《GB/T28893-2024表面化學(xué)分析

俄歇電子能譜和X射線(xiàn)光電子能譜

測(cè)定峰強(qiáng)度的方法和報(bào)告結(jié)果所需的信息》專(zhuān)題研究報(bào)告目錄標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)背后的行業(yè)密碼:GB/T28893-2024為何重塑AES與XPS峰強(qiáng)度測(cè)定規(guī)則?樣品前處理的隱形門(mén)檻:標(biāo)準(zhǔn)如何規(guī)范樣品制備以規(guī)避峰強(qiáng)度測(cè)定系統(tǒng)誤差?峰強(qiáng)度計(jì)算的方法博弈:標(biāo)準(zhǔn)推薦的積分法與微分法該如何根據(jù)場(chǎng)景選擇?不同材料領(lǐng)域的應(yīng)用適配:標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體與復(fù)合材料中如何調(diào)整測(cè)定策略?與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的銜接與差異:GB/T28893-2024如何平衡國(guó)際兼容性與本土需求?峰強(qiáng)度測(cè)定的核心邏輯拆解:專(zhuān)家視角解析標(biāo)準(zhǔn)中AES/XPS關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)設(shè)定依據(jù)儀器校準(zhǔn)的精準(zhǔn)之道:深度剖析標(biāo)準(zhǔn)中儀器性能驗(yàn)證與校準(zhǔn)的實(shí)操指南結(jié)果報(bào)告的信息維度:標(biāo)準(zhǔn)要求的必備信息為何是數(shù)據(jù)溯源與互認(rèn)的關(guān)鍵?誤差控制的進(jìn)階路徑:專(zhuān)家解讀標(biāo)準(zhǔn)中系統(tǒng)誤差與隨機(jī)誤差的防控要點(diǎn)未來(lái)5年技術(shù)發(fā)展預(yù)判:標(biāo)準(zhǔn)將如何適配AES/XPS聯(lián)用技術(shù)的測(cè)定新挑戰(zhàn)準(zhǔn)升級(jí)背后的行業(yè)密碼：GB/T28893-2024為何重塑AES與XPS峰強(qiáng)度測(cè)定規(guī)則？舊版標(biāo)準(zhǔn)的局限性：哪些問(wèn)題催生了本次標(biāo)準(zhǔn)修訂？舊版標(biāo)準(zhǔn)在峰強(qiáng)度測(cè)定方法的細(xì)節(jié)界定上存在模糊地帶，如不同儀器間的參數(shù)設(shè)置缺乏統(tǒng)一參照，導(dǎo)致同一樣品在不同實(shí)驗(yàn)室測(cè)定結(jié)果偏差較大。隨著材料表征精度要求提升，舊版對(duì)新興材料（如二維材料）的測(cè)定適配性不足，且在數(shù)據(jù)溯源環(huán)節(jié)的規(guī)定缺失，難以滿(mǎn)足當(dāng)前行業(yè)對(duì)結(jié)果可靠性的高要求，這些問(wèn)題推動(dòng)了標(biāo)準(zhǔn)修訂。12行業(yè)技術(shù)發(fā)展的驅(qū)動(dòng)：AES與XPS技術(shù)突破對(duì)標(biāo)準(zhǔn)提出哪些新需求？近年來(lái)，AES與XPS儀器向高分辨率、快掃描速度升級(jí)，原位表征技術(shù)的應(yīng)用日益廣泛，傳統(tǒng)測(cè)定方法已無(wú)法充分發(fā)揮新儀器性能。同時(shí)，半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域?qū)Ρ砻嬖囟烤纫筮_(dá)到0.1%級(jí)別，舊標(biāo)準(zhǔn)的峰強(qiáng)度測(cè)定精度已滯后，亟需新標(biāo)準(zhǔn)明確新設(shè)備操作規(guī)范與高精度測(cè)定流程。數(shù)據(jù)互認(rèn)的現(xiàn)實(shí)訴求：標(biāo)準(zhǔn)如何破解跨實(shí)驗(yàn)室結(jié)果不一致難題？A跨實(shí)驗(yàn)室結(jié)果差異的核心在于測(cè)定流程與參數(shù)選擇的隨意性。