行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《集成電路用鈷陽(yáng)極》編制說(shuō)明（送審稿）有研億金新材料有限公司2025年06月

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《集成電路用鈷陽(yáng)極》編制說(shuō)明（送審稿）一、工作簡(jiǎn)況1.1任務(wù)來(lái)源根據(jù)工業(yè)和信息化部辦公廳《關(guān)于印發(fā)2024年第四批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃的通知》（工信廳科函〔2024〕352號(hào)）的要求，有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《集成電路用鈷陽(yáng)極》修訂項(xiàng)目由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口，標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位為有研億金新材料有限公司，項(xiàng)目計(jì)劃編號(hào)：工信廳科函[2024]352號(hào)2024-1052T-YS，項(xiàng)目周期為12個(gè)月，完成年限2024年9月至2025年8月。標(biāo)準(zhǔn)起草單位為：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、有研億金新材料（山東）有限公司、寧波江豐電子材料股份有限公司1.2立項(xiàng)目的和意義集成電路產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)群的基礎(chǔ)和核心，已成為關(guān)系國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式、調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、保障國(guó)家安全的重要支撐，也是培育和發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、推動(dòng)信息化與工業(yè)化深度融合的核心和基礎(chǔ)。根據(jù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2021年中國(guó)集成電路行業(yè)銷售額為10458.3億元，2022年上半年，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的銷售額達(dá)到4763.5億元，同比增長(zhǎng)16.1%，預(yù)計(jì)2023年其市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)14425億元。據(jù)ICInsights的數(shù)據(jù)，2021年國(guó)內(nèi)集成電路自給率僅有16%，使得集成電路行業(yè)已成為我國(guó)進(jìn)口依賴程度較高的行業(yè)之一，尤其是高端芯片嚴(yán)重依賴進(jìn)口，2022年1-11月我國(guó)集成電路進(jìn)口量達(dá)4985億塊，進(jìn)口金額達(dá)3811億美元?？紤]到集成電路行業(yè)對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)及社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性地位和國(guó)際貿(mào)易摩擦預(yù)期等因素，集成電路的國(guó)產(chǎn)化更具緊迫性。集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的核心，是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。國(guó)家出臺(tái)《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》《“十四五”國(guó)家信息化規(guī)劃》《“十四五”信息通信行業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策均提到，完成信息領(lǐng)域核心技術(shù)突破也要加快集成電路關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，著力提升基礎(chǔ)軟硬件、核心電子元器件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料和生產(chǎn)裝備的供給水平，強(qiáng)化關(guān)鍵產(chǎn)品自給保障能力。隨著大數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的人工智能（AI）時(shí)代的到來(lái)，需要更高性能的集成電路芯片及更大容量的先進(jìn)半導(dǎo)體存儲(chǔ)芯片，半導(dǎo)體集成電路特征尺寸已經(jīng)由成熟的28-14nm，發(fā)展到了3nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)。特征尺寸的縮小不僅對(duì)半導(dǎo)體制造工藝提出挑戰(zhàn)，對(duì)新材料的性能也提出了更高的要求。美國(guó)AppliedMaterials公司使用鈷作為制造晶體管接觸孔和互連材料，成功突破7nm節(jié)點(diǎn)以下芯片制造工藝方面的瓶頸，該技術(shù)成為半導(dǎo)體技術(shù)摩爾定律的新轉(zhuǎn)折點(diǎn)。集成電路用陽(yáng)極包括集成電路前道用陽(yáng)極和后道封裝用陽(yáng)極，集成電路前道用陽(yáng)極主要包括銅磷陽(yáng)極、鈷陽(yáng)極等，在7nm制程以上，主要采用銅陽(yáng)極制備互連材料，在7nm先進(jìn)制程采用高純鈷陽(yáng)極實(shí)現(xiàn)接觸和互連，后道封裝用陽(yáng)極主要包括鎳陽(yáng)極、錫陽(yáng)極等。在7nm節(jié)點(diǎn)以下，由于電阻高和間隙填充問(wèn)題，使用鎢作為晶體管接觸孔金屬，達(dá)到其物理極限，芯片性能遭遇瓶頸，芯片功耗升高、速度下降。采用鈷作為接觸孔材料可顯著降低電阻、提高良率，這些性能可以獲得更低的功耗，實(shí)現(xiàn)單位面積更多的晶體管。同樣，采用銅在M0和M1層面制造的內(nèi)連線也飽受間隙填充、電阻和可靠性的困擾，芯片制造成本因此受影響。雖然銅作為塊體金屬，電阻比鈷要低，但是在10-15nm范圍內(nèi)有一個(gè)交叉點(diǎn)。鈷互連在這個(gè)交叉點(diǎn)的電阻低于銅互連。形成這個(gè)交叉點(diǎn)的原因是電子平均自由程，銅為~39nm，鈷為~10nm。電子平均自由程定義了電子在塊體材料中無(wú)散射情況下的行程長(zhǎng)度。當(dāng)特征低于平均自由程時(shí)，材料界面層和晶界發(fā)生明顯散射，導(dǎo)致電阻增加。更小的電子平均自由程使電子在窄線中流通，并減少碰撞，從而降低電阻。同時(shí)鈷具有優(yōu)異的深填孔性能，可以改善內(nèi)連線填充間隙問(wèn)題。因此，在7nm制程及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)用鈷代替鎢接觸孔和銅內(nèi)連線打破了上述性能瓶頸。鈷材料的使用可使7nm芯片導(dǎo)電性能提高3.7倍，芯片速度提高5-15%。在實(shí)際應(yīng)用中，采用高純鈷靶濺射鍍一層籽晶層，然后采用鈷陽(yáng)極進(jìn)行電鍍制備高純鈷薄膜。目前，集成電路用鈷陽(yáng)極的性能直接影響到鍍膜內(nèi)應(yīng)力、孔隙率、厚度均勻性等性能。