)在露露天或或在通通風(fēng)良良好處處進(jìn)行行，工工作人人員應(yīng)應(yīng)有防防毒保保護(hù)措措施，，帶手手套和和口罩罩，濃濃度大大時(shí)應(yīng)應(yīng)帶防防毒面面具。2）脫脂現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)嚴(yán)嚴(yán)禁煙煙火。。3）溶劑嚴(yán)嚴(yán)禁與與強(qiáng)酸酸接觸觸。4）溶劑應(yīng)應(yīng)保存存在密密封容容器內(nèi)內(nèi)，不不得與與堿接接觸，，以防防變質(zhì)質(zhì)。7.聚偏二二氟乙乙烯管管材（（PVDF）可可以作作為高高純氣氣體系系統(tǒng)的的一種種材料料，施施工必必須采采用自自動(dòng)或或半自自動(dòng)熱熱焊機(jī)機(jī)焊接接連接接，熱熱焊的的壓力力、溫溫度和和時(shí)間間要根根據(jù)管管壁不不同厚厚度進(jìn)進(jìn)行控控制與與調(diào)節(jié)節(jié)，溫溫度高高了、、時(shí)間間長(zhǎng)了了容易易焊穿穿。低低了短短了焊焊不牢牢。而而且兩兩管對(duì)對(duì)接面面錯(cuò)邊邊可達(dá)達(dá)1mm，，顯然然過(guò)大大，增增大管管壁局局部粗粗造度度。在潔凈凈室內(nèi)內(nèi)檢修修不容容許焊焊接，，因?yàn)闉槠湔粽魵庥杏卸?，，所以以，熱熱焊接接必須須采取取環(huán)境境和人人員安安全的的保護(hù)護(hù)措施施。。施工工工具、、焊機(jī)機(jī)、管管材為為進(jìn)口口。粘結(jié)劑劑在管管內(nèi)長(zhǎng)長(zhǎng)時(shí)間間積聚聚，可可使管管材淬淬裂。。線(xiàn)脹系系數(shù)高高，熱熱伸長(zhǎng)長(zhǎng)大，，必須須設(shè)置置補(bǔ)償償器。。這些些因素素?zé)o疑疑都加加大了了使用用的難難度與與局限限。6.3.2管道敷敷設(shè)應(yīng)應(yīng)符合合設(shè)計(jì)計(jì)要求求，設(shè)設(shè)計(jì)無(wú)無(wú)要求求時(shí)，，輸送送干燥燥氣體體的管管道宜宜無(wú)坡坡度敷敷設(shè)；；真空空吸引引管道道的坡坡度宜宜大于于或等等于0.5％，，坡向向真空空泵站站；含含濕氣氣體管管道坡坡度宜宜大于于或等等于0.3％，，同時(shí)時(shí)坡向向冷凝凝水收收集器器。。這一條條主要要是針針對(duì)真真空系系統(tǒng)管管道來(lái)來(lái)講的的。對(duì)對(duì)于潔潔凈室室內(nèi)的的氣體體管道道，針針對(duì)性性不強(qiáng)強(qiáng)。因因?yàn)闈崫崈羰沂?-9級(jí)級(jí)，使使用氣氣體都都經(jīng)過(guò)過(guò)干燥燥處理理，或或者深深冷空空分提提供的的氣體體，都都可以以無(wú)坡坡度敷敷設(shè),空分分液氧