新標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)統(tǒng)一樣品處理、儀器校準(zhǔn)、峰強(qiáng)度計(jì)算的全流程規(guī)范，建立標(biāo)準(zhǔn)化操作框架。明確峰強(qiáng)度測(cè)定的環(huán)境條件（如真空度、溫度）記錄要求，強(qiáng)制納入結(jié)果報(bào)告，為數(shù)據(jù)比對(duì)與互認(rèn)提供統(tǒng)一基準(zhǔn)，破解長(zhǎng)期存在的結(jié)果不一致困局。B峰強(qiáng)度測(cè)定的核心邏輯拆解：專(zhuān)家視角解析標(biāo)準(zhǔn)中AES/XPS關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)設(shè)定依據(jù)激發(fā)源參數(shù)的選擇邏輯：為何標(biāo)準(zhǔn)對(duì)X射線(xiàn)源與電子束源參數(shù)有嚴(yán)格限定？激發(fā)源參數(shù)直接決定光電子/俄歇電子的產(chǎn)率與能量分辨率。標(biāo)準(zhǔn)限定X射線(xiàn)源的陽(yáng)極材料（如Al、Mg）與加速電壓，是因不同陽(yáng)極材料的特征X射線(xiàn)能量對(duì)應(yīng)特定元素的激發(fā)需求，可減少非目標(biāo)元素干擾。電子束源的束流與直徑限定，則為平衡測(cè)定靈敏度與空間分辨率，避免束流過(guò)大導(dǎo)致樣品損傷。12能量分析器參數(shù)的優(yōu)化依據(jù)：標(biāo)準(zhǔn)推薦的passenergy設(shè)定有何深意？Passenergy（通過(guò)能）直接影響能量分析器的分辨率與傳輸效率。標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)測(cè)定目的推薦不同passenergy：定性分析選低passenergy以獲高分辨率，精準(zhǔn)識(shí)別峰位；定量分析選高passenergy提升傳輸效率，增強(qiáng)峰強(qiáng)度信號(hào)。這種差異化設(shè)定，是基于“分辨率與靈敏度權(quán)衡”的核心原則，確保不同場(chǎng)景下數(shù)據(jù)可靠性。掃描參數(shù)的設(shè)定原理：掃描速度與步長(zhǎng)如何影響峰強(qiáng)度測(cè)定準(zhǔn)確性？01掃描速度過(guò)快會(huì)導(dǎo)致信號(hào)采集不充分，峰強(qiáng)度偏低；過(guò)慢則延長(zhǎng)測(cè)定時(shí)間，且可能因樣品漂移引入誤差。標(biāo)準(zhǔn)推薦的掃描速度范圍，是結(jié)合儀器響應(yīng)速度與樣品穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)得出。步長(zhǎng)設(shè)定需匹配能量分析器分辨率，步長(zhǎng)過(guò)小會(huì)增加數(shù)據(jù)量但無(wú)額外增益，步長(zhǎng)過(guò)大則丟失峰形細(xì)節(jié)，標(biāo)準(zhǔn)給出的最優(yōu)步長(zhǎng)區(qū)間可實(shí)現(xiàn)效率與精度平衡。02樣品前處理的隱形門(mén)檻：標(biāo)準(zhǔn)如何規(guī)范樣品制備以規(guī)避峰強(qiáng)度測(cè)定系統(tǒng)誤差？樣品清潔的標(biāo)準(zhǔn)流程：為何表面污染物去除是峰強(qiáng)度測(cè)定的首要步驟？表面污染物（如碳?xì)浠衔铩⑺ぃ?huì)產(chǎn)生干擾峰，掩蓋目標(biāo)元素峰信號(hào)，導(dǎo)致峰強(qiáng)度計(jì)算偏差。標(biāo)準(zhǔn)明確樣品清潔方法：揮發(fā)性污染物用有機(jī)溶劑超聲清洗，吸附污染物用氬離子濺射，且限定濺射時(shí)間與離子能量，避免過(guò)度濺射損傷樣品表面。這一步驟是消除基體干擾、確保峰強(qiáng)度真實(shí)性的關(guān)鍵前提。