靜電防護(hù)講議第一頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五2.傳導(dǎo):電荷的轉(zhuǎn)移,示意圖如下:

AB

電量相等電荷轉(zhuǎn)移

++++++++++++++++++++++++第二頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五

3.感應(yīng):帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電,示意圖如下:AB靜電感應(yīng)只對導(dǎo)體和半導(dǎo)體才有作用.++++++++++++

——++

——++——++第三頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五二.靜電電荷產(chǎn)生的種類:1>.摩擦2>.分離3>.電場感應(yīng)4>.傳導(dǎo)第四頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五三.靜電電荷對微電子工業(yè)的影響:

1.微粒污染:在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因.當(dāng)芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵.2.ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效:靜電放電時當(dāng)放電電流過大,產(chǎn)生過高熱能,將會擊穿集成電路內(nèi)部線路.3.三種擊穿現(xiàn)象:1>.熱擊穿:P-N破壞

2>.介電擊穿:氧化層的破壞

3>.金屬汽化:金屬線被汽化而開路第五頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五四.半導(dǎo)體的靜電敏感度:

裝置型式

靜電放電敏感度範(fàn)圍(伏)

裝置型式

靜電放電敏感度範(fàn)圍(伏)

VMOS30~1800散粒(肖特基)二極管300~2500MOSFET100~200薄片電阻(厚,細(xì))300~3000GaASFET100~300雙向晶體管380~7000EPROM100ECL(發(fā)射極偶合邏輯電路)500~1500JFET140~7000SCR(可控硅)680~1000SAW150~1500散粒(肖特基)晶體管1000~2500OP-AMP190~2500散粒晶體管邏輯電路1000~2500CMOS250~3000第六頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五五.靜電放電的三種型式:

1.人體型式:當(dāng)人體活動時身體和衣服之間摩擦產(chǎn)生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉(zhuǎn)移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.微電子器件帶電型式:在自動化生產(chǎn)過程中,一些塑料器件因摩擦產(chǎn)生靜電,通過ESD敏感裝置接觸,造成損壞.3.場感應(yīng)型式:在有強電場圍繞時,能通過感應(yīng)方法損壞ESD敏感裝置.第七頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五六.靜電電荷的消除原理:1.接地:將導(dǎo)體材料接通大地,把靜電電荷傳導(dǎo)到大地.2.離子中和:用離子發(fā)生設(shè)備產(chǎn)生離子,來中和物體表面所帶靜電荷.3.屏蔽:用高導(dǎo)電性材料做成屏蔽層,使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.第八頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五七.

ESD等級分類：等級電壓範(fàn)圍典型設(shè)備00~100VEPROM,VMOS,MOSFET,GAAS,FET,SAM1100~1000VSCR,JFET,薄膜電阻,二極管21000~4000VProtectedMOS,SCHOTTKY,TTL,OP-AMPandLSI34000~15000V大多其它半導(dǎo)體第九頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五八.預(yù)防措施:

a.人員

凡生產(chǎn)中可能接觸到電子元器件或產(chǎn)品的人遇均需具備一定的靜電防護(hù)措施.1、在線生產(chǎn)人員必須佩戴有線防靜電手環(huán)方可作業(yè),該有線防靜電手環(huán)應(yīng)與專用之接地線相連;2、非在線之作業(yè)員,設(shè)備操作員,現(xiàn)場之管理干部及周邊單位(工程、品管、檢測、企劃等)技術(shù)員、工程師等需佩戴證明有效的無線式防靜電手環(huán)；第十頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五

3、SMT現(xiàn)場之工作人員,除佩戴相應(yīng)之防靜電手環(huán)外,還應(yīng)該穿防靜電服與防靜鞋;4、品檢人員應(yīng)佩戴證明有效的無線式防靜電手環(huán),但當(dāng)檢驗靜電敏感器件(如IC,電晶體,二極體,晶振)等時,或帶有ESDS器件的產(chǎn)品時的,必須戴有線防靜電手環(huán).第十一頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五b.設(shè)備與工具

