第12章傳感器的標(biāo)定與校準

傳感器的標(biāo)定與校準：通過試驗，建立傳感器的輸出-輸入特性及其誤差關(guān)系。

傳感器的標(biāo)定與校準方法：標(biāo)準設(shè)備產(chǎn)生已知非電量—輸入量，測試被標(biāo)定傳感器相應(yīng)的輸出量，并與輸入量比較，作出標(biāo)定圖表。

傳感器的標(biāo)定系統(tǒng)：被測非電量的標(biāo)準發(fā)生器與標(biāo)準測試系統(tǒng)；待標(biāo)傳感器與配接的信號調(diào)理和顯示、記錄器等。

靜態(tài)標(biāo)定—標(biāo)定靜態(tài)特性：靈敏度，線性度，

傳感器的標(biāo)定精度…；

動態(tài)標(biāo)定—動態(tài)特性參數(shù)（；n，）測試；動態(tài)標(biāo)定信號：階躍信號或正弦信號。

傳感器的標(biāo)定與校準的目的:保正測量的準確、統(tǒng)一和法制性。12.1測量誤差基本概念12.1.1測量與測量誤差

1.測量“測量是以確定量值為目的的一種操作”。這種“操作”就是測量中的比較過程——將被測參數(shù)與其相應(yīng)的測量單位進行比較的過程。實現(xiàn)比較的工具就是測量儀器儀表（簡稱儀表）。

檢測是意義更為廣泛的測量，它包含測量和檢驗的雙重含義。工程參數(shù)檢測就是用專門的技術(shù)工具（儀表），依靠能量的變換、實驗和計算找到被測量的值。一個完整檢測過程應(yīng)包括：

信息的獲取—傳感器(一次儀表)；

信號的調(diào)理—變送器(二次儀表)；

信號的顯示與記錄—顯示、記錄儀(二次儀表)。12.1測量誤差基本概念

2.測量誤差

檢測儀表獲得的測量值與被測變量的真實值之間存在一定的差異，這一差異稱為測量誤差。

誤差公理—實驗結(jié)果都具有誤差，誤差自始至終存在于一切科學(xué)實驗的過程之中。測量誤差有絕對誤差和相對誤差之分。

（1）絕對誤差絕對誤差在理論上是指測量值x與被測量的真值xi之間的差值，即=xxi=xx0(真值xi一般用相對真值x0代替）絕對誤差是可正可負的，而不是誤差的絕對值；絕對誤差還有量綱，它的單位與被測量的單位相同。

12.1測量誤差基本概念（2）相對誤差實際相對誤差：（14-3）標(biāo)稱相對誤差（或示值相對誤差）（14-4）

測量誤差是對某一次具體測量好壞的評價。12.1測量誤差基本概念12.1.2儀表誤差

1.儀表誤差術(shù)語①測量儀表的示值誤差=儀表示值x-真實值xi=xx0(xi用約定真值x0來代替

)相對示值誤差②測量儀表的最大允許誤差定義是“對給定的測量儀表，規(guī)范、規(guī)程等所允許的誤差極限值”。有時也稱為測量儀表的允許誤差限，或簡稱允許誤差（允）。

12.1測量誤差基本概念③測量儀表的固有誤差常稱為測量儀表的基本誤差。定義是“在參考條件下確定的測量儀表的誤差”。此參考條件也稱為標(biāo)準條件，是指為測量儀表的性能試驗或為測量結(jié)果的相互比較而規(guī)定的使用條件，一般包括作用于測量儀表的各影響量的參考值或參考范圍。

④附加誤差附加誤差是指測量儀表在非標(biāo)準條件時所增加的誤差，它是由于影響量存在和變化而引起的，如溫度附加誤差、壓力附加誤差等等。

12.1測量誤差基本概念3.精確度（簡稱精度）

儀表誤差：（儀表）引用誤差：儀表的準確度用儀表的最大引用誤差max（即儀表的最大允許誤差允）來表示，即式中，max—儀表在測量范圍內(nèi)的最大絕對誤差；

儀表誤差整體上評價儀表在其測量范圍內(nèi)測量的好壞。12.1測量誤差基本概念儀表精度等級a（去掉儀表誤差的“”號和“%”）

a=0.005，0.01，0.02，0.05；0.1，0.2，(0.4)，0.5；Ⅰ級標(biāo)準表Ⅱ級標(biāo)準表

1.0，1.5，2.5，(4.0)；等工業(yè)用表

儀表的基本誤差：

max=儀表量程a%12.1測量誤差基本概念

3．儀表變差（升降變差）

升降變差（又稱回程誤差或示值變差），是指在相同條件下，使用同一儀表對某一參數(shù)進行正、反行程測量時，對應(yīng)于同一測量值所得的儀表示值不等，正、反行程示值之差的絕對值稱為升降變差，即（升降）變差＝正行程示值反行程示值儀表變差也用最大引用誤差表示，即