因此，鈷陽(yáng)極的性能指標(biāo)是集成電路鍍膜行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。當(dāng)前，美國(guó)材料協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中均沒(méi)有集成電路用鈷陽(yáng)極的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)內(nèi)集成電路用鈷陽(yáng)極的生產(chǎn)也處于初級(jí)階段，沒(méi)有相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域用鈷陽(yáng)極的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。高純鈷陽(yáng)極應(yīng)用在7nm及以下先進(jìn)制程，產(chǎn)品全部依賴進(jìn)口，技術(shù)被國(guó)外壟斷，屬于卡脖子關(guān)鍵核心技術(shù)，隨時(shí)有斷供的風(fēng)險(xiǎn)，另外，每年高純鈷陽(yáng)極需求量在1000塊以上，隨著國(guó)內(nèi)集成電路制造技術(shù)的提升，未來(lái)高純鈷陽(yáng)極需求量巨大。因此，需要制定相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，以促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保鈷陽(yáng)極檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)的建立對(duì)該產(chǎn)品技術(shù)水平的不斷提高也將起到一定的推動(dòng)作用。在國(guó)外高純鈷陽(yáng)極為成熟產(chǎn)品，批量應(yīng)用于先進(jìn)芯片制程，隨著我國(guó)電子薄膜材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，鈷陽(yáng)極的應(yīng)用不斷增加，目前國(guó)內(nèi)鈷陽(yáng)極生產(chǎn)還處于初級(jí)階段，市場(chǎng)上的鈷陽(yáng)極質(zhì)量、規(guī)格多樣，標(biāo)準(zhǔn)不一，沒(méi)有相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國(guó)內(nèi)微電子領(lǐng)域用鈷陽(yáng)極的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。因此需要制定相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，以促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保鈷陽(yáng)極檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。目前，集成電路用鈷陽(yáng)極的性能直接影響到鍍膜內(nèi)應(yīng)力、孔隙率、厚度均勻性等性能。因此，鈷陽(yáng)極的性能指標(biāo)是集成電路鍍膜行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。目前美國(guó)材料協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中均沒(méi)有集成電路用鈷陽(yáng)極的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，因此集成電路用鈷陽(yáng)極產(chǎn)品國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制定對(duì)該產(chǎn)品技術(shù)水平的不斷提高將起到一定的推動(dòng)作用。本標(biāo)準(zhǔn)是在總結(jié)了國(guó)內(nèi)外集成電路用鈷陽(yáng)極的研究成果，根據(jù)多年產(chǎn)品的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和使用要求，積累一定數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上制定的，充分考慮了標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性、適用性和可操作性。1.3主要參加單位和工作成員所作的工作1.3.1主要參加單位情況標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位有研億金新材料有限公司成立于2000年，現(xiàn)為有研新材料股份有限公司全資子公司。為國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、國(guó)家火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)、北京市高純金屬濺射靶材工程技術(shù)研究中心、北京市企業(yè)技術(shù)中心、中關(guān)村國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)“十百千工程”企業(yè)、上海黃金交易所綜合類會(huì)員。

有研億金主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷售微電子光電子用薄膜新材料、貴金屬材料及制品，并開(kāi)展稀有及貴金屬材料信息咨詢、技術(shù)服務(wù)和套期保值等業(yè)務(wù)。有研億金是國(guó)內(nèi)規(guī)模宏大、門類齊全、技術(shù)能力一流的高純金屬濺射靶材制造企業(yè)，也是國(guó)內(nèi)屈指可數(shù)具備從超高純?cè)牧系綖R射靶材、蒸發(fā)膜材垂直一體化研發(fā)和生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)。產(chǎn)品涵蓋電子信息行業(yè)用的全系列高純金屬材料、濺射靶材、陽(yáng)極和蒸發(fā)膜材。有研億金是國(guó)內(nèi)率先開(kāi)展集成電路用鈷陽(yáng)極研究開(kāi)發(fā)的單位，在微電子領(lǐng)域用鈷陽(yáng)極制備加工領(lǐng)域具有國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的優(yōu)勢(shì)。多年來(lái)，有研億金利用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能金屬材料制備技術(shù)，開(kāi)發(fā)了獨(dú)具特色的陽(yáng)極及靶材產(chǎn)品，產(chǎn)品涉及銅磷陽(yáng)極、鈷陽(yáng)極、鎳陽(yáng)極、錫陽(yáng)極，各種材料靶材，如Al、Cu、Ti、Co、Ta及Coil、Ni及其合金、Ru及其合金，各種難熔金屬靶材等，形成了具有年產(chǎn)值近億元的產(chǎn)業(yè)基地，如先進(jìn)鍍膜用半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、稀土材料、集成電路相關(guān)材料、磁存儲(chǔ)相關(guān)材料等，具備一大批對(duì)高純金屬材料制備加工技術(shù)具有堅(jiān)實(shí)理論基礎(chǔ)和豐富實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的專家和技術(shù)人員。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子、信息、化工等領(lǐng)域，是現(xiàn)代工業(yè)不可或缺的重要材料，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)防建設(shè)及現(xiàn)代化信息化社會(huì)中起著極其重要的戰(zhàn)略意義，發(fā)展前景廣闊。

