1、1,第九章 磁電式傳感器,主要內(nèi)容： 9.1 磁電感應(yīng)式傳感器 9.2 霍爾式傳感器 9.3 磁敏傳感器,2,概述,導(dǎo)體和磁場發(fā)生相對運動時，在導(dǎo)體兩端有感應(yīng)電動勢輸出；磁電式傳感器就是利用電磁感應(yīng)原理，將運動速度、位移等物理量轉(zhuǎn)換成線圈中的感應(yīng)電動勢輸出。 磁電感應(yīng)式傳感器工作時不需要外加電源，可直接將被測物體的機械能轉(zhuǎn)換為電量輸出。是典型的無源傳感器。 特點：輸出功率大，穩(wěn)定可靠，可簡化二次儀表，但頻率響應(yīng)低，通常在10100HZ，適合作機械振動測量、轉(zhuǎn)速測量。傳感器尺寸大、重。,3,電感式傳感器是把被測量轉(zhuǎn)換成電感量的變化，磁電式傳感器通過檢測磁場的變化測量被測量。,磁電傳感器,霍爾傳感

2、器測轉(zhuǎn)速,4,9.1 磁電感應(yīng)式傳感器,9.1.1 工作原理,根據(jù)電磁感應(yīng)定律，N匝線圈在磁場中運動切割磁力線，線圈內(nèi)產(chǎn)生感應(yīng)電動勢e的大小與穿過線圈的磁通變化率有關(guān)。,式中：B 磁感應(yīng)強度， N0線圈匝數(shù)， L 每匝線圈長度， V 運動速度,5,由 磁電式傳感器靈敏度：,根據(jù)以上原理有兩種磁電感應(yīng)式傳感器： 恒磁通式：磁路系統(tǒng)恒定磁場，運動部件可以是線圈也可以是磁鐵。 變磁通式：線圈、磁鐵靜止不動，轉(zhuǎn)動物體引起磁阻、磁通變化。,6,圖為開磁路變磁通式：線圈、磁鐵靜止不動， 測量齒輪安裝在被測旋轉(zhuǎn)體上，隨被測體一起轉(zhuǎn)動。每轉(zhuǎn)動一個齒， 齒的凹凸引起磁路磁阻變化一次，磁通也就變化一次， 線圈中產(chǎn)

3、生感應(yīng)電勢，其變化頻率等于被測轉(zhuǎn)速與測量齒輪上齒數(shù)的乘積。這種傳感器結(jié)構(gòu)簡單，但輸出信號較小，且因高速軸上加裝齒輪較危險而不宜測量高轉(zhuǎn)速的場合。,7,圖為閉磁路變磁通式傳感器，它由裝在轉(zhuǎn)軸上的內(nèi)齒輪和外齒輪、永久磁鐵和感應(yīng)線圈組成，內(nèi)外齒輪齒數(shù)相同。 當(dāng)轉(zhuǎn)軸連接到被測轉(zhuǎn)軸上時，外齒輪不動，內(nèi)齒輪隨被測軸而轉(zhuǎn)動，內(nèi)、外齒輪的相對轉(zhuǎn)動使氣隙磁阻產(chǎn)生周期性變化，從而引起磁路中磁通的變化，使線圈內(nèi)產(chǎn)生周期性變化的感應(yīng)電動勢。 顯然， 感應(yīng)電勢的頻率與被測轉(zhuǎn)速成正比。,8,9.1.2 磁電感應(yīng)式傳感器基本特性,當(dāng)測量電路接入磁電傳感器電路時，如圖所示，磁電傳感器的輸出電流Io為,傳感器的電流靈敏度為,當(dāng)

4、傳感器的工作溫度發(fā)生變化或受到外界磁場干擾、受到機械振動或沖擊時，其靈敏度將發(fā)生變化，從而產(chǎn)生測量誤差，其相對誤差為,（9-1）,9,1. 非線性誤差 磁電式傳感器產(chǎn)生非線性誤差的主要原因是：由于傳感器線圈內(nèi)有電流I流過時，將產(chǎn)生一定的交變磁通I，此交變磁通疊加在永久磁鐵所產(chǎn)生的工作磁通上，使恒定的氣隙磁通變化, 如圖所示。當(dāng)傳感器線圈相對于永久磁鐵磁場的運動速度增大時，將產(chǎn)生較大的感應(yīng)電勢e和較大的電流I，由此而產(chǎn)生的附加磁場方向與原工作磁場方向相反，減弱了工作磁場的作用， 從而使得傳感器的靈敏度隨著被測速度的增大而降低。當(dāng)線圈的運動速度與圖所示方向相反時，感應(yīng)電勢e、線圈感應(yīng)電流反向，所產(chǎn)