樣品形貌與尺寸的規(guī)范要求：不規(guī)則樣品如何滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)測(cè)定條件？不規(guī)則樣品易導(dǎo)致電子收集效率不均，引發(fā)峰強(qiáng)度波動(dòng)。標(biāo)準(zhǔn)要求樣品尺寸適配樣品臺(tái)，高度差不超過(guò)5mm，曲面樣品需進(jìn)行平整化處理或采用傾斜樣品臺(tái)。對(duì)粉末樣品，需通過(guò)壓片或分散在導(dǎo)電基底上制備，保證樣品導(dǎo)電性一致，避免電荷積累影響電子傳輸，從而減少形貌差異帶來(lái)的系統(tǒng)誤差。樣品導(dǎo)電性處理的操作準(zhǔn)則：絕緣樣品為何必須進(jìn)行導(dǎo)電修飾？01絕緣樣品在電子束或X射線(xiàn)照射下會(huì)積累電荷，導(dǎo)致峰位偏移與峰強(qiáng)度衰減。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定絕緣樣品需進(jìn)行噴金、噴碳處理，明確鍍層厚度（通常5-10nm）與均勻性要求，既保證導(dǎo)電性又不掩蓋表面目標(biāo)元素信號(hào)。對(duì)于超薄絕緣樣品，推薦采用導(dǎo)電膠帶固定，這些規(guī)范為絕緣樣品的準(zhǔn)確測(cè)定提供了操作依據(jù)。02儀器校準(zhǔn)的精準(zhǔn)之道：深度剖析標(biāo)準(zhǔn)中儀器性能驗(yàn)證與校準(zhǔn)的實(shí)操指南能量校準(zhǔn)的核心步驟：標(biāo)準(zhǔn)如何以基準(zhǔn)元素峰位實(shí)現(xiàn)能量標(biāo)尺校準(zhǔn)？1能量校準(zhǔn)是確保峰位準(zhǔn)確、進(jìn)而保證峰強(qiáng)度計(jì)算基礎(chǔ)的關(guān)鍵。標(biāo)準(zhǔn)指定Au4f7/2、Cu2p3/2、Ag3d5/2等基準(zhǔn)元素，要求定期測(cè)定其峰位，與標(biāo)準(zhǔn)參考值對(duì)比，偏差超過(guò)0.1eV時(shí)需調(diào)整能量分析器參數(shù)。校準(zhǔn)過(guò)程需在標(biāo)準(zhǔn)推薦的儀器狀態(tài)（如真空度≥10-7Pa）下進(jìn)行，確保校準(zhǔn)結(jié)果的可靠性與溯源性。2靈敏度校準(zhǔn)的實(shí)施方法：為何要以標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰強(qiáng)度比進(jìn)行靈敏度驗(yàn)證？靈敏度直接影響峰強(qiáng)度的定量準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)采用已知元素組成的標(biāo)準(zhǔn)樣品（如合金標(biāo)樣），測(cè)定各元素特征峰與基準(zhǔn)峰的強(qiáng)度比，與標(biāo)準(zhǔn)參考比值對(duì)比，偏差超5%需進(jìn)行靈敏度校正。通過(guò)校準(zhǔn)可消除儀器響應(yīng)差異導(dǎo)致的峰強(qiáng)度失真，確保不同儀器或同一儀器不同時(shí)期的測(cè)定結(jié)果具有可比性。12儀器穩(wěn)定性的監(jiān)控要求：標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的日常性能檢查有哪些關(guān)鍵指標(biāo)？?jī)x器穩(wěn)定性是長(zhǎng)期測(cè)定數(shù)據(jù)可靠的保障。標(biāo)準(zhǔn)要求每日開(kāi)機(jī)后測(cè)定基準(zhǔn)元素峰的半高寬（FWHM）與峰強(qiáng)度重復(fù)性，F(xiàn)WHM變化超10%或峰強(qiáng)度相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD）超3%時(shí)，需排查真空系統(tǒng)、激發(fā)源等部件。定期進(jìn)行真空度與泄漏率檢測(cè)，這些監(jiān)控指標(biāo)構(gòu)成了儀器性能的常態(tài)化保障體系。峰強(qiáng)度計(jì)算的方法博弈：標(biāo)準(zhǔn)推薦的積分法與微分法該如何根據(jù)場(chǎng)景選擇？