公司現(xiàn)有職工480余人，匯聚了稀有和貴金屬領(lǐng)域內(nèi)眾多一流的科研生產(chǎn)精英，專業(yè)技術(shù)人才超過(guò)員工總數(shù)50%，高學(xué)歷、高職稱人才比例高達(dá)40%，同時(shí)擁有一支技術(shù)過(guò)硬經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)工人隊(duì)伍。

有研億金歷年承擔(dān)國(guó)家級(jí)、省部級(jí)科技開(kāi)發(fā)項(xiàng)目近百項(xiàng)，獲部級(jí)獎(jiǎng)56項(xiàng)，國(guó)家專利81項(xiàng)，國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)3項(xiàng)，國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)9項(xiàng)，全國(guó)科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)2項(xiàng)，國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)特等獎(jiǎng)子項(xiàng)獎(jiǎng)1項(xiàng)。“十一五”、“十二五”期間，公司承擔(dān)了國(guó)家02專項(xiàng)、國(guó)家國(guó)際重點(diǎn)合作項(xiàng)目、國(guó)家高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及國(guó)家科技支撐項(xiàng)目，863項(xiàng)目等36項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目，為我國(guó)新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到巨大支撐作用。有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司成立于1983年3月，隸屬于中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“協(xié)會(huì)”），是國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)和北京市高新技術(shù)企業(yè)。五個(gè)主要業(yè)務(wù)板塊，分別為信息咨詢、標(biāo)準(zhǔn)專利、媒體宣傳、分會(huì)工作及貿(mào)易投資，是我國(guó)有色金屬行業(yè)專職從事產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略研究與規(guī)劃、市場(chǎng)信息服務(wù)與咨詢、標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究與專利查新、行業(yè)期刊出版發(fā)行、行業(yè)會(huì)議策劃與組織的綜合性科技服務(wù)機(jī)構(gòu)。有研億金新材料（山東）有限公司是有研億金新材料有限公司的全資子公司，為中央直屬企業(yè)中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司下屬公司。公司2021年9月注冊(cè)成立，注冊(cè)資金5億元，位于德州市天衢新區(qū)，占地面積138.8畝，主要從事集成電路用高純?yōu)R射靶材等電子專用材料研發(fā)、制造、銷售。公司一期項(xiàng)目投資近6億元，打造集成電路用高純銅及銅合金、高純鈷、高純鉭、鎳基合金靶材、粉末冶金靶材及陽(yáng)極研發(fā)、生產(chǎn)基地，一期項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能將達(dá)到4.3萬(wàn)塊/年。項(xiàng)目于2022年5月開(kāi)工建設(shè)，2023年1月廠房主體工程完工，同步推進(jìn)關(guān)鍵工藝裝備產(chǎn)線及配套設(shè)施建設(shè)，9月份項(xiàng)目全面投產(chǎn)。項(xiàng)目的建成，有研億金高端靶材產(chǎn)品可滿足90～7納米集成電路先進(jìn)制程使用需求，為國(guó)內(nèi)芯片制造企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)定制化服務(wù)及配套保障，提升我國(guó)集成電路關(guān)鍵配套材料自主可控能力。寧波江豐電子材料股份有限公司成立于2005年，是由國(guó)家海外高層次引才計(jì)劃專家姚力軍博士領(lǐng)導(dǎo)的海外高層次歸國(guó)留學(xué)人員組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)所創(chuàng)立的一家高科技企業(yè)，是A股創(chuàng)業(yè)板上市公司（股票代碼300666），專業(yè)從事集成電路、平板顯示器和太陽(yáng)能用超高純材料及濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司先后承擔(dān)了國(guó)家02重大專項(xiàng)、863計(jì)劃、稀土專項(xiàng)、彩電專項(xiàng)、工信部電子發(fā)展基金工業(yè)強(qiáng)基等國(guó)家級(jí)科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，連續(xù)參加了“十一五”、“十二五”、“十三五”國(guó)家科技創(chuàng)新成就展。江豐電子研發(fā)的超大規(guī)模集成電路用濺射靶材填補(bǔ)了我國(guó)的空白，結(jié)束了我國(guó)依賴進(jìn)口的歷史，產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)中芯國(guó)際14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入量產(chǎn)，在國(guó)際先端的FinFET（FF+）5nm技術(shù)進(jìn)入量產(chǎn)應(yīng)用，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)技術(shù)水平。1.3.2標(biāo)準(zhǔn)起草主要工作成員所負(fù)責(zé)的工作情況本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及工作職責(zé)見(jiàn)表1。表1主要起草人及工作職責(zé)序號(hào)起草人姓名職責(zé)及分工1徐國(guó)進(jìn)、何金江、滕海濤負(fù)責(zé)集成電路用鈷陽(yáng)極標(biāo)準(zhǔn)方案制定、產(chǎn)品情況調(diào)研、資料搜集、數(shù)據(jù)采集與匯總、主持標(biāo)準(zhǔn)條款編寫、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的理論指導(dǎo)和審核等。2萬(wàn)小勇、齊琦琦、羅俊鋒參與方案制定、組織協(xié)調(diào)產(chǎn)品的調(diào)研、技術(shù)參數(shù)的確定、為項(xiàng)目提供保障等。3朱孜毅、王亞萍協(xié)助收集本標(biāo)準(zhǔn)中產(chǎn)品情況調(diào)研、客戶使用情況等資料收集。4舒瑞熙協(xié)助本標(biāo)準(zhǔn)方案中技術(shù)資料討論，數(shù)據(jù)收集。