中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF2306—2025

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)慣性沖擊開關(guān)

校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSecificationforMicro-electromechanicalSstemsMEMS

py()

InertialShockSwitches

2025-09-08發(fā)布2025-12-08實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF2306—2025

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)慣性

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沖擊開關(guān)校準(zhǔn)規(guī)范?

JJF2306—2025

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CalibrationSpecificationforMicro-electromechanical??

SstemsMEMSInertialShockSwitches

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歸口單位:全國(guó)慣性技術(shù)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

主要起草單位:北京大學(xué)

安徽京芯傳感科技有限公司

廣東省計(jì)量科學(xué)研究院

北京智芯傳感科技有限公司

參加起草單位:北京空間機(jī)電研究所

本規(guī)范委托全國(guó)慣性技術(shù)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF2306—2025

本規(guī)范主要起草人:

張威北京大學(xué)

()

張亞婷安徽京芯傳感科技有限公司

()

楊德俊廣東省計(jì)量科學(xué)研究院

()

李宋北京智芯傳感科技有限公司

()

參加起草人:

周浩楠北京智芯傳感科技有限公司

()

白先民北京空間機(jī)電研究所

()

陳得民北京大學(xué)

()

JJF2306—2025

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和定義

3……………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

校準(zhǔn)環(huán)境條件

6.1………………………(2)

儀器及設(shè)備

6.2…………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目及方法

7………………………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目

7.1……………(3)

校準(zhǔn)方法

7.2……………(3)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(6)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式

A……………(7)

附錄慣性沖擊開關(guān)測(cè)量不確定度評(píng)估示例

BMEMS………………(8)

Ⅰ

JJF2306—2025

引言

通用計(jì)量術(shù)語及定義國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范編號(hào)

JJF1001—2011《》、JJF1071—2010《

規(guī)則測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成制定本規(guī)范的基礎(chǔ)性系

》、JJF1059.1—2012《》

列規(guī)范

。

本規(guī)范在參考低閾值沖擊加速度開關(guān)通用規(guī)范和

GJB8154—2013《》IEC62047—

半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部分微機(jī)電慣性沖擊開關(guān)閾值測(cè)試方法

40《40:》(Sem-

iconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—Part40:TestmethodsofMicro-

中和的基礎(chǔ)上并結(jié)合

electromechanicalinertialshockswitchthreshold)3.15.2.1.2,

微機(jī)電系統(tǒng)慣性沖擊開關(guān)的自身特性編制

(MEMS)。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF2306—2025

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)慣性沖擊開關(guān)

校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范規(guī)定了微機(jī)電系統(tǒng)慣性沖擊開關(guān)的校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法本規(guī)范

(MEMS)。

適用于量程為22的常開型和常閉型沖擊開關(guān)的校準(zhǔn)

490m/s~98000m/s。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

沖擊碰撞試驗(yàn)臺(tái)檢定規(guī)程

JJG1174—2021、

振動(dòng)沖擊轉(zhuǎn)速計(jì)量術(shù)語及定義

JJF1156—2006

慣性技術(shù)計(jì)量術(shù)語及定義

JJF1675—2017

半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部分微機(jī)電慣性沖擊開關(guān)閾值測(cè)

IEC62047-4040:

試方法

(Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—Part40:Testmeth-

odsofMicro-electromechanicalinertialshockswitchthreshold)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用

JJF1675—2017、JJF1156—2006IEC62047-40

于本規(guī)范

。

慣性沖擊開關(guān)

3.1MEMSMEMSinertialshockswitch

采用技術(shù)加工制作并在規(guī)定大小的加速度作用下通過固定電極和可動(dòng)電

MEMS,

極的接觸分離實(shí)現(xiàn)閉合斷開功能的器件

、、。

注:也稱為閾值開關(guān)、加速度開關(guān)或者g值開關(guān)。

動(dòng)作

3.2act

沖擊加速度開關(guān)動(dòng)作是指開關(guān)閉合