5、生的附加磁場方向與工作磁場同向，從而增大了傳感器的靈敏度。 其結(jié)果是線圈運動速度方向不同時，傳感器的靈敏度具有不同的數(shù)值，使傳感器輸出基波能量降低，諧波能量增加, 即這種非線性特性同時伴隨著傳感器輸出的諧波失真。 顯然，傳感器靈敏度越高，線圈中電流越大，這種非線性越嚴重。,10,傳感器電流的磁場效應(yīng),11,2. 溫度誤差 當(dāng)溫度變化時，式（9-1）中右邊三項都不為零，對銅線而言每攝氏度變化量為dl/l0.16710-4, dR/R0.4310-2，dB/B每攝氏度的變化量決定于永久磁鐵的磁性材料。對鋁鎳鈷永久磁合金，dB/B-0.0210-2，這樣由式（9-1）可得近似值如下：,這一數(shù)值是很可

6、觀的，所以需要進行溫度補償。補償通常采用熱磁分流器。熱磁分流器由具有很大負溫度系數(shù)的特殊磁性材料做成。 它在正常工作溫度下已將空氣隙磁通分路掉一小部分。 當(dāng)溫度升高時， 熱磁分流器的磁導(dǎo)率顯著下降，經(jīng)它分流掉的磁通占總磁通的比例較正常工作溫度下顯著降低，從而保持空氣隙的工作磁通不隨溫度變化，維持傳感器靈敏度為常數(shù)。,12,9.1.3 磁電感應(yīng)式傳感器的應(yīng)用,磁電感應(yīng)式傳感器通常用來做機械振動測量。振動傳感器結(jié)構(gòu)大體分兩種： 動鋼型（線圈與殼體固定） 動圈型（永久磁鐵與殼固定）,動圈型,動鋼型,13,信號輸出測量電路 直接輸出電動勢測量速度； 接入積分電路測量位移； 接入微分電路測量加速度。,1

7、4,磁電式扭距傳感器： 當(dāng)扭距作用在轉(zhuǎn)軸上時，兩個磁電傳感器輸出的感應(yīng)電壓u1、u2存在相位差，相差與扭距的扭轉(zhuǎn)角成正比，傳感器可以將扭距引起的扭轉(zhuǎn)角轉(zhuǎn)換成相位差的電信號。,15,磁電式振動傳感器的特點： 磁電式振動傳感器是慣性式傳感器，不需要靜止的基準參考，可直接裝在被測體上。 傳感器是發(fā)電型傳感器，工作時可不加電壓，直接將機械能轉(zhuǎn)化為電能輸出。 速度傳感器的輸出電壓正比于速度信號，便于直接放大。 輸出阻抗低幾十幾千歐，對后置電路要求低，干擾小。 航空，發(fā)動機等設(shè)備的振動實驗； 兵器，坦克、火炮發(fā)射的振動持續(xù)時間影響第二次發(fā)射； 民用，機床、車輛、建筑、橋梁、大壩振動監(jiān)測。,16,9.2 霍

8、爾式傳感器,實際應(yīng)用中磁敏元件主要用于檢測磁場，而與人們相關(guān)的磁場范圍很寬，一般的磁敏傳感器檢測的最低磁場只能到 高斯。,磁場強度與磁場源的分布,17,測磁的方法： 利用電磁感應(yīng)作用的傳感器（強磁場）如： 磁頭、機電設(shè)備、測轉(zhuǎn)速、磁性標定、差動變壓器； 利用磁敏電阻、磁敏二極管、霍爾元件測量磁場； 利用磁作用傳感器，磁針、表頭、繼電器； 利用超導(dǎo)效應(yīng)傳感器； 利用核磁共振的傳感器，有光激型、質(zhì)子型。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，磁敏傳感器正向薄膜化，微型化和集成化方向發(fā)展。,18,概述,霍爾傳感器屬于磁敏元件，磁敏元件也是基于磁電轉(zhuǎn)換原理，磁敏傳感器是把磁學(xué)物理量轉(zhuǎn)換成電信號。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展