積分法的適用場(chǎng)景與操作細(xì)節(jié)：為何定量分析優(yōu)先選擇積分法？1積分法通過(guò)計(jì)算峰面積獲得峰強(qiáng)度，受峰形輕微偏移的影響較小，定量準(zhǔn)確性更高，因此標(biāo)準(zhǔn)將其列為定量分析的首選方法。操作中需明確基線(xiàn)確定方式（如線(xiàn)性基線(xiàn)、Shirley基線(xiàn)），對(duì)重疊峰需進(jìn)行分峰擬合，標(biāo)準(zhǔn)推薦采用最小二乘法擬合，限定擬合殘差低于5%，確保積分結(jié)果的可靠性。2微分法的應(yīng)用邊界與誤差控制：AES定性分析中微分法的優(yōu)勢(shì)何在？01微分法通過(guò)計(jì)算峰的一階導(dǎo)數(shù)極值獲得峰強(qiáng)度，能有效突出弱峰信號(hào)，在AES定性分析中可提高低含量元素的檢出率。但微分法對(duì)噪聲敏感，標(biāo)準(zhǔn)要求測(cè)定前對(duì)原始數(shù)據(jù)進(jìn)行平滑處理（如Savitzky-Golay平滑），限定平滑窗口寬度，同時(shí)明確微分法僅用于定性或半定量分析，避免其在高精度定量中引入較大誤差。02重疊峰處理的標(biāo)準(zhǔn)方案：如何依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)多元素峰的精準(zhǔn)拆分？重疊峰是峰強(qiáng)度測(cè)定的常見(jiàn)難題，標(biāo)準(zhǔn)提出“先定性識(shí)別，再擬合拆分”的方案。首先通過(guò)高分辨率掃描確定重疊峰包含的元素種類(lèi)，然后選擇合適的峰形函數(shù)（如洛倫茲函數(shù)、高斯函數(shù)），根據(jù)元素化學(xué)態(tài)設(shè)定峰位差與峰面積比約束條件，擬合后計(jì)算各單峰強(qiáng)度。標(biāo)準(zhǔn)要求擬合結(jié)果需經(jīng)殘差分析驗(yàn)證，確保拆分合理性。結(jié)果報(bào)告的信息維度：標(biāo)準(zhǔn)要求的必備信息為何是數(shù)據(jù)溯源與互認(rèn)的關(guān)鍵？樣品信息的完整披露：哪些樣品細(xì)節(jié)是結(jié)果解讀的核心依據(jù)？01標(biāo)準(zhǔn)要求報(bào)告需包含樣品名稱(chēng)、材質(zhì)、制備方法、前處理流程（如清潔、導(dǎo)電修飾）等信息。這些細(xì)節(jié)決定了峰強(qiáng)度數(shù)據(jù)的背景語(yǔ)境，例如經(jīng)濺射處理的樣品與原始樣品的峰強(qiáng)度差異，需結(jié)合濺射參數(shù)解讀。完整的樣品信息可幫助第三方判斷數(shù)據(jù)適用性，是結(jié)果溯源的基礎(chǔ)。02儀器與測(cè)定參數(shù)的詳細(xì)記錄：為何參數(shù)透明化是數(shù)據(jù)互認(rèn)的前提？報(bào)告需全面記錄儀器型號(hào)、激發(fā)源參數(shù)（如X射線(xiàn)源陽(yáng)極材料、電子束束流）、能量分析器參數(shù)（如passenergy）、掃描參數(shù)（如步長(zhǎng)、掃描次數(shù)）等。參數(shù)不同會(huì)直接導(dǎo)致峰強(qiáng)度差異，只有參數(shù)透明化，其他實(shí)驗(yàn)室才能通過(guò)復(fù)現(xiàn)測(cè)定條件驗(yàn)證結(jié)果，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)互認(rèn)。標(biāo)準(zhǔn)將參數(shù)記錄列為強(qiáng)制性要求，強(qiáng)化數(shù)據(jù)的可追溯性。峰強(qiáng)度數(shù)據(jù)與不確定度的呈現(xiàn)規(guī)范：如何符合標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)果表達(dá)要求？01標(biāo)準(zhǔn)要求峰強(qiáng)度需同時(shí)報(bào)告數(shù)值與單位（如counts/s或積分counts），采用積分法時(shí)需注明基線(xiàn)類(lèi)型，采用微分法時(shí)需說(shuō)明平滑參數(shù)。