5宋琦、付豐年負(fù)責(zé)數(shù)據(jù)匯總，參與標(biāo)準(zhǔn)討論1.4主要工作過(guò)程1.4.1預(yù)研階段2023年，有研億金新材料有限公司作為主編單位對(duì)國(guó)內(nèi)集成電路用鈷陽(yáng)極市場(chǎng)情況、生產(chǎn)情況及使用情況進(jìn)行了詳細(xì)的調(diào)研，主要工作有：了解國(guó)內(nèi)集成電路用鈷陽(yáng)極生產(chǎn)的技術(shù)水平、檢測(cè)及應(yīng)用情況，與企業(yè)技術(shù)人員深入討論技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的具體技術(shù)要求，參觀企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)情況。通過(guò)與相關(guān)產(chǎn)品制造企業(yè)技術(shù)交流，同時(shí)也考慮了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、加工能力和分析水平等實(shí)際情況，由主編單位整理并編制形成了《集成電路用鈷陽(yáng)極》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說(shuō)明等材料。根據(jù)此次調(diào)研情況，由主編單位整理并完善形成了本標(biāo)準(zhǔn)的討論稿。1.4.2標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)2023年3月，有研億金新材料有限公司向全體委員會(huì)議提交了《集成電路用鈷陽(yáng)極》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)報(bào)告等材料，全體委員會(huì)議論證結(jié)論為同意行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)。2024年9月，工業(yè)和信息化部辦公廳下達(dá)了《集成電路用鈷陽(yáng)極》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定任務(wù)，項(xiàng)目計(jì)劃編號(hào):工信廳科函[2024]352號(hào)2024-1052T-YS，項(xiàng)目周期為12個(gè)月，完成年限2024年9月至2025年8月。技術(shù)歸口單位為全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)。1.4.3起草階段召開(kāi)工作會(huì)議（草案討論會(huì)、預(yù)審會(huì)均成為工作會(huì)議，按第一次工作會(huì)議、第二次工作會(huì)議的方式描述，對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)稿統(tǒng)稱為征求意見(jiàn)1稿、征求意見(jiàn)2稿）的時(shí)間、地點(diǎn)和會(huì)議情況。有研億金新材料有限公司在起草階段進(jìn)行了大量的數(shù)據(jù)收集，同時(shí)結(jié)合全國(guó)內(nèi)電子薄膜用高純鈷陽(yáng)極生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)水平。2024年9月成立標(biāo)準(zhǔn)編制組，并明確了工作的職能和任務(wù)。2024年9月～2024年10月對(duì)集成電路用鈷陽(yáng)極的使用狀況進(jìn)行了相關(guān)資料的收集和總結(jié)，并對(duì)相關(guān)的技術(shù)資料進(jìn)行了對(duì)比分析，核實(shí)相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及要求，形成了《集成電路用鈷陽(yáng)極》的征求意見(jiàn)1稿。2024年10月29日～11月1日全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)在江蘇省南京市召開(kāi)有色標(biāo)委會(huì)及各分技術(shù)委員會(huì)第六屆大會(huì)暨2024年度年會(huì)（有色標(biāo)委[2024]110號(hào)），補(bǔ)充增加《雙金屬?gòu)?fù)合帶》等16項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)任務(wù)落實(shí)。第一次工作會(huì)議會(huì)議對(duì)《集成電路用鈷陽(yáng)極》標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了討論，來(lái)自有研億金新材料有限公司、有研億金新材料（山東）有限公司、中鋁材料應(yīng)用研究院有限公司、有研工程技術(shù)研究院有限公司等多家單位的專家參加了會(huì)議，參會(huì)專家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的討論稿進(jìn)行了認(rèn)真的討論，提出了一些意見(jiàn)和建議。會(huì)后，編制組根據(jù)討論會(huì)意見(jiàn)和多方相關(guān)調(diào)研和數(shù)據(jù)驗(yàn)證匯總情況，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)《征求意見(jiàn)1稿》及《編制說(shuō)明》進(jìn)行了修改，形成標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)2稿及編制說(shuō)明。2025年5月14日～5月17日全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)在山西省運(yùn)城市召開(kāi)《雙金屬?gòu)?fù)合帶》等28項(xiàng)重金屬標(biāo)準(zhǔn)工作會(huì)議。會(huì)議對(duì)《集成電路用鈷陽(yáng)極》標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了討論，來(lái)自有研億金新材料有限公司、有研億金新材料（山東）有限公司、中鋁洛陽(yáng)銅加工有限公司、沈陽(yáng)有色金屬研究所有限公司等多家單位的專家參加了會(huì)議，參會(huì)專家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)審稿進(jìn)行了認(rèn)真的討論，提出了一些意見(jiàn)和建議。會(huì)后，編制組根據(jù)會(huì)議意見(jiàn)和多方相關(guān)調(diào)研和數(shù)據(jù)驗(yàn)證匯總情況，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)《征求意見(jiàn)2稿》及《編制說(shuō)明》進(jìn)行了修改，形成標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)3稿及編制說(shuō)明。二、編制原則、主要內(nèi)容及其確定依據(jù)2.1編制原則起草符合GB/T1.1的編寫要求；本標(biāo)準(zhǔn)起草單位自接受起草任務(wù)后，成立了本系列標(biāo)準(zhǔn)編制工作組負(fù)責(zé)收集生產(chǎn)統(tǒng)計(jì)、檢驗(yàn)數(shù)據(jù)、市場(chǎng)需求及客戶要求等信息。初步確定了《集成電路用鈷陽(yáng)極》標(biāo)準(zhǔn)起草所遵循的基本原則和編制依據(jù)：科學(xué)性原則。標(biāo)準(zhǔn)必須符合科學(xué)、合理、先進(jìn)的原則，確保標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容科學(xué)、準(zhǔn)確、可靠。