9、，磁敏元件得到應(yīng)用和發(fā)展，廣泛用于自動控制、信息傳遞、電磁場、生物醫(yī)學(xué)等方面的電磁、壓力、加速度、振動測量。 特點：結(jié)構(gòu)簡單、體積小、動態(tài)特性好、壽命長。,19,9.2.1 霍爾效應(yīng),1878年美國物理學(xué)家霍爾首先發(fā)現(xiàn)金屬中的霍爾效應(yīng)，因為太弱沒有得到應(yīng)用。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，人們發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)非常明顯，并且體積小有利于集成化。霍爾傳感器是基于霍爾效應(yīng)。,把一個導(dǎo)體（半導(dǎo)體薄片）兩端通以電流I，在垂直方向施加磁感強度B的磁場，在薄片的另外兩側(cè)會產(chǎn)生一個與控制電流I和磁場強度B的乘積成比例的電動勢 。 或通電的導(dǎo)體（半導(dǎo)體）放在磁場中，電流I與磁場B方向垂直，在導(dǎo)體另外兩側(cè)會產(chǎn)生感應(yīng)

10、電動勢，這種現(xiàn)象稱霍爾效應(yīng)。,20,霍爾效應(yīng)演示,當(dāng)磁場垂直于薄片時，電子受到洛侖茲力的作用，發(fā)生偏移，在半導(dǎo)體第二垂直方向端面之間建立起霍爾電勢。,21,在磁場作用下導(dǎo)體中的自由電子做定向運動。 每個電子受洛侖茲力作用被推向?qū)w的另一側(cè)：,霍爾電場作用于電子的力,霍爾電場,當(dāng)兩作用力相等時電荷不再 向兩邊積累達到動態(tài)平衡：,22,霍爾電勢：,通過（半）導(dǎo)體薄片的電流I與下列因素有關(guān)： 載流子濃度n，電子運動速度v，導(dǎo)體薄片橫截面積 b*d， q 為電子電荷量。,代入后：,與材料有關(guān),霍爾常數(shù),霍爾電勢與電流和磁場強度的乘積成正比,與薄片尺寸有關(guān),霍爾靈敏度,式中：電阻率、n電子濃度 電子遷移

11、率=/E 單位電場強度作用下載流子運動速度。,23,磁場不垂直于霍爾元件時的霍爾電動勢,若磁感應(yīng)強度B不垂直于霍爾元件，而是與其法線成某一角度 時，實際上作用于霍爾元件上的有效磁感應(yīng)強度是其法線方向（與薄片垂直的方向）的分量，即Bcos，這時的霍爾電勢為 UH=KHIBcos,結(jié)論：霍爾電勢與輸入電流I、磁感應(yīng)強度B成正比，且當(dāng)B的方向改變時，霍爾電勢的方向也隨之改變。如果所施加的磁場為交變磁場，則霍爾電勢為同頻率的交變電勢。,24,討論： 任何材料在一定條件下都能產(chǎn)生霍爾電勢，但不是都可 以制造霍爾元件; 絕緣材料電阻率很大，電子遷移率很小，不適用； 金屬材料電子濃度n很高，RH很小，UH很

12、小; 半導(dǎo)體材料電阻率較大 RH大，非常適于做霍爾元件，半導(dǎo)體中電子遷移率一般大于空穴的遷移率，所以霍爾元件多采用 N 型半導(dǎo)體（多電子）; 由上式可見，厚度d越小，霍爾靈敏度 KH 越大， 所以霍爾元件做的較薄，通常近似1微米(d1m) 。,25,9.2.2 霍爾元件的基本結(jié)構(gòu)與基本測量電路,1. 霍爾元件基本結(jié)構(gòu),霍爾元件的結(jié)構(gòu)很簡單，它是由霍爾片、四根引線和殼體組成的， 如圖（a）所示。 霍爾片是一塊矩形半導(dǎo)體單晶薄片， 引出四根引線： 1、 1兩根引線加激勵電壓或電流，稱激勵電極（控制電極）； 2、 2引線為霍爾輸出引線， 稱霍爾電極。 霍爾元件的殼體是用非導(dǎo)磁金屬、 陶瓷或環(huán)氧樹脂封