1、生產(chǎn)設(shè)備,包括插件線、輸送帶、各種焊錫機、水洗機、前加工設(shè)備、吸放板機、錫膏印刷機，貼片機等必須要有專用導(dǎo)線與接地線相連；2、接觸靜電敏感元器件的工作臺,檢驗桌,修理桌等,表面必須覆蓋導(dǎo)電性桌墊,且必須有專用導(dǎo)線與接地線相連;第十二頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五

3、焊錫修理等應(yīng)使用瓷質(zhì)絕緣的電鉻鐵/吸錫槍,電熱絲部分是低壓控溫并接地(三極插頭),接地電阻低于10Ω,且前端溫度控制在360±20℃;4、各類量測與測試設(shè)備同樣必須要有接地.在線測試機和ATE要有專用導(dǎo)線與接地線相連,如使用三極插頭,顯示板表面應(yīng)定期噴有靜電防止劑(一月一次).第十三頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五

5、靜電壓表、靜電場表應(yīng)能夠檢驗超過±200伏靜電壓;6、用於查核ESD不間斷接地的測量儀應(yīng)能檢查出小於1歐姆的電阻值;7、用於測量工作臺表面電阻測量儀應(yīng)能讀出10^12ohm電阻率及小於它的值.第十四頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五c.接地

1、ESD接地可以是設(shè)備的接地(使用三極插座中的第三極),或?qū)Ｓ玫拇蟮亟拥?并保證接地電阻低于1Ω.2、專用接地線要使用銅編織線、有線式防靜電手環(huán)、導(dǎo)電性桌墊、設(shè)備上除電源外和接地器等要通過導(dǎo)線與專用接地線相連，或者使用導(dǎo)線將上述設(shè)施與三極插座的接地端相連.第十五頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五

3、整個建筑物必須要有一個集中的接地系統(tǒng).4、所有新的專用接地保護(hù)線和電源地線要經(jīng)過技術(shù)人員的全檢確認(rèn)方可投入使用.5、用來檢測防靜電專用接地線的儀器、儀表等要求能測出小于1Ω的電阻值。第十六頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五九.作業(yè)時要注意:

7.1拿取IC時手指不可觸碰到IC腳;拿取電晶體,FET時盡可能手不要接觸到引線腳部分;7.2高頻FET或電晶體盡可能安排在最后插件工站并立即進(jìn)行焊錫工程;7.3拿取基板成品,半成品時,手不可觸及焊錫面,金手指,測試點及配線等;7.4作業(yè)中掉落地板上的電子ESDS類零件(IC,電晶體,二極體,晶振等)不可再用或經(jīng)過測試再確認(rèn)OK后才可使用.第十七頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五十.防靜電手環(huán)的管制：

1、將有效之防靜電手環(huán)戴在手腕上,務(wù)必保證其金屬部位緊貼于皮膚.有線式防靜電手環(huán)之接線相應(yīng)扣好,且接線與專用接地線良好接觸;2、所有佩戴防靜電手環(huán)的人員于每日上班前檢查其有效性,并將結(jié)果記錄于防靜電手環(huán)檢測記錄表(編號:FQC11011B)內(nèi),如有異常應(yīng)立即更換,新請購之靜電環(huán)手環(huán)在驗收時,亦要經(jīng)過測試以保證其有效性.

第十八頁，共二十頁，編輯于2023年，星期五3、防靜電手環(huán)的檢測方案如下:3.1將校正合格之防靜電手環(huán)測試儀HAKK0498之接地線與靜電環(huán)的接地線相連(夾緊);3.2以佩戴防靜電手環(huán)的手指(盡量保持干燥)觸壓HAKK0498之測試盤;3.3若測試儀上“LOW”紅燈亮,表示該防靜電手環(huán)之阻抗小于800KΩ,不能用,若“HIGH”紅燈亮，表示該防靜電手環(huán)之阻抗大于9MΩ,亦不能用,若“GOOD”綠燈亮且伴有蜂鳴者,則表示該防靜電手環(huán)合格,可以使用.第十九頁，共二十頁，編輯于2023年，星期