不確定度是衡量結(jié)果可靠性的關(guān)鍵，需通過(guò)重復(fù)性實(shí)驗(yàn)計(jì)算，報(bào)告中需明確不確定度的來(lái)源（如儀器誤差、擬合誤差）與計(jì)算方法，數(shù)值保留一位有效數(shù)字，確保結(jié)果表達(dá)的規(guī)范性與嚴(yán)謹(jǐn)性。02不同材料領(lǐng)域的應(yīng)用適配：標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體與復(fù)合材料中如何調(diào)整測(cè)定策略？半導(dǎo)體材料的特殊測(cè)定需求：標(biāo)準(zhǔn)如何適配芯片表面超薄層的峰強(qiáng)度測(cè)定？A半導(dǎo)體芯片表面的超薄層（厚度＜10nm）對(duì)測(cè)定靈敏度與空間分辨率要求極高。標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)此類(lèi)樣品，推薦采用單色化X射線(xiàn)源降低背景噪聲，選擇小束斑電子束（直徑＜5μm）實(shí)現(xiàn)微區(qū)測(cè)定，采用Ar離子深度剖析與峰強(qiáng)度測(cè)定結(jié)合，獲取層間元素峰強(qiáng)度分布。同時(shí)要求縮短測(cè)定時(shí)間，避免樣品受熱損傷。B復(fù)合材料的測(cè)定難點(diǎn)突破：多相結(jié)構(gòu)中如何依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)獲取準(zhǔn)確峰強(qiáng)度？復(fù)合材料的多相異質(zhì)性易導(dǎo)致峰強(qiáng)度分布不均，標(biāo)準(zhǔn)提出“分區(qū)測(cè)定+統(tǒng)計(jì)分析”策略。首先通過(guò)形貌觀(guān)察劃分不同相區(qū)，在每個(gè)相區(qū)選擇3個(gè)以上測(cè)點(diǎn)測(cè)定峰強(qiáng)度，計(jì)算平均值與RSD。對(duì)界面區(qū)域，采用線(xiàn)掃描模式測(cè)定峰強(qiáng)度變化，明確界面寬度計(jì)算方法。這些調(diào)整解決了復(fù)合材料峰強(qiáng)度測(cè)定的代表性問(wèn)題。金屬材料的氧化層分析：標(biāo)準(zhǔn)如何通過(guò)峰強(qiáng)度比判斷氧化程度？金屬表面氧化層的厚度與成分可通過(guò)峰強(qiáng)度比表征，標(biāo)準(zhǔn)明確以金屬基體峰與氧化態(tài)峰的強(qiáng)度比作為判斷依據(jù)。例如測(cè)定鋁合金時(shí)，通過(guò)Al2p0峰（金屬鋁）與Al2p3/2峰（氧化鋁）的強(qiáng)度比，結(jié)合氧化層厚度計(jì)算公式，推算氧化層厚度。同時(shí)要求測(cè)定前去除表面污染層，避免干擾峰影響強(qiáng)度比計(jì)算。誤差控制的進(jìn)階路徑：專(zhuān)家解讀標(biāo)準(zhǔn)中系統(tǒng)誤差與隨機(jī)誤差的防控要點(diǎn)系統(tǒng)誤差的識(shí)別與消除：哪些因素會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)性偏差，如何依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)避？系統(tǒng)誤差主要來(lái)源于儀器校準(zhǔn)不足、樣品處理不當(dāng)與參數(shù)設(shè)置不合理。標(biāo)準(zhǔn)要求通過(guò)定期能量與靈敏度校準(zhǔn)消除儀器誤差；嚴(yán)格執(zhí)行樣品清潔與導(dǎo)電處理流程，避免樣品相關(guān)誤差；根據(jù)測(cè)定目的選擇標(biāo)準(zhǔn)推薦的參數(shù)組合，減少參數(shù)設(shè)置誤差。同時(shí)推薦采用標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)進(jìn)行驗(yàn)證，若測(cè)定值與標(biāo)準(zhǔn)值偏差超限，需排查系統(tǒng)誤差來(lái)源。