必須注意，儀表的變差不能超出儀表的允許誤差（或基本誤差）。

圖14-1測量儀表的變差12.1測量誤差基本概念

例12-2某測溫傳感器的測量范圍為0~1000℃，根據(jù)工藝要求，溫度指示值的誤差不允許超過7℃，試問應(yīng)如何選擇傳感器的精度等級才能滿足以上要求?解：根據(jù)工藝要求，傳感器的精度應(yīng)滿足：此精度介于0.5級和1.0級之間，若選擇精度等級為1.0級的傳感器，其允許最大絕對誤差為10℃，這就超過了工藝要求的允許誤差，故應(yīng)選擇0.5級的精度才能滿足工藝要求。

根據(jù)工藝要求來選擇儀表精度等級時，儀表的精度等級值應(yīng)不大于工藝要求所計算的精度值12.2傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定

1.靜態(tài)標(biāo)定條件

（205）℃；≤85%RH；（76060）mm汞柱

2.標(biāo)定儀器設(shè)備（標(biāo)準量具）精度等級的確定●標(biāo)準量具的精度等級比被標(biāo)定傳感器至少高一個等級；●附加設(shè)備又必須比標(biāo)準量具至少高一個等級。

3.靜態(tài)特性標(biāo)定方法——比較法●創(chuàng)造一個靜態(tài)標(biāo)準條件；●選擇標(biāo)準量具；●標(biāo)定步驟：

全量程等間隔分點標(biāo)定；

正、反行程往復(fù)循環(huán)一定次數(shù)逐點標(biāo)定（輸入標(biāo)準量，測試傳感器相應(yīng)的輸出量）；

列出傳感器輸出-輸入數(shù)據(jù)表格或繪制輸出-輸入特性曲線；

數(shù)據(jù)處理獲取相應(yīng)的靜態(tài)特指標(biāo)。12.2傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定

例14-1

0~2MPa壓力傳感器的標(biāo)定（輸出電壓1~5V；1.5級)，K=2V/MPa

標(biāo)定數(shù)據(jù)表輸入壓力(MPa)0.000.200.400.600.801.001.201.401.601.802.00輸出電壓(V)升1.021.401.792.192.562.983.413.784.174.574.98輸出電壓(V)降1.011.421.812.232.583.053.433.824.204.595.01平均（V）1.021.411.802.212.573.023.423.804.194.584.99升降變差（V）0.010.020.020.040.020.070.020.040.030.020.03絕對誤差(V)0.020.010.000.01-0.030.020.020.00-0.01-0.02-0.01

m=0.03V,最大升降變差0.07V，所以max=nm=0.07/(5-1)100%=0.07/4100%=1.75%

根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)，該表只能定為2.5級。12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定一階傳感器的單位階躍響應(yīng)（如圖1-15）y(t)=1et/時間常數(shù)表示傳感器在階躍信號作用下，其響應(yīng)的輸出值達到最終穩(wěn)定值的63.5%所經(jīng)過的時間。只用到一個實驗數(shù)據(jù)。圖1-15一階傳感器的階躍響應(yīng)(a)單位階躍信號；(b)一階傳感器階躍響應(yīng)曲線12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定

若改寫上式為：1y(t)=et/=ez，z=ln1y(t)（14-1）其中，z=t/，z與t線性。作z~t曲線，其斜率t/z=，由此確定時間常數(shù)考慮了傳感器瞬態(tài)響應(yīng)的全過程。如圖14-2所示。圖14-3而階傳感器(1)的階躍響應(yīng)圖14-2求一階傳感器時間常數(shù)方法12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定

二、二階傳感器的動態(tài)標(biāo)定

確定傳感器的阻尼比和固有頻率n

。欠阻尼二階傳感器的階躍響應(yīng)（如圖14-3）圖14-3二階傳感器(1)的階躍響應(yīng)12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定圖14-4-M曲線12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定若衰減振蕩緩慢，過程較長，可測Mi和Mi+n來求，n為兩峰值相隔的周期數(shù)。設(shè)Mi對應(yīng)的時間為ti，則Mi+n對應(yīng)的時間為將ti和ti+n代入欠阻尼二階傳感器的階躍響應(yīng)式，得整理后得式中12.3傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定

當(dāng)0.1時，√1–2

1，則也可以利用正弦信號輸入，測定傳感器輸出與輸入的幅值比和相位差來確定傳感器的幅頻特性和相頻特性，然后根據(jù)幅頻特性分別按圖14-5和14-6來求一階傳感器的時間常數(shù)和欠阻尼二階傳感器的阻尼比和固有頻率n。圖14-5由幅頻特性求一階14-6由幅頻特性求欠阻尼傳感器時間常數(shù)

二階除按感情的和012.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

●杠桿式測力計標(biāo)定裝置，如圖14-9所示，砝碼重量與壓力的關(guān)系W=pSb/a

p=Wa/Sb圖14-9杠桿式壓力標(biāo)定機示意圖12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準●彈簧式測力計標(biāo)定裝置，如圖14-10所示，p=F/S式中，F(xiàn)—測力計檢定表所測得的傳感器所受的力；S—傳感器的受力面積。圖4-10彈簧測力計式壓力標(biāo)定機12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