13、裝的。 在電路中， 霍爾元件一般可用兩種符號表示， 如圖（b）所示。,26,國產(chǎn)霍爾元件別號的命名方法如下：,常見的國產(chǎn)霍爾元件型號有HZ1、HZ2、HZ3、HT1、HT2、HS1等。,27,2. 霍爾傳感器基本電路,霍爾晶體的外形為矩形薄片有四根引線， 兩端加激勵，兩端為輸出，RL為負載電阻 ； 電源E通過R控制激勵電流I； B 磁場與元件面垂直（向里） 實測中可把I*B作輸入， 也可把I或B單獨做輸入； 通過霍爾電勢輸出測量結(jié)果。 輸出Uo與I或B成正比關(guān)系，或與I*B成正比關(guān)系。,28,霍爾元件的轉(zhuǎn)換效率較低，實際應(yīng)用中，為了獲得較大的霍爾電壓，可將幾個霍爾元件的輸出串聯(lián)起來，如圖所示，

14、在這種連接方法中，激勵電流極應(yīng)該是并聯(lián)的，如果將其接成串聯(lián)，霍爾元件將不能正常工作，雖然霍爾元件的串聯(lián)可以增加輸出電壓，但其輸出電阻也將增大。,29,9.2.3 霍爾元件的主要技術(shù)參數(shù),(1) 額定激勵電流和最大允許激勵電流 當(dāng)霍爾元件自身溫升10時所流過的激勵電流稱為額定激勵電流。 以元件允許最大溫升為限制所對應(yīng)的激勵電流稱為最大允許激勵電流。因霍爾電勢隨激勵電流增加而線性增加，所以使用中希望選用盡可能大的激勵電流，因而需要知道元件的最大允許激勵電流。改善霍爾元件的散熱條件，可以使激勵電流增加。,30,(2） 輸入電阻和輸出電阻 激勵電極間的電阻值稱為輸入電阻。霍爾電極輸出電勢對電路外部來說

15、相當(dāng)于一個電壓源，其電源內(nèi)阻即為輸出電阻。 以上電阻值是在磁感應(yīng)強度為零，且環(huán)境溫度在205時所確定的。,31,(3） 不等位電勢和不等位電阻 當(dāng)霍爾元件的激勵電流為I時，若元件所處位置磁感應(yīng)強度為零， 則它的霍爾電勢應(yīng)該為零，但實際不為零。這時測得的空載霍爾電勢稱為不等位電勢。 產(chǎn)生這一現(xiàn)象的原因有： 霍爾電極安裝位置不對稱或不在同一等電位面上； ,32, 半導(dǎo)體材料不均勻造成了電阻率不均勻或是幾何尺寸不均勻； , 激勵電極接觸不良造成激勵電流不均勻分布等。,33,(4） 寄生直流電勢 在外加磁場為零、霍爾元件用交流激勵時，霍爾電極輸出除了交流不等位電勢外，還有一直流電勢，稱為寄生直流電勢。

16、 其產(chǎn)生的原因有： 激勵電極與霍爾電極接觸不良， 形成非歐姆接觸， 造成整流效果； 兩個霍爾電極大小不對稱，則兩個電極點的熱容不同， 散熱狀態(tài)不同而形成極間溫差電勢。 寄生直流電勢一般在1mV以下，它是影響霍爾片溫漂的原因之一。,34,9.2.4 測量誤差及誤差的補償,1. 霍爾元件不等位電勢補償 不等位電勢與霍爾電勢具有相同的數(shù)量級，有時甚至超過霍爾電勢， 而實用中要消除不等位電勢是極其困難的，因而必須采用補償?shù)姆椒ā７治霾坏任浑妱輹r，可以把霍爾元件等效為一個電橋， 用分析電橋平衡來補償不等位電勢。,35,不等位電勢的補償： 分析不等位電勢時可把霍爾元件等效為一個電橋，不等位電壓相當(dāng)于橋路初