公正性原則。標(biāo)準(zhǔn)編制必須遵循公正、公開(kāi)、透明、公平的原則，維護(hù)各利益相關(guān)者的合法權(quán)益。適用性原則。標(biāo)準(zhǔn)必須符合產(chǎn)品實(shí)際需求，具有實(shí)用性和適用性，能夠滿足產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和使用的實(shí)際需求。可行性原則。標(biāo)準(zhǔn)必須具有可操作性和可實(shí)施性，能夠被生產(chǎn)者和使用者接受和實(shí)施。技術(shù)先進(jìn)性原則。標(biāo)準(zhǔn)必須體現(xiàn)技術(shù)先進(jìn)性，促進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步，提高產(chǎn)品質(zhì)量和安全性。協(xié)調(diào)性原則。標(biāo)準(zhǔn)必須符合國(guó)際和地區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性，避免相互沖突和重復(fù)，促進(jìn)貿(mào)易自由化和技術(shù)交流。法律法規(guī)遵循原則。標(biāo)準(zhǔn)必須遵守國(guó)家法律、法規(guī)和政策，維護(hù)國(guó)家利益和公共利益。通過(guò)以上原則，制定出符合實(shí)際需求的《集成電路用鈷陽(yáng)極》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，能夠提高產(chǎn)品質(zhì)量和安全性，保障消費(fèi)者權(quán)益，促進(jìn)產(chǎn)品貿(mào)易和技術(shù)交流。2.2標(biāo)準(zhǔn)主要技術(shù)內(nèi)容的確定依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)完全按照GB/T1.1-2020和GB/T20001.10-2014產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的要求進(jìn)行格式和結(jié)構(gòu)編寫，本文件規(guī)定了集成電路用鈷陽(yáng)極（以下簡(jiǎn)稱“鈷陽(yáng)極”）的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。2.2.1規(guī)范性引用文件本標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)客戶對(duì)鈷陽(yáng)極要求編寫。主要包括：集成電路用鈷陽(yáng)極的分類和標(biāo)記、化學(xué)成分、外形尺寸及其允許偏差、晶粒度、外觀質(zhì)量等。引用了推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)4項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng):GB/T1804一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差，GB/T6394金屬平均晶粒度測(cè)定方法，GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定，GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則，YS/T1011高純鈷化學(xué)分析方法雜質(zhì)元素含量的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法。2.2.2分類和標(biāo)記分類鈷陽(yáng)極按形狀分為長(zhǎng)方形、環(huán)形、扇形等，示意圖見(jiàn)圖1。a）長(zhǎng)方形b）環(huán)形c）扇形標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：a——長(zhǎng)方形鈷陽(yáng)極長(zhǎng)度；b——長(zhǎng)方形鈷陽(yáng)極寬度；t1——長(zhǎng)方形鈷陽(yáng)極厚度；d1——環(huán)形鈷陽(yáng)極外徑；d2——環(huán)形鈷陽(yáng)極內(nèi)徑；t2——環(huán)形鈷陽(yáng)極厚度；r1——扇形鈷陽(yáng)極半徑；t3——扇形鈷陽(yáng)極厚度。圖1鈷陽(yáng)極形狀示意圖注：需方有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定。標(biāo)記鈷陽(yáng)極產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號(hào)、純度、形狀和尺寸的順序表示。標(biāo)記示例如下：----尺寸形狀產(chǎn)品純度本文件編號(hào)產(chǎn)品名稱鈷陽(yáng)極按化學(xué)成分分為Co-99.99、Co-99.995示例：純度為99.99％的外徑*內(nèi)徑*厚度為297*270*38mm的環(huán)形高純鈷陽(yáng)極產(chǎn)品，表示為Co陽(yáng)極-YS/Txxx-99.99-環(huán)形-297*270*38。2.2.3化學(xué)成分鑒于鍍膜用途及規(guī)格要求不同，鈷陽(yáng)極的化學(xué)成分分為Co-99.99和Co-99.995兩種。影響到薄膜電性能、可靠性及需分析的雜質(zhì)元素包括：金屬雜質(zhì)元素Al、As、Ca、Cu、Cr、Fe、K、Ma、Pb、V、Zn等及非金屬雜質(zhì)元素N、O和S。在集成電路行業(yè)用鈷陽(yáng)極標(biāo)準(zhǔn)制定過(guò)程中，調(diào)研了國(guó)內(nèi)外鈷陽(yáng)極客戶基本要求、設(shè)備商、制造商要求，參照現(xiàn)有行業(yè)用鈷陽(yáng)極及高純鈷鑄錠標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)一些存在危害的雜質(zhì)元素含量給出了明確控制要求，這些雜質(zhì)元素主要包括堿金屬K、Na雜質(zhì)元素，以及金屬雜質(zhì)元素Al、Cu、Fe、Pb、Zn、Co、Cr、Si等。堿金屬離子(Na+、K+)在絕緣層中為可移動(dòng)離子，降低元器件性能；金屬雜質(zhì)元素Cu、Fe、Pb、Zn等含量高會(huì)增加鍍層脆性，附著力變差；金屬離子（Cu、Fe、Pb、Zn、Co、Cr、Si、Al等）會(huì)產(chǎn)生界面漏電等問(wèn)題，因此須對(duì)鈷陽(yáng)極原材料中該類元素進(jìn)行控制。表2化學(xué)成分牌號(hào)Co-99.99Co-99.995Co（質(zhì)量分?jǐn)?shù)），不小于%99.9999.995雜質(zhì)（質(zhì)量分?jǐn)?shù)），不大于（×10-4）%Al1010As31Be101Bi31Ca31Cd31Cr31Cu55Fe2010Hg101K31Mg1010Mn22Mo31Na31Ni5040P53Pb31Sb31Si55Sn31Th0.0050.005Ti55U0.0050.005V31Zn22Zr31N5030O500300S55雜質(zhì)總和a（質(zhì)量分?jǐn)?shù)），不大于（×10-4）%10050注：“雜質(zhì)總和”為表中所列雜質(zhì)（除C、N和S外）實(shí)測(cè)值之和。2.2.4外形尺寸及其允許偏差鈷陽(yáng)極外形尺寸與需方使用的機(jī)臺(tái)類型有關(guān)，一般由需方提供圖紙確定。鈷陽(yáng)極未注公差按GB/T1804精密級(jí)f執(zhí)行。2.2.5晶粒度隨著集成電路行業(yè)的發(fā)展，對(duì)電鍍薄膜的性能要求增加，在電鍍過(guò)程中一般要求形成一層致密、均勻、無(wú)空洞和無(wú)縫隙的鈷鍍層，這就要求鈷陽(yáng)極的晶粒尺寸要細(xì)小均勻。