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文檔簡介
2/2半導(dǎo)體器件鍵合用鋁絲目次前言…………………3范圍……………4規(guī)范性引用文件………………4術(shù)語和定義……………………4分類和標(biāo)記……………………4產(chǎn)品分類…………………4產(chǎn)品標(biāo)記…………………4技術(shù)要求………………………5化學(xué)成分…………………5尺寸及其允許偏差………………………5力學(xué)性能…………………7表面質(zhì)量…………………7工藝性能…………………7繞線要求…………………7放線性能…………………7試驗(yàn)方法………………………8檢驗(yàn)規(guī)則………………………8檢查于驗(yàn)收………………8組批………………………8檢驗(yàn)項(xiàng)目…………………8取樣………………………8檢驗(yàn)結(jié)果的判定…………8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存及隨行文件………8標(biāo)志………………………8包裝………………………9運(yùn)輸………………………9貯存………………………9隨行文件(或質(zhì)量證明書)……………9附錄A………………10附錄B………………10附錄C………………10前言本文件按照GB/T。1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替YS/T641-2007《半導(dǎo)體器件鍵合用鋁絲》,與之相比主要變化如下:增加目次更改了規(guī)范性引用文件(見2,2007版的2)增加術(shù)語和定義(見3)更改了鋁線的類別、型號和直徑(見4.1,2007版見3.1)更改了化學(xué)成分(見5.1,2007版見3.2)更改了直徑及力學(xué)性能(見5.2,2007版見)繞線要求增加交叉繞(見5.4.2,2007版見3.5.2)增加了鋁鎂絲密度(見6.5.5)更改了取樣規(guī)則(見7.4.4,2007版見5.4.4)更改了檢驗(yàn)結(jié)果的判定(見7.5,2007版見5.5)更改了貯存濕度(見8.3.3,2007版見6.4.3)更改了了附錄A,增加了鋁線軸標(biāo)準(zhǔn)(見表A.1,2007版見表A.1))1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件鍵合用鋁絲的分類和標(biāo)記、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件鍵合用鋁絲(以下簡稱鋁絲)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T20975.3鋁及鋁合金化學(xué)分析方法銅含量的測定GB/T20975.4鋁及鋁合金化學(xué)分析方法鐵含量的測定GB/T20975.5鋁及鋁合金化學(xué)分析方法硅含量的測定GB/T20975.11鋁及鋁合金化學(xué)分析方法鉛含量的測定GB/T20975.14鋁及鋁合金化學(xué)分析方法鎳含量的測定GB/T20975.16鋁及鋁合金化學(xué)分析方法鎂含量的測定GB/T7999鋁及鋁合金光電直讀發(fā)射光譜分析方法YS/T244(所有部分)高純鋁化學(xué)分析方法YS/T871高純鋁化學(xué)分析方法3.術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義用于本文件3.1鍵合鋁絲Aluminumbondingwire由鋁棒拉拔和退火而成,截面為圓形的絲材,用于半導(dǎo)體鍵合封裝工藝3.2生產(chǎn)率波動范圍rangeofelongation鋁絲產(chǎn)品實(shí)際測量伸長率時的允許偏差,即為至少三個伸長率實(shí)測值的極差4分類和標(biāo)記4.1產(chǎn)品分類鋁絲的類別、型號和規(guī)格見表1表1類別型號直徑mm純鋁絲AL4N0.100-0.500AL4NCR高純鋁絲AL4N5合金鋁絲AlMgAlSi0.025-0.100注:需方需要其它規(guī)格產(chǎn)品時,由供需雙方協(xié)商確定后,在訂單/合同中注明。4.2標(biāo)記示例鋁絲的標(biāo)記必須能夠保證每卷鋁絲的標(biāo)識唯一,實(shí)現(xiàn)可追溯性,推薦的標(biāo)識方法如下:□□□□□□□□生產(chǎn)序號月份年份5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分鋁絲化學(xué)成分須符合下列表格要求:表2%型號AL不小于參雜元素不大于雜質(zhì)不大于AL4N599.9950.020.03AL4N99.99-0.1AL4NCR99.990.070.03表3%型號AL不小于Mg參雜元素不大于雜質(zhì)不大于AlMg990.4-0.60.40.1表4%型號ALSi雜質(zhì)不大于AlSi≥991±0.150.15.2公稱直徑和力學(xué)性能鋁絲各型號(AL4N5、AL4N、AL4NCR、AlMg、AlSi)公稱直徑和力學(xué)性能標(biāo)準(zhǔn)見下表5。