●非穩(wěn)態(tài)標(biāo)定利用非穩(wěn)態(tài)（階躍）壓力信號和階躍函數(shù)理論進行標(biāo)定。非穩(wěn)態(tài)（階躍）壓力源有：快卸荷閥；脈沖膜片；閉式爆炸器；激波管等?！窦げü芊欠€(wěn)態(tài)壓力標(biāo)定

特點：

●結(jié)構(gòu)簡單，可產(chǎn)生較理想的瞬態(tài)“標(biāo)準”壓力；

●壓力幅度范圍寬，便于改變壓力值；

●壓力頻率范圍寬（2kHz~1.5MHz）；

●便于分析研究和數(shù)據(jù)處理。12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

１.結(jié)構(gòu)

主要由激波管、入射激波測速系統(tǒng)、標(biāo)定測量系統(tǒng)、氣源等組成，如圖14-12所示。12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

激波管所產(chǎn)生的激波如圖14-15所示。

入射激波的階躍壓力為

反射激波的階躍壓力為

式中，Ms—馬赫數(shù)。由測速系統(tǒng)決定。12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

2.入射激波測速系統(tǒng)

由壓電式壓力傳感器6和7、前置電荷放大器8和頻率計組成。

Ms定義式中，v0—0℃時的聲速，v0=331.36m/s；vT—T℃時的聲速；=1/273=0.00366。12.4壓力傳感器的標(biāo)定和校準

3.標(biāo)定測量系統(tǒng)

由被標(biāo)定傳感器5和6、前置電荷放大器10及記憶示波器11等組成，可測階躍響應(yīng)波形，如圖14-14所示。由響應(yīng)波形進行數(shù)據(jù)分析處理，直接求得傳感器的幅頻特性及動態(tài)靈敏度。傳感器5響應(yīng)入射激波階躍壓力，傳感器6響應(yīng)反射激波階躍壓力。

4.氣源系統(tǒng)由氣源、氣壓表、泄氣門等組成。常采用壓縮空氣或氮氣。圖14-14被標(biāo)定傳感器輸出波形12.5振動傳感器的標(biāo)定和校準

振動信號源：振動臺產(chǎn)生正弦激勵的標(biāo)定信號。

一、絕對標(biāo)定法激光光波長度作為振幅量值的絕對基準，測出振動信號的振幅值Xm(m)；精密數(shù)字頻率計測出振動臺的振動頻率f(1/s)；精密數(shù)字電壓表測出傳感器輸出電壓值Erms(mV)。被標(biāo)振動傳感器的加速度靈敏度Sa為12.5振動傳感器的標(biāo)定和校準

二、比較標(biāo)定法

將被標(biāo)傳感器與標(biāo)準測振傳感器“背靠背”安裝在振動臺上。標(biāo)定時，分別測出被標(biāo)傳感器與標(biāo)準測振傳感器的輸出電壓值Ua和U，若標(biāo)準測振傳感器的加速度靈敏度為Sa0，則被標(biāo)傳感器加速度靈敏度Sa為

Sa=Sa0·U/Ua頻率響應(yīng)的標(biāo)定，在振幅恒定條件下，改變振動臺的振動頻率，測出傳感器輸出電壓與振動頻率的關(guān)系，即幅頻響應(yīng)。比較被標(biāo)傳感器與標(biāo)準傳感器輸出信號間的相位差，可得傳感器的相頻特性。圖14-16振動傳感器比較標(biāo)定系統(tǒng)12.6溫度傳感器的標(biāo)定和校準

12.6.1溫標(biāo)的基本概念1.溫標(biāo)溫度的基準量，規(guī)定溫度的始點（零度）和測量溫度的基本單位。

溫標(biāo)的三要素：溫度固定點，標(biāo)準溫度計(測溫物質(zhì))，內(nèi)插公式。

2.熱力學(xué)溫標(biāo)（K）1848年英國開爾文（L.Kelvin)提出以以熱力學(xué)第二定律為基礎(chǔ)的熱力學(xué)溫標(biāo)，選定水的三相點為273.16K，定義水的三相點溫度的1/273.16為1度，單位為開爾文，簡稱K(1954年國際計量會議)。熱力學(xué)溫度也稱為絕對溫度。

12.6溫度傳感器的標(biāo)定和校準

3.國際實用溫標(biāo)（IPTS-68，ITS-90）

溫度的基本單位與熱力學(xué)溫標(biāo)相同，其標(biāo)度具有11個固定點。如表14-2所示。測量各固定點之間溫度值得方法：13.81K~630.74℃范圍內(nèi)用基準鉑電阻溫度計進行插補，電阻-溫度關(guān)系由一個已知的插補函數(shù)確定；630.74℃~1064.43℃范圍內(nèi)，采用