因?yàn)橹挥羞@樣才能保證鈷鍍膜均勻，從而保證在相同電流和電鍍環(huán)境條件下，鈷電離以及結(jié)合均勻，形成均一的鍍膜。晶粒尺寸大小會(huì)對(duì)電鍍工藝參數(shù)產(chǎn)生影響，結(jié)合調(diào)研和國(guó)外產(chǎn)品資料，本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)合適的鈷陽(yáng)極平均晶粒尺寸提出了明確要求，平均晶粒尺寸在100～400μm都是比較好的。測(cè)量方法參考現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)GB/T6394-2017金屬平均晶粒度測(cè)定方法。2.2.6外觀質(zhì)量鈷陽(yáng)極表面應(yīng)清潔，無(wú)銹蝕、顆粒附著物等影響使用的缺陷。試驗(yàn)驗(yàn)證分析、綜述報(bào)告、技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證、預(yù)期達(dá)到的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和生態(tài)效益1、試驗(yàn)驗(yàn)證分析和綜述報(bào)告項(xiàng)目的必要性闡述集成電路產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)群的基礎(chǔ)和核心，已成為關(guān)系國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式、調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、保障國(guó)家安全的重要支撐，也是培育和發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、推動(dòng)信息化與工業(yè)化深度融合的核心和基礎(chǔ)。根據(jù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2021年中國(guó)集成電路行業(yè)銷售額為10458.3億元，2022年上半年，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的銷售額達(dá)到4763.5億元，同比增長(zhǎng)16.1%，預(yù)計(jì)2023年其市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)14425億元。據(jù)ICInsights的數(shù)據(jù)，2021年國(guó)內(nèi)集成電路自給率僅有16%，使得集成電路行業(yè)已成為我國(guó)進(jìn)口依賴程度較高的行業(yè)之一，尤其是高端芯片嚴(yán)重依賴進(jìn)口，2022年1-11月我國(guó)集成電路進(jìn)口量達(dá)4985億塊，進(jìn)口金額達(dá)3811億美元?？紤]到集成電路行業(yè)對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)及社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性地位和國(guó)際貿(mào)易摩擦預(yù)期等因素，集成電路的國(guó)產(chǎn)化更具緊迫性。集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的核心，是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。國(guó)家出臺(tái)《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》《“十四五”國(guó)家信息化規(guī)劃》《“十四五”信息通信行業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策均提到，完成信息領(lǐng)域核心技術(shù)突破也要加快集成電路關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，著力提升基礎(chǔ)軟硬件、核心電子元器件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料和生產(chǎn)裝備的供給水平，強(qiáng)化關(guān)鍵產(chǎn)品自給保障能力。項(xiàng)目的可行性闡述有研億金新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱有研億金）通過(guò)對(duì)高純鈷陽(yáng)極的純度（產(chǎn)品純度達(dá)到99.99%以上）、微觀組織控制（平均晶粒尺寸均勻、細(xì)?。?、機(jī)加工優(yōu)化（加工精度達(dá)到國(guó)家精密級(jí)）等多方面技術(shù)攻克，研發(fā)并批量生產(chǎn)了多種型號(hào)的高純鈷陽(yáng)極，產(chǎn)品品類齊全，性能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。SarbreExcel、110-10002245、110-10002248、110-10002249等多型號(hào)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)穩(wěn)定生產(chǎn)，供貨國(guó)內(nèi)多家國(guó)際知名半導(dǎo)體廠商如中芯國(guó)際、臺(tái)積電等，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益與社會(huì)效益。當(dāng)前，美國(guó)材料協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中均沒(méi)有集成電路用鈷陽(yáng)極的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)內(nèi)集成電路用鈷陽(yáng)極的生產(chǎn)也處于初級(jí)階段，沒(méi)有相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域用鈷陽(yáng)極的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。高純鈷陽(yáng)極應(yīng)用在7nm及以下先進(jìn)制程，產(chǎn)品全部依賴進(jìn)口，技術(shù)被國(guó)外壟斷，屬于卡脖子關(guān)鍵核心技術(shù)，隨時(shí)有斷供的風(fēng)險(xiǎn)，另外，每年高純鈷陽(yáng)極需求量在1000塊以上，隨著國(guó)內(nèi)集成電路制造技術(shù)的提升，未來(lái)高純鈷陽(yáng)極需求量巨大。因此，有研億金在綜合考慮客戶需求、同行現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上起草了《集成電路用鈷陽(yáng)極》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保鈷陽(yáng)極檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)的建立對(duì)該產(chǎn)品技術(shù)水平的不斷提高也將起到一定的推動(dòng)作用。從檢索情況來(lái)看，本標(biāo)準(zhǔn)的制定無(wú)知識(shí)產(chǎn)權(quán)方面的問(wèn)題。