17、始有不平衡輸出U00，可在電阻大的橋臂上并聯(lián)電阻。,36,2.溫度補償, 霍爾元件是采用半導(dǎo)體材料制成的，因此它們的許多參數(shù)都具有較大的溫度系數(shù)。當(dāng)溫度變化時，霍爾元件的載流子濃度、 遷移率、電阻率及霍爾系數(shù)都將發(fā)生變化，從而使霍爾元件產(chǎn)生溫度誤差。 為了減小霍爾元件的溫度誤差， 除選用溫度系數(shù)小的元件或采用恒溫措施外，由UH=KHIB可看出：采用恒流源供電是個有效措施，可以使霍爾電勢穩(wěn)定。但也只能是減小由于輸入電阻隨溫度變化所引起的激勵電流I的變化的影響。,37,霍爾元件的靈敏系數(shù)KH也是溫度的函數(shù)，它隨溫度變化將引起霍爾電勢的變化?；魻栐撵`敏度系數(shù)與溫度的關(guān)系可寫成,KH=KH0(1+

18、T),大多數(shù)霍爾元件的溫度系數(shù)是正值，它們的霍爾電勢隨溫度升高而增加T倍。 但如果同時讓激勵電流Is相應(yīng)地減小， 并能保持KH Is 乘積不變，也就抵消了靈敏系數(shù)KH增加的影響。,38,電路中Is為恒流源，分流電阻Rp與霍爾元件的激勵電極相并聯(lián)。當(dāng)霍爾元件的輸入電阻隨溫度升高而增加時，旁路分流電阻Rp自動地增大分流，減小了霍爾元件的激勵電流IH，從而達到補償?shù)哪康摹?39,霍爾集成電路可分為線性型和開關(guān)型兩大類。,線性型集成電路是將霍爾元件和恒流源、線性差動放大器等做在一個芯片上，輸出電壓為伏級，比直接使用霍爾元件方便得多。較典型的線性型霍爾器件如UGN3501等。,線性型三端 霍爾集成電路,

19、9.2.5 霍爾集成傳感器,40,線性型霍爾特性,右圖示出了具有雙端差動輸出特性的線性霍爾器件的輸出特性曲線。當(dāng)磁場為零時，它的輸出電壓等于零；當(dāng)感受的磁場為正向（磁鋼的S極對準霍爾器件的正面）時， 輸出為正；磁場反向時，輸出為負。,請畫出線性范圍,41,開關(guān)型霍爾集成電路,開關(guān)型霍爾集成電路是將霍爾元件、穩(wěn)壓電路、放大器、施密特觸發(fā)器、OC門（集電極開路輸出門）等電路做在同一個芯片上。當(dāng)外加磁場強度超過規(guī)定的工作點時，OC門由高阻態(tài)變?yōu)閷?dǎo)通狀態(tài)，輸出變?yōu)榈碗娖?；?dāng)外加磁場強度低于釋放點時，OC門重新變?yōu)楦咦钁B(tài)，輸出高電平。較典型的開關(guān)型霍爾器件如UGN3020等。,42,開關(guān)型霍爾集成電路的

20、外形及內(nèi)部電路,OC門,施密特 觸發(fā)電路,雙端輸入、 單端輸出運放,霍爾 元件,.,Vcc,43,開關(guān)型霍爾集成電路的史密特輸出特性,回差越大，抗振動干擾能力就越強。,44,9.2.6 霍爾傳感器的應(yīng)用,霍爾電勢是關(guān)于I、B、 三個變量的函數(shù)，即 EH=KHIBcos 。利用這個關(guān)系可以使其中兩個量不變，將第三個量作為變量，或者固定其中一個量，其余兩個量都作為變量。這使得霍爾傳感器有許多用途。,45,霍爾傳感器用于測量磁場強度,霍爾元件,測量鐵心 氣隙的B值,46,霍爾轉(zhuǎn)速表,在被測轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)軸上安裝一個齒盤，也可選取機械系統(tǒng)中的一個齒輪，將線性型霍爾器件及磁路系統(tǒng)靠近齒盤。齒盤的轉(zhuǎn)動使磁路的磁