隨機(jī)誤差的抑制與評(píng)估：如何通過(guò)操作規(guī)范降低隨機(jī)波動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)有何要求？01隨機(jī)誤差源于測(cè)定過(guò)程中的偶然因素，如真空度微小波動(dòng)、電子噪聲等。標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行多次平行測(cè)定（不少于3次），以平均值作為峰強(qiáng)度結(jié)果，通過(guò)計(jì)算RSD評(píng)估隨機(jī)誤差大小，RSD需低于5%。同時(shí)規(guī)范操作流程，如樣品固定牢固避免漂移、測(cè)定過(guò)程中保持儀器狀態(tài)穩(wěn)定，減少偶然因素的影響。02不確定度的全面評(píng)定：標(biāo)準(zhǔn)中不確定度的來(lái)源有哪些，如何量化計(jì)算？01不確定度來(lái)源包括樣品制備、儀器校準(zhǔn)、峰強(qiáng)度計(jì)算與平行測(cè)定等環(huán)節(jié)。標(biāo)準(zhǔn)要求采用“自上而下”或“自下而上”的方法評(píng)定：“自上而下”通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)的多次測(cè)定結(jié)果計(jì)算；“自下而上”則量化各來(lái)源的不確定度分量后合成。評(píng)定結(jié)果需納入報(bào)告，為結(jié)果的可靠性提供量化依據(jù)，符合國(guó)際通用的計(jì)量規(guī)范。02與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的銜接與差異：GB/T28893-2024如何平衡國(guó)際兼容性與本土需求？與ISO15472的技術(shù)對(duì)齊：在峰強(qiáng)度測(cè)定核心方法上有哪些共識(shí)？GB/T28893-2024在核心技術(shù)上與ISO15472保持一致，如均推薦積分法用于定量分析、微分法用于定性分析，對(duì)儀器校準(zhǔn)的基準(zhǔn)元素選擇相同，結(jié)果報(bào)告的核心信息維度一致。這種對(duì)齊確保了我國(guó)測(cè)定數(shù)據(jù)與國(guó)際數(shù)據(jù)的兼容性，有利于進(jìn)出口貿(mào)易中的材料檢測(cè)結(jié)果互認(rèn)，降低技術(shù)壁壘。本土需求的特色化調(diào)整：針對(duì)國(guó)內(nèi)行業(yè)現(xiàn)狀，標(biāo)準(zhǔn)新增了哪些內(nèi)容？結(jié)合我國(guó)半導(dǎo)體與復(fù)合材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求，標(biāo)準(zhǔn)新增了超薄層與多相材料的測(cè)定指南，這是ISO15472中未詳細(xì)涵蓋的。針對(duì)國(guó)內(nèi)儀器品牌較多的特點(diǎn)，細(xì)化了不同型號(hào)儀器的校準(zhǔn)適配方法，提高了標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)操性。同時(shí)納入了我國(guó)常用的標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)信息，方便國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室溯源。計(jì)量體系的適配性?xún)?yōu)化：如何銜接我國(guó)表面化學(xué)分析的量值溯源體系？標(biāo)準(zhǔn)明確峰強(qiáng)度測(cè)定結(jié)果需溯源至國(guó)家計(jì)量基準(zhǔn)，推薦使用國(guó)家計(jì)量院研制的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。將我國(guó)已建立的AES/XPS儀器校準(zhǔn)規(guī)范融入其中，規(guī)定校準(zhǔn)證書(shū)的必備信息，確保儀器性能指標(biāo)符合