試驗(yàn)驗(yàn)證分析化學(xué)成分結(jié)合目前市場(chǎng)要求以及試驗(yàn)驗(yàn)證，明確了產(chǎn)品的純度要求，為保證數(shù)據(jù)對(duì)制定標(biāo)準(zhǔn)的代表性和可靠性，統(tǒng)計(jì)最近100組元素Al、As、Cu、Fe、Na、Ni、O等數(shù)據(jù)，統(tǒng)計(jì)結(jié)果如下表3所示。根據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果，按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值評(píng)估，數(shù)據(jù)覆蓋率達(dá)到95%以上，符合產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的要求。集成電路用高純鈷陽(yáng)極純度要求為99.99%和99.995%，首次對(duì)鈷陽(yáng)極制定了標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容以國(guó)際先進(jìn)水平要求進(jìn)行制定，具體見(jiàn)表3。表3100組雜質(zhì)元素含量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)表元素≤1ppm1-2ppm2-3ppm3-5ppm5-10ppm10-30ppm30-50ppm50-100ppm數(shù)據(jù)覆蓋率Al100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%As100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Be100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Bi100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Ca100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Cd100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Cr100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Cu96(96%)1(1%)0（0%）0（0%）3（3%）0（0%）0（0%）0（0%）97%Fe26(26%)39(39%)20(20%)6（6%）4（4%）5（5%）0（0%）0（0%）95%Hg100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%K100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Mg100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Mn100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Mo100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Na100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Ni86(86%)14（14%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%P96(96%)4（4%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Pb100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Sb100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Si91(91%)4（4%）3（3%）2（2%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Sn100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Th100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Ti100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%U100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%V100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Zn100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%Zr100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%N86（86%）5（5%）5（5%）2（2%）2（2%）0（0%）0（0%）0（0%）100%O0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）24（24%）60（60%）16（16%）100%S100(100%)0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）0（0%）100%外形尺寸及其允許偏差鈷陽(yáng)極按形狀主要分為長(zhǎng)方形、環(huán)形和扇形，外形尺寸及形位尺寸由需方提供圖紙確定，鈷陽(yáng)極未注公差需滿足GB/T1804精密級(jí)f要求。結(jié)合目前市場(chǎng)要求以及試驗(yàn)驗(yàn)證，明確了產(chǎn)品的尺寸及允許偏差要求，為保證數(shù)據(jù)對(duì)制定標(biāo)準(zhǔn)的代表性和可靠性，統(tǒng)計(jì)典型產(chǎn)品共100組尺寸數(shù)據(jù)，統(tǒng)計(jì)結(jié)果如下表4所示。根據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果，按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值評(píng)估，數(shù)據(jù)覆蓋率達(dá)到96%以上，符合產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的要求。表4100組典型產(chǎn)品尺寸數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)表形狀環(huán)形扇形尺寸d1d2t2r1t3要求297±0.2270±0.238±0.2125±0.238±0.21297.104269.99038.126125.01638.1022297.028270.11238.086124.99937.9303297.084269.92038.116124.99938.0964297.060269.98038.094125.00838.1015297.060269.98038.094125.01137.8706297.036269.92838.070125.02137.8807297.112269.94838.058125.00238.0438297.112270.00438.180125.02038.0629297.072269.97838.130125.00838.08910297.066270.02238.095125.03438.11211297.180269.95638.194124.95938.06212297.228270.00038.161125.02838.06213297.126269.99238.106125.03538.06014297.026270.02238.077124.93838.05515296.748269.64237.700125.03638.06616297.044269.92237.640125.03838.06217297.004270.05438.117125