表5AL4N5鋁絲機(jī)械性能標(biāo)準(zhǔn)公稱直徑允許偏差延伸長率拉斷力伸長率波動范圍mmmm%10-2N%0.10.04>0.530-6050.1250.05>150-9050.150.05>180-12050.20.06>1150-23050.250.06>1200-30050.30.06>5280-40050.3750.07>5450-650100.40.07>5500-700100.50.08>5850-110010表6AL-4N鋁絲機(jī)械性能標(biāo)準(zhǔn)公稱直徑允許偏差伸長率拉斷力伸長率波動范圍mmmm%10-2N%0.10.045-2050-13050.1250.055-3070-18050.150.055-30130-25050.1750.0610-30170-25050.20.0610-30200-35050.250.0610-30300-48050.30.0610-30400-70050.3750.0710-30500-1100100.40.0710-30600-1200100.50.0810-30800-200010表7AL-4NCR鋁絲機(jī)械性能標(biāo)準(zhǔn)公稱直徑允許偏差延伸率斷裂負(fù)荷伸長率波動范圍mmmm%10-2N%0.10.040.5-1550-13050.1250.055-3070-13050.150.055-30100-20050.1750.065-30100-23050.20.0610-30120-33050.250.0610-30210-50050.30.0610-30310-75050.3750.0710-30450-1100100.40.0710-30500-1250100.50.0810-30800-190010表8AlMg鋁絲機(jī)械性能標(biāo)準(zhǔn)公稱直徑允許偏差伸長率拉斷力伸長率波動范圍mmmm%10-2N%0.10.05>5120-16050.1250.05>5150-20050.1750.06>5250-42050.20.06>10270-43050.30.06>10700-95050.3750.07>101250-1600100.40.07>101300-1700100.50.08>152000-270010表9AlSi鋁絲機(jī)械性能標(biāo)準(zhǔn)(B/L,E/L)公稱直徑允許偏差延伸率斷裂負(fù)荷伸長率波動范圍mmmm%10-2N%0.0250.001>111-1630.0300.001>116-2430.0320.001>116-2530.0380.001>121-3830.0500.002>240-6530.0750.003>270-12030.1000.004>2120-25035.3表面質(zhì)量5.3.1線材表面應(yīng)無指痕、拉絲潤滑液及清洗液痕跡,無顆粒附加物和其他污染。5.3.2線材表面應(yīng)無明顯刻痕、凹坑、劃傷、裂紋、凸起、打折和其他降低器件使用壽命的缺陷。5.4繞線要求5.4.1使用的線軸見附錄A中規(guī)定要求或其他需方要求的線軸。5.4.2多層平繞或交叉繞。5.4.3線的始端和末端采用不同顏色的標(biāo)志貼緊。一般情況下,標(biāo)志貼紅色為始端,黑色為末端。5.4.4每軸線的長度偏差范圍:±1%6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分分析方法6.1.1鋁絲的化學(xué)成份仲裁分析:銅的分析方法按GB/T20975.3的規(guī)定進(jìn)行,鐵的分析方法按照GB/T20975.4的規(guī)定進(jìn)行,硅的分析方法按照GB/T20975.5的規(guī)定進(jìn)行,鉛的分析方法按照GB/T20975.11的規(guī)定進(jìn)行,鎳的分析方法按照GB/T20975.14的規(guī)定進(jìn)行,鎂的分析方法按照GB/T20975.16的規(guī)定進(jìn)行。上述化學(xué)成分也可以按照GB/T7999的規(guī)定進(jìn)行測試。6.1.2高純鋁絲的化學(xué)成分分析按YS/T244(所有部分)的規(guī)定進(jìn)行,或按YS/T871的規(guī)定進(jìn)行。6.2力學(xué)性能檢測方法鋁絲的力學(xué)性能檢測方法按附錄B的規(guī)定進(jìn)行。6.3直徑尺寸檢測方法使用精確度為0.001mm的千分尺直接測量。6.4表面質(zhì)量檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)方法按照附錄C的規(guī)定進(jìn)行。6.5長度檢測6.5.1采用稱重法間接測量鋁線長度,具體方法如下:6.5.2在待檢鋁絲放到天平上稱重3次,取平均值m1;6.5.3放掉鋁絲然后稱量3次,空線軸重量為m2;6.5.4使用千分尺對放下的鋁絲直徑測量3次,取平均值d;6.5.5根據(jù)以下公式和鋁的密度ρ=2.7g/cm3(其中鋁鎂絲ρ=2.69g/cm3),計算出每軸鋁線的長度L=4*(m1-m2)/(ρ*π*d2)其中L的單位為米,精確至0.1米;m1單位為克,精確至0.1克;m2單位為克,精確至0.1克。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品由質(zhì)量保證部進(jìn)行檢驗(yàn),保證最終產(chǎn)品符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定,并在發(fā)貨時填寫質(zhì)量證明書。7.1.2需方收到產(chǎn)品,可按照本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行驗(yàn)收,如檢驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定不符時,應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個月內(nèi)向供方提出,由供需雙方協(xié)商解決,如需仲裁,仲裁由供需雙方在需方共同進(jìn)行。