21、阻隨氣隙的改變而周期性地變化，霍爾器件輸出的微小脈沖信號經(jīng)隔直、放大、整形后可以確定被測物的轉(zhuǎn)速。,47,霍爾轉(zhuǎn)速表原理,當(dāng)齒對準霍爾元件時，磁力線集中穿過霍爾元件，可產(chǎn)生較大的霍爾電動勢，放大、整形后輸出高電平；反之，當(dāng)齒輪的空擋對準霍爾元件時，輸出為低電平。,48,霍爾轉(zhuǎn)速傳感器在汽車防抱死裝置（ABS）中的應(yīng)用,若汽車在剎車時車輪被抱死，將產(chǎn)生危險。用霍爾轉(zhuǎn)速傳感器來檢測車輪的轉(zhuǎn)動狀態(tài)有助于控制剎車力的大小。,帶有微型磁鐵的霍爾傳感器,鋼質(zhì),霍爾,49,霍爾式無觸點汽車電子點火裝置,采用霍爾式無觸點電子點火裝置能較好地克服汽車合金觸點點火時間不準確、觸點易燒壞、高速時動力不足等缺點。,汽

22、車點火線圈,高壓輸出接頭,12V低壓電源輸入接頭,50,霍爾式無觸點汽車電子點火裝置工作原理,采用霍爾式無觸點電子點火裝置無磨損、點火時間準確、高速時動力足。,桑塔納汽車霍爾式分電器示意圖,1-觸發(fā)器葉片 2-槽口 3-分電器轉(zhuǎn)軸 4-永久磁鐵 5-霍爾集成電路（PNP型霍爾IC）,a）帶缺口的觸發(fā)器葉片 b）觸發(fā)器葉片與永久磁鐵及霍爾集成電路之間的安裝關(guān)系 c）葉片位置與點火正時的關(guān)系,51,霍爾式無觸點汽車電子點火裝置(續(xù)）,當(dāng)葉片遮擋在霍爾IC面前時，PNP型霍爾IC的輸出為低電平，晶體管功率開關(guān)處于導(dǎo)通狀態(tài)，點火線圈低壓側(cè)有較大電流通過，并以磁場能量的形式儲存在點火線圈的鐵芯中。,當(dāng)葉

23、片槽口轉(zhuǎn)到霍爾IC面前時，霍爾IC輸出跳變?yōu)楦唠娖?，?jīng)反相變?yōu)榈碗娖剑_林頓管截止，切斷點火線圈的低壓側(cè)電流。由于沒有續(xù)流元件，所以存儲在點火線圈鐵心中的磁場能量在高壓側(cè)感應(yīng)出3050kV的高電壓。,52,53,霍爾式無刷電動機,霍爾式無刷電動機取消了換向器和電刷，而采用霍爾元件來檢測轉(zhuǎn)子和定子之間的相對位置，其輸出信號經(jīng)放大、整形后觸發(fā)電子線路，從而控制電樞電流的換向，維持電動機的正常運轉(zhuǎn)。由于無刷電動機不產(chǎn)生電火花及電刷磨損等問題，所以它在錄像機、CD唱機、光驅(qū)等家用電器中得到越來越廣泛的應(yīng)用。,普通直流電動機使用的電刷和換向器,54,55,霍爾式接近開關(guān),當(dāng)磁鐵的有效磁極接近、并達到動作

24、距離時，霍爾式接近開關(guān)動作?；魻柦咏_關(guān)一般還配一塊釹鐵硼磁鐵。,56,霍爾式接近開關(guān),用霍爾IC完成接近開關(guān)的功能，但是它只能用于鐵磁材料的檢測，并且還需要建立一個較強的閉合磁場。,在右圖中，當(dāng)磁鐵隨運動部件移動到距霍爾接近開關(guān)幾毫米時，霍爾IC的輸出由高電平變?yōu)榈碗娖?，?jīng)驅(qū)動電路使繼電器吸合或釋放，控制運動部件停止移動（否則將撞壞霍爾IC）起到限位的作用。,57,霍爾電流傳感器,將被測電流的導(dǎo)線穿過霍爾電流傳感器的檢測孔。當(dāng)有電流通過導(dǎo)線時，在導(dǎo)線周圍將產(chǎn)生磁場，磁力線集中在鐵心內(nèi)，并在鐵心的缺口處穿過霍爾元件，從而產(chǎn)生與電流成正比的霍爾電壓。,58,59,9.3 磁敏傳感器,磁敏元件也是基于磁電轉(zhuǎn)換原理,60年代西門子公司研制了第一個磁敏元件,68年索尼公司研制成磁敏二極管,目前磁敏元件應(yīng)用廣泛。,