.01837.94118297.016270.08638.032125.03338.04519297.144269.95438.103125.02438.07020297.062269.99238.063125.04238.08521297.102269.96837.835125.01838.04722296.966269.93038.087125.05238.06523297.024270.09838.062125.06838.13524297.126270.07638.058125.05938.04325296.946270.03838.147125.05238.14026297.000270.00238.108125.04638.09327297.022269.9738.012125.06238.12228297.060270.03237.887125.03638.13829297.002270.03038.103125.06638.15630296.950270.01438.008125.05838.16931296.996270.04038.036125.06138.14632297.124270.04038.133125.06338.15133297.110269.83838.196125.09638.13134297.148269.91438.186125.08038.10935297.114269.89037.986125.07538.10636297.040269.93238.000125.04638.10537297.080269.92438.098124.80138.11038297.114270.01838.077125.06837.95539297.020269.96438.023125.07638.10340297.028269.97437.978125.06938.09241297.040270.07437.992125.08438.09842297.030269.97637.976125.07338.10643297.106269.99038.001125.07137.99744297.154269.93838.124125.08338.09245297.100270.05037.979125.06938.10246297.136270.04238.024125.03838.05747297.124269.99638.003125.06138.04848297.090269.98638.035125.05138.03849297.102269.99038.008125.05338.05450297.102270.11237.989124.99438.063數(shù)據(jù)覆蓋率96%98%96%100%100%晶粒度為保證數(shù)據(jù)對(duì)制定標(biāo)準(zhǔn)的代表性和可靠性，統(tǒng)計(jì)最近100組數(shù)據(jù)，統(tǒng)計(jì)結(jié)果如下表5所示。根據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果，按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值評(píng)估，數(shù)據(jù)覆蓋率達(dá)到97%以上，符合產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的要求。具體見(jiàn)表5。表5100組晶粒度數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)表＜100μm100-400μm＞400μm數(shù)據(jù)覆蓋率晶粒度0（0%）97（97%）3（3%）97%標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性、創(chuàng)新性、標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施后預(yù)期產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益4.1先進(jìn)性、創(chuàng)新性本標(biāo)準(zhǔn)是高純陽(yáng)極的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)，鈷陽(yáng)極的質(zhì)量直接關(guān)系后續(xù)鍍膜性能品質(zhì)，該標(biāo)準(zhǔn)的建立填補(bǔ)了鈷陽(yáng)極相關(guān)國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)缺失的不足。本標(biāo)準(zhǔn)在編制過(guò)程中，對(duì)國(guó)內(nèi)外鈷陽(yáng)極制造商和使用客戶進(jìn)行了充分的調(diào)研，對(duì)各項(xiàng)指標(biāo)的確定進(jìn)行了詳細(xì)論證，保證了本標(biāo)準(zhǔn)的可執(zhí)行性。通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的制定，為全面制定微電子領(lǐng)域用電子材料系列標(biāo)準(zhǔn)奠定了基礎(chǔ)，為鈷陽(yáng)極制造商對(duì)客戶要求和產(chǎn)品理解提供了依據(jù)，對(duì)鈷陽(yáng)極制造具有廣泛的借鑒意義和推廣價(jià)值。本標(biāo)準(zhǔn)在編制過(guò)程中，有研億金多次對(duì)國(guó)內(nèi)多個(gè)具有代表性的客戶、鈷陽(yáng)極制造商、原材料供應(yīng)商整個(gè)供應(yīng)鏈進(jìn)行摸底和調(diào)研，收集了大量的鈷陽(yáng)極參考數(shù)據(jù)，使得標(biāo)準(zhǔn)在起草過(guò)程中始終具有代表性，是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)編制方法的創(chuàng)新。4.2經(jīng)濟(jì)效益對(duì)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施后預(yù)期產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益進(jìn)行分析。隨著我國(guó)微電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，我國(guó)已逐漸成為電子薄膜材料需求最大的國(guó)家，國(guó)內(nèi)集成電路用鈷陽(yáng)極市場(chǎng)也將隨之日益擴(kuò)大，集成電路用鈷陽(yáng)極更多地應(yīng)用在高端產(chǎn)線，以12英寸產(chǎn)線為主，大陸客戶群體如某客戶1、某客戶2等；高純鈷陽(yáng)極在臺(tái)灣半導(dǎo)體市場(chǎng)需求量也在逐漸增加，如臺(tái)灣某客戶3等。通常高端高純鈷陽(yáng)極由國(guó)外廠家壟斷，近年來(lái)國(guó)內(nèi)研發(fā)和生產(chǎn)的高純鈷陽(yáng)極質(zhì)量不斷提升，已經(jīng)可以替代國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品，高純鈷陽(yáng)極標(biāo)準(zhǔn)的制定與實(shí)施，對(duì)國(guó)內(nèi)高純鈷陽(yáng)極產(chǎn)品進(jìn)行統(tǒng)一規(guī)范，與國(guó)外產(chǎn)品對(duì)齊，大大提高國(guó)內(nèi)鈷陽(yáng)極的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，具有較大的經(jīng)濟(jì)效益。4.3社會(huì)效益本標(biāo)準(zhǔn)是我國(guó)集成電路制造用高純鈷陽(yáng)極產(chǎn)品系列標(biāo)準(zhǔn)之一，不僅規(guī)范了國(guó)內(nèi)集成