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收,批次的劃分應(yīng)盡可能保證批次內(nèi)產(chǎn)品的均一穩(wěn)定性;例如按照爐次、型號、規(guī)格、成型模具等組批。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目每批產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、表面質(zhì)量、直徑尺寸、長度、力學(xué)性能檢驗(yàn),合同中注明的檢驗(yàn)項(xiàng)目也應(yīng)進(jìn)行檢驗(yàn)。7.4取樣規(guī)則7.4.1鋁絲的化學(xué)成份按爐次取樣化驗(yàn)。7.4.2對于同一批號的抽樣,可隨機(jī)取一軸進(jìn)行直徑尺寸的檢驗(yàn)。7.4.3其他項(xiàng)目的檢驗(yàn),從包裝后入庫前的成品中取樣,取樣時按不同批號,不同的繞線長度分別取樣,取樣數(shù)量不少于所抽軸數(shù)的1%,最少不得低于2軸。7.4.4產(chǎn)品的取樣位置和取樣數(shù)量應(yīng)符合下表的規(guī)定。檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣規(guī)定要求的章條號試驗(yàn)方法章條號化學(xué)成分可以依據(jù)供方提交原始材料的分析結(jié)果,需方可在成品軸上取樣分析5.16.1力學(xué)性能每批次不少于1軸,每軸最少5個點(diǎn),測試點(diǎn)間隔1m以上5.26.2直徑尺寸每批次不少于1軸5.26.3表面質(zhì)量逐軸進(jìn)行檢查5.36.4長度每批次不少于1軸5.4.36.57.5檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.5.1產(chǎn)品化學(xué)成分、直徑長度及其允許偏差、力學(xué)性能中的任一項(xiàng)不合格時,判該產(chǎn)品批不合格。7.5.2產(chǎn)品放線性能不合格時,允許雙倍抽樣進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn),其中一軸不合格時,判該批不合格。7.5.3產(chǎn)品表面質(zhì)量、繞線要求不合格時,判該批不合格,單允許對該批產(chǎn)品的表面進(jìn)行逐軸檢驗(yàn),合格的重新組批。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存及隨行文件8.1標(biāo)志8.1.1在檢驗(yàn)合格后產(chǎn)品的包裝箱上應(yīng)作如下標(biāo)志:a)制造公司名稱b)其他需方所要求的項(xiàng)目8.1.2鋁絲標(biāo)簽應(yīng)包括下列內(nèi)容:a)鋁絲型號;b)鋁絲純度;c)鋁絲批號;d)起始端標(biāo)貼紙顏色;e)鋁絲直徑;f)單軸長度;g)數(shù)量:h)力學(xué)性能(伸長率、拉斷力);i)生產(chǎn)日期、到期日期;j)制造公司名稱;k)其他需方所要求的項(xiàng)目。8.2包裝8.2.1內(nèi)包裝要求a)包裝后的線軸放入盒內(nèi)不能松動;b)包裝盒要有一定的強(qiáng)度,并有防塵的作用。8.2.2外包裝要求a)將鋁絲盒整齊地排列在紙箱內(nèi),必要時加填海綿或泡沫,確保鋁絲不能從線盒內(nèi)松脫;b)外包裝箱上要求注明“易碎物品”和“向上”標(biāo)志,以保證線軸軸向在運(yùn)輸過程中保持水平方向。8.3運(yùn)輸、貯存8.3.1嚴(yán)禁同化學(xué)活性物質(zhì)及潮濕性材料存放在一起。8.3.2搬運(yùn)和裝卸時應(yīng)注意輕拿輕放,以防產(chǎn)品碰傷。8.3.3貯存溫度:10-40℃,濕度:20%-70%。8.4隨行文件(或質(zhì)量證明書)每批產(chǎn)品的每個直徑規(guī)格應(yīng)附有隨行文件(或質(zhì)量證明書),應(yīng)包括以下內(nèi)容:a)供方公司名稱;b)鋁絲型號;c)批號;d)化學(xué)成分;e)直徑;f)力學(xué)性能(伸長率、拉斷力);g)單軸長度及總長度;h)檢驗(yàn)員及檢驗(yàn)部門;i)生產(chǎn)日期、到期日期、出廠日期;j)起始端標(biāo)貼紙顏色;k)其他需方要求的項(xiàng)目附錄A(規(guī)范性附錄)鋁絲線軸規(guī)定A.1范圍本附錄適用于鋁絲的繞線線軸。A.2尺寸要求A.2.1線軸表面要求平整光潔,不得有毛刺、變形和妨礙鋁絲流暢放線的附著物。A.2.2形狀要求規(guī)則,法蘭雙邊線軸結(jié)構(gòu)見圖表A.1線軸類型材料法蘭直徑線軸直徑軸孔直徑排線寬度總寬度4”-PS-DF工程塑料φ119mm±1.5mmφ104mm±0.2mmφ11mm±0.1mm15mm±0.1mm20mm±0.5mm工程塑料±1.5mmφ50mm±0.2mm±0.1mm±0.1mm30.5mm±0.5mm鋁鋁法蘭雙邊線軸A.法蘭直徑B.管芯直徑C.內(nèi)徑D.總寬度E.繞線寬度附錄B規(guī)范性附錄力學(xué)性能檢測方法B.1范圍本附錄適用于檢測鋁絲的力學(xué)性能。B.2設(shè)備及工具張力測試儀、鑷子B.3測試條件試樣標(biāo)準(zhǔn)長度:254
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